【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及采用压电陶瓷的加速度传感器。
技术介绍
过去，作为采用压电陶瓷的加速度传感器，有各种各样的方案。通常，在这种加速度传感器中，作为灵敏度存在电压灵敏度和电荷灵敏度两种。电荷灵敏度的增加可以提高针对在下一级接有放大器时在加速度传感器与放大器之间的连接部产生的来自外部机器和电路的电磁干扰的S/N比。而电压灵敏度的增加可以提高放大器自身产生的电压噪声的S/N比。因此，要提高针对来自外部的电磁干扰和放大器内部的噪声两方面的S/N比，就需要使电荷灵敏度和电压灵敏度双方都增加。也就是说，当以电荷灵敏度与电压灵敏度之积的1/2所表示的发生能量较大时，就可以说是高S/N比、也就是高灵敏度的传感器。在特开平10-62445号公告中，示出了将各层的厚度大致相同的3层以上的压电陶瓷层叠，以各层电并联连接的加速度传感器，通过增加叠层的数量可以提高电荷灵敏度。但是，在这种结构的加速度传感器中，当使检测元件的整体厚度维持一定而增加叠层数时，相应各层厚度变薄，静电电容增加，会使在各层发生的电压灵敏度下降。另外，由于内侧层的发生电位比外侧层低，所以当将它们并联连接时，在检测元件整...
【技术保护点】
一种加速度传感器，包括检测元件、和支承该检测元件的长边方向的一端部的支承部件，其特征在于：所述检测元件是将由２层以上的压电陶瓷构成压电体层叠层而构成，在所述压电体层的层间及外表面上分别设有电极，在所述检测元件的自由端 侧，以所述压电体层为界构成对向的电极的至少一方设有未形成电极的电极间隙，电极间隙的长度与所述检测元件的自由长的比率为２０～７０％。
【技术特征摘要】
...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。