【技术实现步骤摘要】
一种集成电路制造用的二氧化碳的纯化装置
[0001]本技术涉及二氧化碳纯化
，具体地说，涉及一种集成电路制造用的二氧化碳的纯化装置。
技术介绍
[0002]二氧化碳，一种碳氧化合物，常温常压下是一种无色无味或无色无嗅而略有酸味的气体，也是一种常见的温室气体，还是空气的组分之一，在物理性质方面，二氧化碳的熔点为
‑
78.5℃，沸点为
‑
56.6℃，密度比空气密度大，微溶于水，在化学性质方面，二氧化碳的化学性质不活泼，热稳定性很高，不能燃烧，通常也不支持燃烧，属于酸性氧化物。
[0003]经检索，专利公告号为CN208553607U公开了一种二氧化碳气体纯化器，属于二氧化碳气体纯化
，它包括纯化罐本体和外壳本体，纯化罐本体套设在外壳本体的内侧，纯化罐本体的外部套设有陶瓷加热圈，陶瓷加热圈和外壳本体之间设有铝箔圈，铝箔圈和陶瓷加热圈之间设有绝热棉，铝箔圈和外壳本体之间开设有空腔，所述外壳本体的顶部和底部分别固定连接有上封头和下封头，上封头的顶部固定连接有管路夹块，管路夹块的顶...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种集成电路制造用的二氧化碳的纯化装置，包括液氧汽化器(7)，其特征在于：所述液氧汽化器(7)的一侧贯穿安装有汽化运输管(701)，所述液氧汽化器(7)的另一侧活动安装有气体加压泵(8)，所述气体加压泵(8)的底部活动安装有活性炭吸附箱(9)，所述活性炭吸附箱(9)的另一侧活动安装有加热器(10)，所述加热器(10)的内部固定安装有流动管道(1001)，所述加热器(10)的底部活动安装有支撑板(13)。2.根据权利要求1所述的一种集成电路制造用的二氧化碳的纯化装置，其特征在于：所述液氧汽化器(7)的一侧活动安装有储气罐(6)，储气罐(6)的一侧贯穿安装有外部进气管道(601)，所述液氧汽化器(7)的底部活动安装有保护箱(1)，保护箱(1)的表面皆活动安装有密封门(4)，密封门(4)的另一侧固定安装有PLC控制器(2)，PLC控制器(2)的底部固定安装有电源插孔(3)，保护箱(1)的另一侧活动安装有收集箱(5)。3.根据权利要求2所述的一种集成电路制造用的二氧化碳的纯化装置，其特征在于：所述支撑板(13)的顶部活动安装有干燥机(11)，干燥机(11)的顶部贯穿安装有输送管道...
【专利技术属性】
技术研发人员：侯鹏，李文强，韩江江，刘松青，
申请(专利权)人：大连华邦化学有限公司，
类型：新型
国别省市：
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