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一种具有片上零偏补偿的压阻式双轴微加速度计及制作方法，它包括通过键合连接在一起的衬底和加速度计总成，所述加速度计总成包括框架以及呈相互垂直布置于框架上的两个加速度计单元，所述每个加速度计单元包括呈对称布置的两个质量块，所述每个质量块上的一端...
该专利属于中国人民解放军国防科学技术大学所有，仅供学习研究参考，未经过中国人民解放军国防科学技术大学授权不得商用。

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