一种预混合电浆反应进气歧管制造技术

本实用新型专利技术公开了一种预混合电浆反应进气歧管，涉及废气处理，旨在解决混合后气体无法及时与电浆火炬头模组接触，可能无法达到预计反应温度的问题，其技术方案要点是：一种预混合电浆反应进气歧管，包括呈同轴设置的电浆反应管和预混合管，所述电浆反应管和预混合管两端之间分别设置有底盖和顶盖，所述电浆反应管、预混合管、底盖以及顶盖四者形成有预混合室，所述电浆反应管设置有通槽用于连通预混合室，所述预混合管至少设置有一组进气管组。本实用新型专利技术的一种预混合电浆反应进气歧管，使得混合后气体及时与电浆火炬头模组接触，实现对混合气体的预加热，有效确保达到预计反应温度，提高废气处理的稳定性和可靠性。提高废气处理的稳定性和可靠性。提高废气处理的稳定性和可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种预混合电浆反应进气歧管


[0001]本技术涉及废气处理，更具体地说，它涉及一种预混合电浆反应进气歧管。

技术介绍

[0002]在目前半导体生产制造的过程中，均会产生具毒性的工业废气，这些工业废气需要进行处理后才能排放到大气环境中，否则会对环境造成污染与公害。
[0003]电浆反应是处理半导体生产制造废气的主流手段之一，其工作原理是由电浆火炬头模组产生的等离子作用下营造高温环境，使被导入的半导体制成气体裂解向常规性气体变化，例如公告号为CN209549710U的中国专利公告的一种废气处理装置和半导体加工设备，其技术要点是：用于产生电浆并在所述电浆的作用下使废气与一反应气体反应而生成固体生成物的电浆反应器；在电浆反应的之前，需要对气体进行混合，关于气体混合上述技术方案还公开有：用于接收并混合所述废气和所述反应气体的气体混合器，所述气体混合器连接所述电浆反应器，具有用于接收所述废气的第一管道、用于接收所述反应气体的第二管道以及分别与所述第一管道和第二管道连通的混合室。
[0004]上述技术方案，采用依次布局进气混合室和电浆反应室的布局方式，存在混合后气体无法及时与电浆火炬头模组接触，可能无法达到预计反应温度的问题；因此需要提出一种新的方案来解决这个问题。

技术实现思路

[0005]针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种预混合电浆反应进气歧管，采用同轴布局电浆反应腔和预混合室，使得混合后气体及时与电浆火炬头模组接触，并且充分利用电浆反应腔的扩散热量，实现对混合气体的预加热，有效确保达到预计反应温度，提高废气处理的稳定性和可靠性。
[0006]本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种预混合电浆反应进气歧管，包括呈同轴设置的电浆反应管和预混合管，所述电浆反应管和预混合管两端之间分别设置有底盖和顶盖，所述电浆反应管、预混合管、底盖以及顶盖四者形成有预混合室，所述电浆反应管设置有通槽用于连通预混合室，所述预混合管至少设置有一组进气管组。
[0007]通过采用上述技术方案，本申请运用于电浆反应废气处理设备时，电浆火炬头模组直接安装于顶盖，并伸入到电浆反应管，底盖与水洗模组固定，且电浆反应管与水洗模组的内腔连通，进气管组的管件与相应管路连通；本申请在正常工作时，废气和氧气经由进气管组进入预混合室，从而于预混合室完成混合，并且预混合室与电浆反应管发生热交换，从而实现对混合气体的初步加热升温，完成预混合和预加热的混合气体经通槽进入到电浆反应管，电浆火炬头模组产生等离子加热混合气体，促使废气裂解并与氧气发生氧化还原反应，转化为常规气体后进入水洗模组；综上所述，本申请采用同轴布局电浆反应腔和预混合室，使得混合后气体及时与电浆火炬头模组接触，并且充分利用电浆反应腔的扩散热量，实
现对混合气体的预加热，有效确保达到预计反应温度，提高废气处理的稳定性和可靠性。
[0008]本技术进一步设置为：所述电浆反应管设置多个通槽，多个所述通槽呈等角度布局，多个所述通槽的高度大于进气管组的出口端。
[0009]本技术进一步设置为：所述预混合管设置两组进气管组，两组所述进气管组呈对称布置。
[0010]本技术进一步设置为：所述进气管组包括特气导入管、惰性气体导入管以及氧气导入管，所述特气导入管和氧气导入管分布于惰性气体导入管两侧。
[0011]本技术进一步设置为：还包括外壁管，所述预混合管、外壁管底盖以及顶盖四者形成有隔热室，所述外壁管设置有进液接头和出液接头。
[0012]本技术进一步设置为：所述底盖包括底部连接环，以及由底部连接环支撑的底部环板；所述顶盖包括顶部连接环，以及嵌合于顶部连接环的顶部环板；所述底部连接环和顶部连接环分别与预混合管和外壁管两端密封固定，所述底部环板和顶部环板分别与电浆反应管两端密封固定。
[0013]本技术进一步设置为：所述顶部环板之上垫设有陶瓷垫板。
[0014]综上所述，本技术具有以下有益效果：本申请采用同轴布局电浆反应腔和预混合室，使得混合后气体及时与电浆火炬头模组接触，并且充分利用电浆反应腔的扩散热量，实现对混合气体的预加热，有效确保达到预计反应温度，提高废气处理的稳定性和可靠性；多个通槽的高度大于进气管组的出口端，从而避免进气管组的管件出口端正对通槽，而被直接压入电浆反应管内部，确保气体具有充足时间完成预混合；当需要处理含有高浓度硅烷的废气时，由惰性气体导入管导入氮气对废气进行稀释混合，有效降低发生爆炸的安全隐患；通过进液接头和出液接头向隔热室循环导通冷却液，有效避免本申请的外壁温度过高；底盖和顶盖在连接电浆反应管、预混合管以及外壁管的前提下，实现电浆反应管可拆卸的功能，提高本申请的检修便捷性；顶部环板之上垫设有陶瓷垫板，从而为电浆火炬头模组提供一个隔热绝缘安装位。
附图说明
[0015]图1为本申请的整体结构示意图；
[0016]图2为本申请的局部剖视图；
[0017]图3为本申请另一视角的整体结构示意图；
[0018]图4为本申请拆卸电浆反应管的示意图。
[0019]附图说明：1、电浆反应管；2、预混合管；3、底盖；4、顶盖；5、预混合室；6、通槽；7、特气导入管；8、惰性气体导入管；9、氧气导入管；10、外壁管；11、隔热室；12、进液接头；13、出液接头；14、底部连接环；15、底部环板；16、顶部连接环；17、顶部环板；18、陶瓷垫板。
具体实施方式
[0020]以下结合附图对本技术作进一步详细说明。
[0021]其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
[0022]一种预混合电浆反应进气歧管，如图1、图2所示，包括呈同轴设置的电浆反应管1和预混合管2，电浆反应管1和预混合管2两端之间分别设置有底盖3和顶盖4，电浆反应管1、预混合管2、底盖3以及顶盖4四者形成有预混合室5，电浆反应管1加工成型有通槽6用于连通预混合室5，预混合管2至少设置有一组进气管组。
[0023]本申请运用于电浆反应废气处理设备时，电浆火炬头模组直接安装于顶盖4，并伸入到电浆反应管1，底盖3与水洗模组固定，且电浆反应管1与水洗模组的内腔连通，进气管组的管件与相应管路连通；本申请在正常工作时，废气和氧气经由进气管组进入预混合室5，从而于预混合室5完成混合，并且预混合室5与电浆反应管1发生热交换，从而实现对混合气体的初步加热升温，完成预混合和预加热的混合气体经通槽6进入到电浆反应管1，电浆火炬头模组产生等离子加热混合气体，促使废气裂解并与氧气发生氧化还原反应，转化为常规气体后进入水洗模组；综上所述，本申请采用同轴布局电浆反应腔和预混合室5，使得混合后气体及时与电浆火炬头模组接触，并且充分利用电浆反应腔的扩散热量，实现对混合气体的预加本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种预混合电浆反应进气歧管，其特征在于：包括呈同轴设置的电浆反应管(1)和预混合管(2)，所述电浆反应管(1)和预混合管(2)两端之间分别设置有底盖(3)和顶盖(4)，所述电浆反应管(1)、预混合管(2)、底盖(3)以及顶盖(4)四者形成有预混合室(5)，所述电浆反应管(1)设置有通槽(6)用于连通预混合室(5)，所述预混合管(2)至少设置有一组进气管组。2.根据权利要求1所述的一种预混合电浆反应进气歧管，其特征在于：所述电浆反应管(1)设置多个通槽(6)，多个所述通槽(6)呈等角度布局，多个所述通槽(6)的高度大于进气管组的出口端。3.根据权利要求1所述的一种预混合电浆反应进气歧管，其特征在于：所述预混合管(2)设置两组进气管组，两组所述进气管组呈对称布置。4.根据权利要求1所述的一种预混合电浆反应进气歧管，其特征在于：所述进气管组包括特气导入管(7)、惰性气体导入管(8)以及氧气导入管(9)，所述特气...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁献伟，吴宇翔，彭孟龙，
申请(专利权)人：嘉芯迦能半导体设备科技浙江有限公司，
类型：新型
国别省市：