基于磁致伸缩与压电效应的无功耗加速度计制造技术

本发明专利技术涉及一种传感器技术领域的基于磁致伸缩与压电效应的无功耗加速度计，包括上永磁铁、下永磁铁、磁铁支板、右悬臂梁、左悬臂梁、上磁致伸缩体、下磁致伸缩体、上压电膜、下压电膜、加速度计固定框架。当有外界加速度时，由于惯性作用，永磁铁会在某一方向产生正向或反向的位移，致使经过磁致伸缩体的磁场强度发生改变。由于磁致伸缩效应，磁致伸缩体将产生相应的变形，并带动压电膜产生相应的变形。由于压电效应，压电膜表面将产生直流电压信号，信号的大小与外界加速度大小成正比，被作为外界加速度的检测信号。本发明专利技术的加速度计无功耗、结构简单、加工容易、不需要真空或特殊要求的封装，且检测信号为直流电压信号，检测便捷、可靠性高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种传感器
的加速度计，具体是一种基于磁致伸縮与压电效应的无功耗加速度计。技术背景 加速度计是轨迹跟踪、姿态控制和惯性制导等技术的核心器件。最近几十年对于加速度计的研究日益增多，大部分集中在电容式加速度计(工作原理利用了电容驱动或电容检测)。随着惯性技术的发展以及卫星、导弹等制导和民用加速度计需求的提高，对加速度计的要求也随之增多，例如功耗低、成本低、封装简单、能适应恶劣环境等。 经对现有技术的专利检索发现，专利《一种差动电容式微机械加速度计》，公开号CN101187674A;专利《框架结构差分电容式加速度传感器》，公开号授权公告号CN100425993C等加速度计都需要通过检测电容来检测外界加速度，其不足在于需要引进载波，增大功耗。许多传统的一些不需要检测电容，电阻的加速度计，又需要驱动，这将引入信号源，也增大功耗。而且大部分加速度计为了提高精度使得结构复杂，且需要真空封装等致使成本提高。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了克服以上所述的不足，提出的一种基于磁致伸縮与压电效应 的无功耗加速度计，该加速度计无功耗、结构简单、加工容易、不需要真空或特殊要求的封本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于磁致伸缩与压电效应的无功耗加速度计，其特征在于包括上永磁铁、下永磁铁、磁铁支板、右悬臂梁、左悬臂梁、上磁致伸缩体、下磁致伸缩体、上压电膜、下压电膜、加速度计固定框架，其中：上永磁铁、下永磁铁是两块永磁铁，对称分布在磁铁支板上下表面，磁铁支板通过右悬臂梁、左悬臂梁和加速度计固定框架连接实现固定，上压电膜位于上磁致伸缩体上表面，极化方向为Ｙ轴正方向；下压电膜位于下磁致伸缩体下表面，极化方向Ｙ轴负方向。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张卫平，卢奕鹏，陈文元，蔡新午，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]