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本发明公开了一种化学吸附式尾气处理设备，涉及废气处理设备技术领域，旨在解决净化效率的技术问题。其技术方案要点是：包括吸附主桶、进气模块与排气模块，还包括有吸附副桶，所述进气模块包括进气主管，所述进气主管的一端安装有三通接头，所述三通接头的一...
该专利属于嘉芯迦能半导体设备科技（浙江）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过嘉芯迦能半导体设备科技（浙江）有限公司授权不得商用。

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