一种碳化硅电阻长晶炉用电极胶的制备方法及应用方法技术

本发明专利技术公开了一种碳化硅电阻长晶炉用电极胶的制备方法及应用方法，通过将氧化石墨烯粉碎后制成氧化石墨烯水溶液；在氧化石墨烯水溶液中添加碳纤维均匀混合得到混合溶液；向混合溶液中加入HI，搅拌均匀后放入烘箱中加入静置后冷冻干燥；最后高温碳化后粉碎形成石墨粉；将环氧树脂胶与石墨粉混合制备成导电胶，将导电胶涂抹在电极板和加热器中的石墨件之间，并加热使其固化，在石墨件接触处形成导电的紧密连接，从而避免了石墨件之间低压大电流接触不良所形成的打火烧蚀现象出现，提高了石墨件之间连接的可靠性，大大降低了长晶炉的故障率，节约了维护保养成本。节约了维护保养成本。

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅电阻长晶炉用电极胶的制备方法及应用方法


[0001]本专利技术涉及碳化硅电阻长晶炉
，尤其涉及一种碳化硅电阻长晶炉用电极胶的制备方法及应用方法。

技术介绍

[0002]半导体碳化硅单晶材料是继以硅材料为代表的第一代半导体材料、砷化镓和磷化铟等为代表的第二代半导体材料之后的新一代半导体单晶材料。其优异的物理性能包括较大的禁带宽度、高导热系数、高临界击穿场强和高饱和电子迁移率等，是功率电子器件、微波射频器件的优选衬底材料。碳化硅是一种晶体型无机物，化学式为SiC，是用石英砂，石油焦、木屑等原料在2000
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2700摄氏度的冶炼环境中生长而成；而在冶炼设备有电阻炉和火焰炉，而电阻炉与火焰炉相比，则具有热效率高、能够满足多种介质在各种工艺氛围搭配使用、温度精度更高、不会造成环境污染和占地面积小的等优点，因此，电阻炉能够提供更为稳定的温度条件，更为适用于碳化硅的生长流程。但电阻炉在使用过程中在电极板与较热器之间出现打火现象，导致加热器或电极板烧蚀，最终形成断路，长晶无法进行。为避免上述故障，提高长晶炉的可靠性，必须解决大本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅电阻长晶炉用电极胶的制备方法，其特征在于，包括：S1、制备石墨粉将氧化石墨烯粉碎后制成氧化石墨烯水溶液；在氧化石墨烯水溶液中添加碳纤维均匀混合得到混合溶液；向混合溶液中加入强还原剂，搅拌均匀后放入烘箱中加入静置后冷冻干燥；在通过真空加热炉进行高温碳化后粉碎形成石墨粉；S2、环氧树脂胶与石墨粉混合制备成导电胶。2.根据权利要求1所述的碳化硅电阻长晶炉用电极胶的制备方法，其特征在于，石墨粉含量为30
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85wt%，石墨粉的粒径为0.01至0.3毫米。3.根据权利要求2所述的碳化硅电阻长晶炉用电极胶的制备方法，其特征在于，石墨粉的含量为67wt%，石墨粉的粒径为0.23毫...

【专利技术属性】
技术研发人员：李文新，姚永兴，
申请(专利权)人：深圳市国碳半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：