集成式多通道滤波器及其加工方法技术

提供一种集成式多通道滤波器及其加工方法。所述集成式多通道滤波器适用于可见光波段，所述集成式多通道滤波器包括单张的基片以及集成在该单张的基片上的多个带通滤波片，各带通滤波片对应一个通道，各带通滤波片基于法布里

【技术实现步骤摘要】
集成式多通道滤波器及其加工方法


[0001]本公开涉及光学领域，更具体地涉及一种集成式多通道滤波器及其加工方法。

技术介绍

[0002]滤波器是一种可以让特定波长的光通过而让其他波长的光衰减的光学元件。其感光范围可包括紫外、可见光和红外波长，它被广泛用于无线发射器和接收器。例如一个滤波器的主要功能是限制输出信号，以分配用于传输频带的带宽。这防止了发射机对其它基站的干扰。在接收机中，一个带通滤波器允许频率选择范围内的信号被听到或解码，同时防止不需要的频率信号通过。随着科技的发展，单通道滤波器已不能满足无线通信的发展需求，高性能小型化集成式的多通道滤波器是发展的方向。
[0003]现有技术通常在宽带通结构中添加带阻或零点结构，分裂单通带形成多通带，所产生的多通带之间的阻带抑制往往不够，导致通带选择性不高，又会存在中心频率和带宽难以调控的问题。

技术实现思路

[0004]鉴于
技术介绍
中存在的问题，本公开的目的在于提供一种集成式多通道滤波器及其加工方法，其能实现集成式多通道滤波器且便于各通道的中心频率的调控。
[0005]鉴于
技术介绍
中存在的问题，本公开的目的在于提供一种集成式多通道滤波器及其加工方法，其能实现集成式多通道滤波器且便于各通道的带宽的调控。
[0006]由此，提供一种集成式多通道滤波器，所述集成式多通道滤波器适用于可见光波段，所述集成式多通道滤波器包括单张的基片以及集成在该单张的基片上的多个带通滤波片，各带通滤波片对应一个通道，各带通滤波片基于法布里
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珀罗谐振腔结构，法布里
‑
珀罗谐振腔结构包括从下往上顺序叠置的下反射镜、中间介质层和上反射镜，下反射镜位于该单张的基片上，上反射镜和下反射镜均为分布式布拉格反射镜，中间介质层的材质适用于所能够感光的可见光波段的范围，多个带通滤波片的中间介质层的厚度均不同。
[0007]一种集成式多通道滤波器的加工方法用于加工制备前述的集成式多通道滤波器，所述集成式多通道滤波器的加工方法包括步骤：步骤一，提供单张的基片，步骤二，在该单张的基片上镀制针对多个带通滤波片的下反射镜；步骤三，在多个带通滤波片的下反射镜上镀制中间介质层；步骤四，对多个带通滤波片的中间介质层从上往下刻蚀，以使多个带通滤波片的中间介质层的厚度均不同；步骤五，在多个带通滤波片的刻蚀后的中间介质层上镀制上反射镜，以形成多个带通滤波片，进而形成集成式多通道滤波器；其中，各带通滤波片对应一个通道，上反射镜和下反射镜均为分布式布拉格反射镜，中间介质层的材质适用于所能够感光的可见光波段的范围。
[0008]本公开的有益效果如下：在根据本公开的集成式多通道滤波器及其加工方法中，通过各带通滤波片的中间介质层的材质适用于所能够感光的可见光波段的范围且各带通滤波片对应一个通道，集成式多通道滤波器能够适用于可见光波段；可通过各带通滤波片
设置均为分布式布拉格反射镜的上反射镜和下反射镜并使得多个带通滤波片的中间介质层的厚度均不同，非常方便地实现各带通滤波片的中心频率(换句话中心波长峰值)的调控；因上反射镜和下反射镜均为分布式布拉格反射镜，分布式布拉格反射镜是由不同折射率的材料交替构成的对组成，而对的数量将会使得各带通滤波片(即各通道)的带宽调节非常方便且可控。由此，与
技术介绍
提及的通常在宽带通结构中添加带阻或零点结构、分裂单通带形成多通带的现有技术相比，各带通滤波片(即各通道)的中心频率(换句话中心波长峰值)的调控非常方便，各带通滤波片的带宽调节非常方便且可控，避免了阻带抑制不够导致带通过低的情况。
附图说明
[0009]图1是根据本公开的集成式多通道滤波器的其中一个带通滤波片的结构示意图。
[0010]图2是根据本公开的具有4
×
4阵列的带通滤波片的集成式多通道滤波器在加工完成后的结构示意图。
[0011]图3是根据本公开的实施例1的集成式多通道滤波器的4
×
4阵列的带通滤波片的反射光谱图。
具体实施方式
[0012]附图示出本公开的实施例，且将理解的是，所公开的实施例仅仅是本公开的示例，本公开可以以各种形式实施，因此，本文公开的具体细节不应被解释为限制，而是仅作为权利要求的基础且作为表示性的基础用于教导本领域普通技术人员以各种方式实施本公开。
[0013][集成式多通道滤波器][0014]参照图1和图2，根据本公开的集成式多通道滤波器适用于可见光波段。所述集成式多通道滤波器包括单张的基片以及集成在该单张的基片上的多个带通滤波片(参照图2并结合图1)，各带通滤波片对应一个通道，各带通滤波片(参照图1)基于法布里
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珀罗谐振腔(Fabry
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P
é
rot cavity，简称F
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P腔)结构，法布里
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珀罗谐振腔结构包括从下往上顺序叠置的下反射镜、中间介质层和上反射镜，下反射镜位于该单张的基片上，上反射镜和下反射镜均为分布式布拉格反射镜，中间介质层的材质适用于所能够感光的可见光波段的范围，多个带通滤波片的中间介质层的厚度均不同。
[0015]通过各带通滤波片的中间介质层的材质适用于所能够感光的可见光波段的范围且各带通滤波片对应一个通道，本公开的集成式多通道滤波器能够适用于可见光波段；在本公开的集成式多通道滤波器中，可通过各带通滤波片设置均为分布式布拉格反射镜的上反射镜和下反射镜并使得多个带通滤波片的中间介质层的厚度均不同，非常方便地实现各带通滤波片的中心频率(换句话中心波长峰值)的调控；因上反射镜和下反射镜均为分布式布拉格反射镜，分布式布拉格反射镜是由不同折射率的材料交替构成的对组成，而对的数量将会使得各带通滤波片(即各通道)的带宽调节非常方便且可控。由此，与
技术介绍
提及的通常在宽带通结构中添加带阻或零点结构、分裂单通带形成多通带的现有技术相比，各带通滤波片(即各通道)的中心频率(换句话中心波长峰值)的调控非常方便，各带通滤波片的带宽调节非常方便且可控，避免了阻带抑制不够导致带通过低的情况。
[0016]该单张的基片的材质不受限制，例如该单张的基片为硅基片。在替代实施例中，该
单张的基片为玻璃类材料。
[0017]针对各带通滤波片，在一示例中，各带通滤波片的上反射镜和下反射镜均选用SiO2和Ta2O5构成的且SiO2位于Ta2O5下方的对；各带通滤波片的中间介质层选用SiO2。当然，本领域技术人员可以选用除此之外的任何其他合适的材料。
[0018]在一示例中，多个带通滤波片中的上反射镜相同，多个带通滤波片中的下反射镜相同。由此，在多个带通滤波片中的上反射镜相同且多个带通滤波片中的下反射镜相同的情况下，针对多个带通滤波片，仅需调整各带通滤波片的中间介质层的厚度即可调整该带通滤波片的中心频率，使得各带通滤波片的中心频率的调控更为简单方便。
[0019]针对各带通滤波片，上反射镜和下反射镜中的对数越少，带通滤波片的带宽就越宽，对数越多，带通滤波片的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种集成式多通道滤波器，其特征在于，所述集成式多通道滤波器适用于可见光波段，所述集成式多通道滤波器包括单张的基片以及集成在该单张的基片上的多个带通滤波片，各带通滤波片对应一个通道，各带通滤波片基于法布里
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珀罗谐振腔结构，法布里
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珀罗谐振腔结构包括从下往上顺序叠置的下反射镜、中间介质层和上反射镜，下反射镜位于该单张的基片上，上反射镜和下反射镜均为分布式布拉格反射镜，中间介质层的材质适用于所能够感光的可见光波段的范围，多个带通滤波片的中间介质层的厚度均不同。2.根据权利要求1所述的集成式多通道滤波器，其特征在于，该单张的基片为硅基片。3.根据权利要求1所述的集成式多通道滤波器，其特征在于，各带通滤波片的上反射镜和下反射镜均选用SiO2和Ta2O5构成的且SiO2位于Ta2O5下方的对；各带通滤波片的中间介质层选用SiO2。4.根据权利要求3所述的集成式多通道滤波器，其特征在于，多个带通滤波片中的上反射镜相同；多个带通滤波片中的下反射镜相同。5.根据权利要求3所述的集成式多通道滤波器，其特征在于，各带通滤波片的上反射镜和下反射镜中的对数为4
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10对。6.根据权利要求5所述的集成式多通道滤波器，其特征在于，在各带通滤波片中，上反射镜中的对数多于下反射镜中的对数。7.根据权利要求3所述的集成式多通道滤波器，其特征在于，多个带通滤波片的中间介质层SiO2的厚度范围为100nm
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400nm；上反射镜和下反射镜中的各对中的SiO2的厚...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴辉，刘克武，尹士平，
申请(专利权)人：安徽光智科技有限公司，
类型：发明
国别省市：