一种光路调节装置及激光加工设备制造方法及图纸

本申请涉及激光加工技术领域，具体而言，涉及一种光路调节装置及激光加工设备。光路调节装置包括底座、第一透镜组件、第二透镜组件和第三透镜组件，第一透镜组件安装于底座上；第二透镜组件活动安装于底座上，第二透镜组件相对于第一透镜组件的距离可调节；第一透镜组件位于第二透镜组件和第三透镜组件之间，第三透镜组件活动安装于底座上，第三透镜组件相对于第一透镜组件的距离可调节。本申请通过调节第二透镜组件与第一透镜组件之间的间距，以及第三透镜组件与第一透镜组件之间的间距，从而可以实现对光路调节装置的发散角以及倍率的调节，用户可以根据待加工产品的需要调节到合适的倍率以及发散角，从而实现对产品进行对应性加工。性加工。性加工。

【技术实现步骤摘要】
一种光路调节装置及激光加工设备


[0001]本技术涉及激光加工
，具体而言，涉及一种光路调节装置及激光加工设备。

技术介绍

[0002]激光光束从光纤激光器中平行射出后，一般形成的圆形光斑直径在5mm左右，光束经过反射、调制、扩束、分束、合束后聚焦成um级的小光斑。在上游工段晶圆来料比较单一、来料质量较好的情况下，普通圆形光斑经过上述过程后即能满足。但随着市场需求变化，行业产品随之发生改变，切割材料尺寸、形状、密度、厚度等均会有差异，需要经常调节光路光斑的形状以及焦点的位置，以改善切割工艺效果，提高产品良率。

技术实现思路

[0003]本技术解决的问题是现有设备只能对单一来料产品进行加工。
[0004]一方面，为解决上述问题，本技术提供一种光路调节装置，所述光路调节装置包括底座、第一透镜组件、第二透镜组件和第三透镜组件，所述第一透镜组件安装于所述底座上；所述第二透镜组件活动安装于所述底座上，所述第二透镜组件相对于所述第一透镜组件的距离可调节；所述第一透镜组件位于所述第二透镜组件和所述第三透镜组件之间，所述第三透镜组件活动安装于所述底座上，所述第三透镜组件相对于所述第一透镜组件的距离可调节。
[0005]可选地，所述第一透镜组件包括第一支座和第一镜片，所述第一支座安装在所述底座上，所述第一镜片活动安装在所述第一支座上，所述第一镜片相对于所述第一支座的位置可调节。
[0006]可选地，所述第二透镜组件包括第二支座和第二镜片，所述第二支座活动安装在所述底座上，所述第二支座相对于所述第一支座的夹角可调节，所述第二镜片活动安装在所述第二支座上，所述第二镜片相对于所述第二支座的位置可调节。
[0007]可选地，所述第三透镜组件包括第三支座和第三镜片，所述第三支座活动安装在所述底座上，所述第三支座相对于所述第一支座的夹角可调节，所述第三镜片活动安装在所述第三支座上，所述第三镜片相对于所述第三支座的位置可调节。
[0008]可选地，所述光路调节装置还包括第一驱动机构，所述第一驱动机构安装于所述底座上，所述第一驱动机构与所述第二透镜组件驱动连接，所述第一驱动机构适于驱动所述第二透镜组件沿第一方向移动。
[0009]可选地，所述光路调节装置还包括第一连接件，所述第一连接件的底部设置有滑块结构，所述底座上设置有滑轨结构，所述滑块结构与所述滑轨结构滑动连接，所述第一驱动机构与所述第一连接件驱动连接，所述第二透镜组件安装于所述第一连接件上，所述第一驱动机构适于带动所述第一连接件沿所述第一方向移动。
[0010]可选地，所述光路调节装置还包括第二驱动机构，所述第二驱动机构安装于所述
底座上，所述第二驱动机构与所述第三透镜组件驱动连接，所述第二驱动机构适于驱动所述第三透镜组件沿第一方向移动。
[0011]可选地，所述光路调节装置还包括第二连接件，所述第二连接件的底部设置有滑块结构，所述底座上设置有滑轨结构，所述滑块结构与所述滑轨结构滑动连接，所述第二驱动机构与所述第二连接件驱动连接，所述第三透镜组件安装于所述第二连接件上，所述第二驱动机构适于带动所述第二连接件沿所述第一方向移动。
[0012]可选地，所述光路调节装置还包括检测装置，所述检测装置用于检测所述第二透镜组件和所述第三透镜组件的位置。
[0013]另一方面，本技术实施例还提供一种激光加工设备，包括如上所述的光路调节装置。
[0014]本技术实施例提供的光路调节装置所具有的有益效果是：
[0015]通过调节第二透镜组件与第一透镜组件之间的间距，以及第三透镜组件与第一透镜组件之间的间距，从而可以实现对光路调节装置的发散角以及倍率的调节，用户可以根据待加工产品的需要将光路调节装置调节到合适的倍率以及发散角，从而实现对产品进行对应性加工。
附图说明
[0016]图1为本技术的光路调节装置的一实施例结构示意图；
[0017]图2为本技术的光路调节装置的另一实施例结构示意图；
[0018]图3为本技术的光路调节装置的另一实施例结构示意图。
[0019]附图标记说明：
[0020]1‑
底座；2
‑
第一透镜组件；21
‑
第一支座；22
‑
第一镜片；3
‑
第二透镜组件；31
‑
第二支座；32
‑
第二镜片；33
‑
第三连接件；4
‑
第三透镜组件；41
‑
第三支座；42
‑
第三镜片；43
‑
第四连接件；5
‑
第一驱动机构；6
‑
第一连接件；7
‑
第二驱动机构；8
‑
第二连接件；9
‑
检测装置。
具体实施方式
[0021]术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或转动连接；可以是机械连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0022]本技术的实施例的附图中设置有坐标系XYZ，其中X轴的正向代表右方，X轴的反向代表左方，Z轴的正向代表上方，Z轴的反向代表下方，Y轴的正向代表前方，Y轴的反方向代表后方，且术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”和“右”等指示的方向或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0023]术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。
[0024]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施例做详细的说明。
[0025]如图1和图2所示，本技术的一实施例提供一种光路调节装置。光路调节装置包括底座1、第一透镜组件2、第二透镜组件3和第三透镜组件4，第一透镜组件2安装于底座1上；第二透镜组件3活动安装于底座1上，第二透镜组件3相对于第一透镜组件2的距离可调节；第一透镜组件2位于第二透镜组件3和第三透镜组件4之间，第三透镜组件4活动安装于底座1上，第三透镜组件4相对于第一透镜组件2的距离可调节。
[0026]第二透镜组件3可以用于调节光路调节装置的发散角，随着第二透镜组件3向靠近或远离第一透镜组件2的方向移动，激光光束的发散角会随之改变。当激光光束的发散角增大时，出射激光光束射出后的焦点会越远，当激光光束的发散角减小时，出射激光光束射出后的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光路调节装置，其特征在于，包括：底座；第一透镜组件，所述第一透镜组件安装于所述底座上；第二透镜组件，所述第二透镜组件活动安装于所述底座上，所述第二透镜组件相对于所述第一透镜组件的距离可调节；第三透镜组件，所述第一透镜组件位于所述第二透镜组件和所述第三透镜组件之间，所述第三透镜组件活动安装于所述底座上，所述第三透镜组件相对于所述第一透镜组件的距离可调节。2.根据权利要求1所述的光路调节装置，其特征在于，所述第一透镜组件包括第一支座和第一镜片，所述第一支座安装在所述底座上，所述第一镜片活动安装在所述第一支座上，所述第一镜片相对于所述第一支座的位置可调节。3.根据权利要求2所述的光路调节装置，其特征在于，所述第二透镜组件包括第二支座和第二镜片，所述第二支座活动安装在所述底座上，所述第二支座相对于所述第一支座的夹角可调节，所述第二镜片活动安装在所述第二支座上，所述第二镜片相对于所述第二支座的位置可调节。4.根据权利要求2所述的光路调节装置，其特征在于，所述第三透镜组件包括第三支座和第三镜片，所述第三支座活动安装在所述底座上，所述第三支座相对于所述第一支座的夹角可调节，所述第三镜片活动安装在所述第三支座上，所述第三镜片相对于所述第三支座的位置可调节。5.根据权利要求1所述的光路调节装置，其特征在于，还包括第一驱动机构，所述第一驱动机构安装于所述底座上，...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄伟耿，李东宇，曾威，尹建刚，高云峰，
申请(专利权)人：深圳市大族半导体装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：