芯片检测装置、芯片翻转机构及其翻转方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种芯片翻转机构，包括固定座、两个抽气板、两个转盘单元、以及同步驱动件，抽气板开设有相连通的抽气孔和导气槽，两个转盘单元分别与两个抽气板对应，转盘单元转动安装在抽气板上，转盘单元的外周面开设有若干吸孔，转盘单元的盘面对应若干吸孔开设有接气孔，两个转盘单元的外周面之间形成间隙，同步驱动件安装在固定座上；基于上述设置，翻转芯片时通过同步驱动件驱动两个转盘单元同步同向转动，在两个导气槽的抽气作用下，使前一转盘单元的吸孔吸取芯片后，进入间隙与后一转盘单元的吸孔对应，将芯片转移至后一转盘单元的吸孔上，实现芯片翻转。本发明专利技术还公开翻转芯片的方法及具有芯片翻转机构的芯片检测装置，以提高检测工作效率。以提高检测工作效率。以提高检测工作效率。

【技术实现步骤摘要】
芯片检测装置、芯片翻转机构及其翻转方法


[0001]本专利技术属于芯片检测设备的
，具体涉及一种芯片检测装置、芯片翻转机构及其翻转芯片的方法。

技术介绍

[0002]芯片生产制作完成后，需要对芯片的电性能进行测试，其测试项目如容量参数测试、耗损测试、漏电流测试、耐电压测试等。其中，漏电流测试、耐电压测试一般需要先对芯片进行充电。在芯片充满电后，再进行漏电流测试、耐电压测试等，进而对芯片放电后，最后对产品进行包装。
[0003]芯片充电装置对芯片充电时，芯片的引脚朝上，而通过机械臂抓取芯片进入电性能检测装置进行电性能检测时, 芯片的引脚需要朝下，因而充电后的芯片需要事先对芯片进行翻转，以使芯片的引脚朝下。公司之前主要采用专利公布号为CN112635387A的专利技术对芯片进行翻转，该专利技术在使用时，芯片通过吸取件放置在两个往复杆各自的放置部，往复杆复位时，两个往复杆的芯片正对以防止芯片掉出，通过电机驱动旋转盘及往复杆旋转，使两个往复杆上的芯片均得以翻转，通过另一电机驱动往复杆驱动部件转动，利用其导向部使下方的往复杆伸出并漏出其放置部上的芯片，取出后通过往复杆驱动部件的导向部使下方的往复杆复位，使上方往复杆的芯片落入下方往复杆的放置部内，进而同样通过往复杆驱动部件使下方往复杆的芯片伸出，由此实现芯片翻转的功能。
[0004]然而上述芯片翻转技术在运行时，需要两个电机同时配合使用，会导致加工效率降低，此外，运行中还涉及上方复位杆的芯片落入下方复位杆的放置部的技术，在芯片下掉过程中，有时候会与壁面产生摩擦而出现卡死的问题，因此该技术仍然存在翻转传输过程不稳定和运行工作效率低的问题。

技术实现思路

[0005]为了克服现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种芯片检测装置、芯片翻转机构及其翻转方法，该翻转机构及其方法能够使用单一部件驱动完成芯片的翻转，以提高工作效率，并且提高芯片抓取稳定性；该检测装置采用该芯片翻转机构，能够提高工作效率。
[0006]本专利技术的目的通过以下技术方案实现：一种芯片翻转机构，包括固定座、两个抽气板、两个转盘单元、以及同步驱动件；两个抽气板并排安装在固定座上，抽气板开设有相连通的抽气孔和导气槽，导气槽开设于抽气板的板面上，导气槽呈圆弧段设置，两个抽气板的导气槽沿两个抽气板的中分线呈镜像排布，抽气板的板面开设有轴套孔，轴套孔位于导气槽所在圆弧对应的圆心位置；两个转盘单元分别配合两个抽气板对应安装，按对芯片的传送先后顺序分为前转盘单元、后转盘单元，每一转盘单元包括盘体以及垂直连接在盘体的盘面中心的转轴，盘体
通过转轴套入轴套孔而与抽气板贴抵配合，盘体的外周面沿圆周方向等间距开设有若干吸孔，用于吸持芯片，盘体的盘面上开设有若干接气孔，每一接气孔对应地连通每一吸孔，若干接气孔以盘体的中心为圆心等间距分布在同一圆环上，相邻两个接气孔之间的弧长与导气槽的弧长相同，以供盘体转动时，每一接气孔分别依次绕经导气槽并与导气槽导通，两个转盘单元的外周面之间形成有供芯片容置的间隙；同步驱动件安装在固定座上，同步驱动两个转盘单元同步同向转动，包括驱动电机、驱动轮、以及两个同步轮，驱动电机固定在固定座上，驱动轮固接在驱动电机的驱动端上，两个同步轮分别固设在两个转盘单元的转轴的一端，通过驱动电机驱动所述驱动轮转动，带动两个同步轮同步同向转动，进而带动两个盘体同步同向转动。
[0007]本专利技术还提供一种所述芯片翻转装置翻转芯片的方法，包括如下步骤：首先，通过同步驱动件驱动，使两个转盘单元同步同向转动，直至两个转盘单元的盘体上的一吸孔均位于盘体的最顶端；此时，与前转盘单元的盘体顶端的吸孔相对应连通的接气孔恰好与对应的抽气板上导气槽的顶端正对连通；提供抽气装置对与前转盘单元相配合的抽气板上的抽气孔抽气，实现对前转盘单元盘体顶端的吸孔吸气；接着提供吸取单元吸取芯片置至前转盘单元盘体顶端的吸孔上，通过该前转盘单元顶端的吸孔吸取芯片；接着，通过同步驱动件驱动，使两个转盘单元同步同向转动，转动90
°
后，至前转盘单元盘体上吸取芯片的吸孔转动至两转盘单元的吸孔相邻正对的位置，此时，前转盘单元盘体上吸取芯片的吸孔对应连通的接气孔已转至对应的抽气板的导气槽的下端，前转盘单元盘体上吸持的芯片位于间隙内；后转盘单元盘体上与芯片相对的吸孔相连通的接气孔恰好与对应的抽气板上的导气槽的底端正对连通；提供抽气装置对该抽气板上的抽气孔抽气，实现对后转盘单元盘体上的吸孔抽气，使芯片的与后转盘单元盘体相接的一面被后转盘单元盘体上的吸孔吸持；接着，通过同步驱动件驱动，带动两个转盘单元同步同向转动，当前转盘单元盘体吸取芯片的吸孔恰好移出对应的抽气板的导气槽时，后转盘单元盘体与芯片相对的吸孔将吸取芯片并带动芯片连同盘体一起转动，在转动90
°
后，后转盘单元盘体带动其吸取的芯片向上转动至顶端，实现芯片翻转。
[0008]本专利技术还提供具有所述芯片翻转装置的芯片检测装置。
[0009]一种芯片检测装置，包括工作平台、主转塔结构以及若干吸取单元，所述主转塔结构安装在工作平台上，若干吸取单元沿主转塔结构的旋转方向等间距分布在主转塔结构的周缘，用于吸取芯片并通过主转塔结构旋转带动实现芯片在工位间转移；所述工作平台顶面沿主转塔结构外周的旋转方向依次设置有所述芯片翻转机构、第一规整机构、电性能检测机构、第二规整机构、外观检测机构、以及芯片包装机构形成相应的工位；所述芯片翻转机构，用于翻转芯片，以将芯片的引脚从朝上翻转至朝下；所述第一规整机构，用于调整芯片的位置方向；所述电性能检测机构，用于对芯片的电性能进行测试；所述第二规整机构，用于调整芯片的位置方向；所述外观检测机构，用于检测芯片的外观；所述芯片包装机构，用于将检测合格的芯片进行包装。
[0010]本专利技术具有如下有益效果：
1)本专利技术的芯片翻转机构利用吸气原理，通过在抽气板上开设相连通的抽气孔和导气槽，在抽气孔的抽气作用下，对两个导气槽抽气并形成相应的抽气范围，进而通过在抽气板上设置转盘单元，在转盘单元转动的过程中，接气孔进入导气槽的抽气范围内时，即可使该接气孔对应的吸孔吸取芯片，当接气孔从导气槽移出时即可解除接气孔对应的吸孔吸取芯片；同时由于两个抽气板的导气槽为镜像分布，且两个转盘单元通过同步驱动件驱动同步同向转动，因此在前转盘单元吸取芯片转动至两个转盘单元之间的间隙时，进一步转动两个转盘单元时，即可使前转盘单元上吸取芯片对应的接气孔移出导气槽的抽气范围内，而后转盘单元上正对芯片对应的接气孔进入导气槽的抽气范围内，使对应的吸孔吸取芯片，进而转动后实现芯片翻转。由此可以看出，本专利技术仅需要同步驱动件带动两个转盘单元转动，即可将芯片从前一转盘单元转移至后一转盘单元上，并且实现转盘单元的翻转，因此具有结构简化优化的作用。同时本专利技术采用吸孔吸取芯片的方式，能够较为稳定的抓取芯片，通过设置两个镜像的导气槽形成稳定的用于吸取和传输芯片的抽气范围轨迹，使得芯片的转移和翻转过程稳定，进而达到提高工作效率的功能。
[0011]2)本专利技术的芯片翻转机构翻转本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片翻转机构，其特征在于，包括固定座(11)、两个抽气板(12)、两个转盘单元(13)、以及同步驱动件(14)；两个抽气板(12)并排安装在固定座(11)上，抽气板(12)开设有相连通的抽气孔(121)和导气槽(122)，导气槽(122)开设于抽气板(12)板面上，导气槽(122)呈圆弧段设置，两个抽气板(12)的导气槽(122)沿两个抽气板(12)的中分线呈镜像排布，抽气板(12)的板面开设有轴套孔(123)，轴套孔(123)位于导气槽(122)所在圆弧对应的圆心位置；两个转盘单元(13)分别配合两个抽气板(12)对应安装，按对芯片(104)的传送先后顺序分为前转盘单元、后转盘单元，每一转盘单元(13)包括盘体(130)以及垂直连接在盘体(130)的盘面中心的转轴(133)，盘体(130)通过转轴(133)套入轴套孔(123)而与抽气板(12) 贴抵配合，盘体(130)的外周面沿圆周方向等间距开设有若干吸孔(131)，用于吸持芯片(104)，盘体(130)的盘面上开设有若干接气孔(132)，每一接气孔(132)对应地连通每一吸孔(131)，若干接气孔(132)以盘体(130)的中心为圆心等间距分布在同一圆环上，相邻两个接气孔(132)之间的弧长与导气槽(122)的弧长相同，以供盘体(130)转动时，每一接气孔(132)分别依次绕经导气槽(122)并与导气槽(122)导通，两个转盘单元(13)的外周面之间形成有供芯片(104)容置的间隙(136)；同步驱动件(14)安装在固定座(11)上，同步驱动两个转盘单元(13)同步同向转动，包括驱动电机(141)、驱动轮(142)、以及两个同步轮(143)，驱动电机(141)固定在固定座(11)上，驱动轮(142)固接在驱动电机(141)的驱动端上，两个同步轮(143)分别固设在两个转盘单元(13)的转轴(133)的一端，通过驱动电机(141)驱动所述驱动轮(142)转动，驱动轮(142)带动两个同步轮(143)同步同向转动，进而带动两个盘体(130)同步同向转动。2.如权利要求1所述的芯片翻转机构，其特征在于：所述转盘单元(13)的盘体(130)的外周面凸起有凸块(134)，吸孔(131) 开设在凸块(134)的顶面并沿盘体(130)的径向延伸预设的深度，并排设置的两个盘体(130)的凸块(134)在相邻正对时，相邻的凸块(134)之间形成有容置一芯片(104)的所述间隙(136)。3.如权利要求2所述的芯片翻转机构，其特征在于：所述后转盘单元的凸块(134)固接有限位块(135)，所述限位块(135)伸出于凸块(134)顶面的一侧，以在两个转盘单元(13)的凸块(134)相邻正对时，限位块(135)位于间隙(136)底部，以供承托吸孔(131)吸取的芯片(104)。4.如权利要求1所述的芯片翻转机构，其特征在于：所述固定座(11)包括立板(111)，两个抽气板(12)沿传输方向并排安装在立板(111)的同一板面上端，抽气孔(121)开设在抽气板(12)的顶面，用于连接抽气装置以供抽气；导气槽(122)开设在抽气板(12)上与立板(111)相背的板面上，抽气孔(121)在抽气板(12)板体内向下延伸至与导气槽(122)连通，盘体(130)的一盘面贴合至抽气板(12)开设有导气槽(122)的板面，对抽气板(12)板面上的导气槽(122)封盖。5.如权利要求4所述的芯片翻转机构，其特征在于：所述导气槽(122)呈1/4圆弧设置，盘体(130)贴合至抽气板(12)板面的盘面上开设有四个接气孔(132)，且四个接气孔(132)等间距分布在同一圆环上，每一接气孔(132)对应地连通在每一吸孔(131)的末端，使得每一接气孔(132)、与对应的吸孔(131)形成为一“L”型的导气通道，从而在每一盘体(130)上形成有四个“L”型导气通道。
6.如权利要求1所述的芯片翻转机构，其特征在于：所述同步驱动件(14)包括张紧轮(146)，张紧轮(146)转动安装在固定座(11)上，同步带(144)位于两个同步轮(143)之间的部分绕设在张紧轮(146)的外周面，利用张紧轮(146)张紧同步带(144)。7.一种如权利要求1
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6任一所述的芯片翻转机构翻转芯片的方法，其特征在于：包括如下步骤：首先，通过同步驱动件(14)驱动，带动两个转盘单元(13)同步同向转动，直至两个转盘单元(13)的盘体(130)上的一吸孔(131)均位于盘体(130)的最顶端；前转盘单元的盘体(130)顶端的吸孔(131)对应连通的接气孔(132)，恰好与对应的抽气板(12)上导气槽(122)的顶端正对连通；提供抽气装置对与前转盘单元相配合的抽气板(12...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹巍，农文淳，刘伟，
申请(专利权)人：广州诺顶智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：