【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种具有片上零偏补偿的压阻式双轴微加速度计，其特征在于：它包括通过键合连接在一起的衬底（１１）和加速度计总成（１２），所述加速度计总成（１２）包括框架（３）以及呈相互垂直布置于框架（３）上的两个加速度计单元，所述每个加速度计单元均包括呈对称布置的两个质量块（５），所述每个质量块（５）上的一端通过一根主梁（４）和两根微梁（６）连接于框架（３）上，所述每根微梁（６）内均包含有一检测压阻（７），所述每个加速度计单元内四根微梁（６）中的四个检测压阻（７）构成惠斯通全桥结构。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴学忠，李圣怡，董培涛，侯占强，肖定邦，陈志华，崔红娟，牛正一，
申请(专利权)人：中国人民解放军国防科学技术大学，
类型：发明
国别省市：43[]
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