【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于数据处理领域，具体的说是一种基于数据反馈的气体纯化功能预警系统及方法。
技术介绍
1、气体纯化是一个涉及净化和提纯气体的过程，目的是为了得到高纯度的气体或去除某些特定的气体杂质。这一过程在许多工业和科研领域都非常重要，因为气体中的杂质可能会对产品质量和生产过程造成不良影响，在气体纯化过程中，可能采用不同的技术和方法，包括物理吸附、化学吸附、分子筛吸附、催化反应、超低温吸附和金属吸气剂吸附等，物理吸附和化学吸附是常见的两种吸附方式：
2、例如，在半导体行业中，气体纯化器用于制备工艺中外延、扩散、mocvd、离子注入、等离子干刻、光刻、退火、搭接、烧结等工序设备所需的氮气、氢气、氩气、氨气等气体的纯化，在光纤行业，纯化器用于终端纯化保护气体，如氮气和氦气，在化工行业，纯化器可用于去除氮、氢、气/液相烃类中的氧气和水蒸气；
3、但是在气体纯化过程中，无法快速对气体纯化数据和设备运行数据进行综合分析，进而导致降低了对设备的气体纯化功能预警准确性和预警效率；
4、例如在授权公布号为cn209343155u的中国专利中公开了一种气体纯化器控制装置，包括监控中心cpu以及与监控中心cpu相互交互的场景控制器ⅰ、场景控制器ⅱ、场景控制器ⅲ，监控中心cpu分别通过gprs模块ⅰ、gprs模块ⅱ和gprs模块ⅲ与场景控制器ⅰ、场景控制器ⅱ和场景控制器ⅲ交互连接，场景控制器ⅰ、场景控制器ⅱ和场景控制器ⅲ分别控制纯化器ⅰ、纯化器ⅱ和纯化器ⅲ，纯化器ⅰ、纯化器ⅱ和纯化器ⅲ均包括纯化器本体、加热装置、催化氧
5、以上专利均存在本
技术介绍
提出的问题：现有技术无法快速对纯化数据和设备运行数据进行综合分析，进而导致降低了对设备的气体纯化功能预警准确性和预警效率，为了解决这一问题，本申请设计了一种基于数据反馈的气体纯化功能预警系统及方法。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本专利技术提出了一种基于数据反馈的气体纯化功能预警系统及方法，本专利技术将气体充入纯化设备中进行纯化操作，获取气体纯化过程中的设备运行数据和气体纯化过程中的气体数据，建立气体纯化异常判断模型，将获取得到的气体纯化过程中的气体数据导入建立的气体纯化异常判断模型进行气体纯化异常的分析，建立设备运行异常判断模型，将获取得到的气体纯化过程中的设备运行数据导入建立的设备运行异常判断模型进行设备运行异常的分析，获取气体纯化异常分析结果和设备运行异常分析结果进行气体纯化功能异常的判断，根据气体纯化功能异常判断结果进行气体纯化异常预警，对气体纯化数据和设备运行数据进行计算，提高了对设备的气体纯化功能预警准确性和预警效率。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、一种基于数据反馈的气体纯化功能预警方法，其包括以下具体步骤：
4、将气体充入纯化设备中进行纯化操作，获取气体纯化过程中的设备运行数据和气体纯化过程中的气体数据；
5、建立气体纯化异常判断模型，将获取得到的气体纯化过程中的气体数据导入建立的气体纯化异常判断模型进行气体纯化异常的分析；
6、建立设备运行异常判断模型，将获取得到的气体纯化过程中的设备运行数据导入建立的设备运行异常判断模型进行设备运行异常的分析；
7、获取气体纯化异常分析结果和设备运行异常分析结果进行气体纯化功能异常的判断；
8、根据气体纯化功能异常判断结果进行气体纯化异常预警。
9、在此需要具体说明的是，所述将气体充入纯化设备中进行纯化操作，获取气体纯化过程中的设备运行数据和气体纯化过程中的气体数据包括以下具体步骤：
10、s11、将需要纯化的气体以设定流量充入需要监测的纯化设备中进行纯化处理，对需要纯化的气体的成分含量进行采集，在每个纯化步骤的末端设置气体传感器对气流中的需要除去的成分含量进行采集，同时获取进出设备时气体流速的变化量；
11、s12、通过设备数据采集终端对纯化过程中的设备运行数据进行实时采集，其中，设备运行数据包括设备运行的温度、电流、电压和设备内部气压数据；
12、s13、将获取的各个纯化步骤的需要除去的气体成分含量和进出设备时气体流速的变化量储存在第一储存模组中，将获取的纯化过程中的设备运行数据储存在第二储存模组中。
13、在此需要具体说明的是，所述气体纯化异常判断模型包括以下具体内容：
14、s21、提取获取得到的各个纯化步骤的气体成分含量，计算经过每个纯化步骤过程中需要除去的各成分的变化量；
15、s22、将得到的每个纯化步骤过程中各成分的变化量导入成分变化量异常值计算公式中进行成分变化量异常值计算，其中，成分变化量异常值计算公式为：
16、，其中，n为纯化步骤个数，m为经过纯化步骤需要除去的气体成分种类，为第i个纯化步骤的第j个需要除去的气体成分种类的重要系数，为经过第i个纯化步骤的第j个需要除去的气体成分种类的标准变化量，为经过第i个纯化步骤末端的第j个需要除去的气体成分种类的含量，为经过第i个纯化步骤始端的第j个需要除去的气体成分种类的含量；在此需要说明的是，这里的第i个纯化步骤的第j个需要除去的气体成分种类的重要系数的取值方式为：获取纯化各步骤后各气体杂质的设定安全含量占比，然后使用各气体杂质的整体含量占比除以各气体杂质的设定安全含量占比得到气体成分种类的重要系数；
17、s23、提取获取的进出设备时气体流速的变化量和计算得到的成分变化量异常值，将得到的进出设备时气体流速的变化量和成分变化量异常值导入气体纯化异常值计算公式中进行气体纯化异常值的计算，气体纯化异常值计算公式为：
18、，其中，为气体流速异常值占比系数，为气体成分变化量异常值占比系数，为进入设备时的气体流速，为出设备时的气体流速，其中，；
19、在此需要说明的是，这样设置的好处是：对纯化设备的纯化效果和纯化设备内各分系统的过滤能力进行综合分析，提高了对纯化效果的分析能力；
20、在此需要具体说明的是，所述设备运行异常判断模型包括如下具体步骤：
21、s31、获取纯化设备运行过程中的温度、电流、电压和设备内部气压数据，同时获取纯化设备运行的安全温度范围、安全电流范围、安全电压范围和安全设备内部气压数据范围；
22、s32、将获取的纯化设备运行过程中的温度、电流、电压和设备内部气压数据，同时获取纯化设备运行的安全温度范围、安全电流范围、安全电压范围和安全设备内部气压数据范围导入设备运行异常值计算公式中进行设备运行异常值的计算，其中，设备运行异常值计算公式为：
23、，其中，c为设备运行数据中数据种类，t为运行时间，dt为时间积分，为设备运行数据中第c项的占比系数，为t时刻的设备运行数据中第c项的值，为设备运行数据中第c项安全范围的中值，为设备运行数据中第c项本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基于数据反馈的气体纯化功能预警方法，其特征在于，其包括以下具体步骤：
2.如权利要求1所述的一种基于数据反馈的气体纯化功能预警方法，其特征在于，所述将气体充入纯化设备中进行纯化操作，获取气体纯化过程中的设备运行数据和气体纯化过程中的气体数据包括以下具体步骤：
3.如权利要求2所述的一种基于数据反馈的气体纯化功能预警方法，其特征在于，所述气体纯化异常判断模型包括以下具体内容：
4.如权利要求3所述的一种基于数据反馈的气体纯化功能预警方法，其特征在于，所述气体纯化异常判断模型还包括以下具体内容：
5.如权利要求4所述的一种基于数据反馈的气体纯化功能预警方法，其特征在于，所述设备运行异常判断模型包括如下具体步骤：
6.如权利要求5所述的一种基于数据反馈的气体纯化功能预警方法，其特征在于，所述获取气体纯化异常分析结果和设备运行异常分析结果进行气体纯化功能异常的判断包括如下具体内容：
7.如权利要求6所述的一种基于数据反馈的气体纯化功能预警方法，其特征在于，所述根据气体纯化功能异常判断结果进行气体纯化异常预警的
8.一种基于数据反馈的气体纯化功能预警系统，其基于如权利要求1-7任一项的所述一种基于数据反馈的气体纯化功能预警方法实现，其特征在于，其包括数据采集模块、气体纯化异常判断模型建立模块、设备运行异常判断模型建立模块、气体纯化功能异常判断模块、异常预警模块和控制模块，所述数据采集模块用于将气体充入纯化设备中进行纯化操作，获取气体纯化过程中的设备运行数据和气体纯化过程中的气体数据，所述气体纯化异常判断模型建立模块用于建立气体纯化异常判断模型，将获取得到的气体纯化过程中的气体数据导入建立的气体纯化异常判断模型进行气体纯化异常的分析。
9.如权利要求8所述的一种基于数据反馈的气体纯化功能预警系统，其特征在于，所述设备运行异常判断模型建立模块用于建立设备运行异常判断模型，将获取得到的气体纯化过程中的设备运行数据导入建立的设备运行异常判断模型进行设备运行异常的分析，所述气体纯化功能异常判断模块用于获取气体纯化异常分析结果和设备运行异常分析结果进行气体纯化功能异常的判断，所述异常预警模块用于根据气体纯化功能异常判断结果进行气体纯化异常预警，所述控制模块用于控制数据采集模块、气体纯化异常判断模型建立模块、设备运行异常判断模型建立模块、气体纯化功能异常判断模块和异常预警模块的运行。
10.一种电子设备，包括：处理器和存储器，其中，所述存储器中存储有可供处理器调用的计算机程序；
...【技术特征摘要】
1.一种基于数据反馈的气体纯化功能预警方法，其特征在于，其包括以下具体步骤：
2.如权利要求1所述的一种基于数据反馈的气体纯化功能预警方法，其特征在于，所述将气体充入纯化设备中进行纯化操作，获取气体纯化过程中的设备运行数据和气体纯化过程中的气体数据包括以下具体步骤：
3.如权利要求2所述的一种基于数据反馈的气体纯化功能预警方法，其特征在于，所述气体纯化异常判断模型包括以下具体内容：
4.如权利要求3所述的一种基于数据反馈的气体纯化功能预警方法，其特征在于，所述气体纯化异常判断模型还包括以下具体内容：
5.如权利要求4所述的一种基于数据反馈的气体纯化功能预警方法，其特征在于，所述设备运行异常判断模型包括如下具体步骤：
6.如权利要求5所述的一种基于数据反馈的气体纯化功能预警方法，其特征在于，所述获取气体纯化异常分析结果和设备运行异常分析结果进行气体纯化功能异常的判断包括如下具体内容：
7.如权利要求6所述的一种基于数据反馈的气体纯化功能预警方法，其特征在于，所述根据气体纯化功能异常判断结果进行气体纯化异常预警的具体内容如下：
8.一种基于数据反馈的气体纯化功能预警系统，其基于如权利要求1-7任一项的所述一种基于数...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘皖南，刘松青，高嵩，郭喜顺，钱吉，
申请(专利权)人：大连华邦化学有限公司，
类型：发明
国别省市：
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