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本实用新型公开了一种集成电路制造用的二氧化碳的纯化装置，包括液氧汽化器，所述液氧汽化器的一侧贯穿安装有汽化运输管，所述液氧汽化器的另一侧活动安装有气体加压泵，所述气体加压泵的底部活动安装有活性炭吸附箱，所述活性炭吸附箱的另一侧活动安装有加热...
该专利属于大连华邦化学有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大连华邦化学有限公司授权不得商用。

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