火山口清洁夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体制造技术领域，提供了一种火山口清洁夹具，包括：夹具本体；所述夹具本体上具有卧姿安装位和立姿安装位；所述卧姿安装位用于安装火山口，并使得火山口呈卧式姿态贴合并定位于所述夹具本体上，所述立姿安装位用于安装火山口，并使得火山口呈立式姿态定位于夹具本体上。如此配置，该结构的清洁夹具，可将火山口安装于不同的安装位上定位，不同的安装位分别对应于火山口的卧姿姿态和立姿状态的定位，方便在各个方向对火山口的清理，利于提高火山口的清理效率，降低清洁难度，消除清理过程中火山口滑动造成的损伤以及安全隐患，同时也改善清洁过程中导致的形变情况。况。况。

【技术实现步骤摘要】
火山口清洁夹具


[0001]本技术涉及半导体制造
，特别涉及一种火山口清洁夹具。

技术介绍

[0002]电子枪是产生电子束的部件，由直线状螺旋钨阴极、栅极和阳极组成。其原理是：阴极和栅极处于相同的负电位，阳极接地电位。阴极由交流供电加热，使之发射电子，电子受栅极电位的影响，在阳极电压加速下形成会聚的电子束。在磁场的作用下，电子束得到进一步聚焦并偏转射入装有源锭的坩埚中，其动能变成热能使源锭材料蒸发沉积于基片上，达到所需膜层的要求。
[0003]目前电子枪在镀膜过程中，会沉积大量金属薄膜在坩埚和火山口表面，伴随膜厚的增加，坩埚与火山口表面安全距离不足，此时需对坩埚与火山口进行清洁。
[0004]当前在清理火山口时没有配套的清理装置，清理过程中，通常使用无尘布垫于地板防尘垫上，用脚踩住火山口固定进行人工清洁，由于清洁时火山口易滑动，容易划伤火山口的表面，效率低且存在安全隐患。
[0005]因此需要一种火山口清洁夹具，在清洁过程中可对火山口进行定位，以方便火山口的清洁。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种火山口清洁夹具，该夹具具有用于对火山口呈卧式姿态定位的卧姿安装位，以及对火山口呈立式姿态定位的立姿安装位，方便对火山口清理时定位，利于提高火山口的清理效率，消除清理过程中火山口滑动造成的损伤以及安全隐患。
[0007]为了解决上述技术问题，本技术提供了一种火山口清洁夹具，包括：夹具本体；
[0008]所述夹具本体上具有卧姿安装位和立姿安装位；
>[0009]所述卧姿安装位用于安装火山口，并使得火山口呈卧式姿态贴合并定位于所述夹具本体上，所述立姿安装位用于安装火山口，并使得火山口呈立式姿态定位于夹具本体上。
[0010]可选地，所述立姿安装位设置有多个，所述火山口安装于所述立姿安装位时，各所述立姿安装位对应的所述火山口的立式姿态的方位不同。
[0011]可选地，所述卧姿安装位包括开设于所述夹具本体上的卧姿安装槽，所述火山口安装于所述卧姿安装槽内时，所述卧姿安装槽与所述火山口的外轮廓适形配置。
[0012]可选地，所述立姿安装位包括开设于所述夹具本体上的立式插槽。
[0013]可选地，所述夹具本体上具有安装面，各所述立姿安装位均开设于所述安装面上，所述立式插槽的开设方向与所述安装面呈夹角设置，各所述立式插槽的开设方向与所述安装面的夹角不同。
[0014]可选地，所述立式插槽的开口呈T型。
[0015]可选地，所述立式插槽的槽底开设有通孔。
[0016]可选地，所述夹具本体上具有安装面，所述卧姿安装位和立姿安装位均开设于所述安装面上。
[0017]可选地，各所述立姿安装位围绕所述卧姿安装位周向设置。
[0018]可选地，所述夹具本体上设置有用于将夹具本体固定在其他部件上的安装部。
[0019]综上所述，本技术提供的火山口清洁夹具，包括：夹具本体；所述夹具本体上具有卧姿安装位和立姿安装位；所述卧姿安装位用于安装火山口，并使得火山口呈卧式姿态贴合并定位于所述夹具本体上，所述立姿安装位用于安装火山口，并使得火山口呈立式姿态定位于夹具本体上。
[0020]如此配置，该结构的清洁夹具，可将火山口安装于不同的安装位上定位，不同的安装位分别对应于火山口的卧姿姿态和立姿状态的定位，方便在各个方向对火山口的清理，利于提高火山口的清理效率，降低清洁难度，消除清理过程中火山口滑动造成的损伤以及安全隐患，同时也改善清洁过程中导致的形变情况。
附图说明
[0021]图1为本技术的一实施例的火山口清洁夹具的立体结构示意图；
[0022]图2为本技术的一实施例的火山口清洁夹具的俯视结构示意图；
[0023]图3为图2的A
‑
A剖视结构示意图。
[0024]图4为本技术的另一实施例的火山口清洁夹具的立体结构示意图。
[0025]其中，附图标记如下：
[0026]10
‑
夹具本体；11
‑
卧姿安装位；111
‑
卧姿安装槽；1111
‑
矩形部；1112
‑
半圆形部；12
‑
立姿安装位；121
‑
立式插槽；1211
‑
第一矩形部；1212
‑
第二矩形部；13
‑
安装部；14
‑
通孔；15
‑
第一加工孔；16
‑
安装面；17
‑
第二加工孔；
[0027]20
‑
火山口
[0028]a
‑
立式插槽的开设方向，α
‑
立式插槽的开设方向与安装面的夹角。
具体实施方式
[0029]以下结合附图和具体实施例对本技术提出的火山口清洁夹具作进一步详细说明。根据下面说明，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。
[0030]本技术中，平行以及垂直的限定不应狭义的理解为绝对垂直或者绝对平行的关系，理应理解为在相应垂直或者平行的前提下允许具有设定角度的误差，该设定角度通常为
±5°
，设定角度的具体数值依据所需的使用工况确定；
[0031]如在本技术中所使用的，单数形式“一”、“一个”以及“该”包括复数对象，术语“或”通常是以包括“和/或”的含义而进行使用的，术语“若干”通常是以包括“至少一个”的含义而进行使用的，术语“至少两个”或“多个”通常是以包括“两个或两个以上”的含义而进行使用的，此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者至少两个该特征。此外，如在本技术中所使用
的，“安装”、“相连”、“连接”，一元件“设置”于另一元件，应做广义理解，通常仅表示两元件之间存在连接、耦合、配合或传动关系，且两元件之间可以是直接的或通过中间元件间接的连接、耦合、配合或传动，而不能理解为指示或暗示两元件之间的空间位置关系，即一元件可以在另一元件的内部、外部、上方、下方或一侧等任意方位，除非内容另外明确指出外。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。此外，诸如上方、下方、上、下、向上、向下、左、右等的方向术语相对于示例性实施方案如它们在图中所示进行使用，向上或上方向朝向对应附图的顶部，向下或下方向朝向对应附图的底部。
[0032]当前在清理火山口时没有配套的清理装置，清理过程中，通常使用无尘布垫于地板防尘垫上，用脚踩住火山口固定进行人工清洁，由于清洁时火山口易滑动，容易划伤本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种火山口清洁夹具，其特征在于，包括：夹具本体；所述夹具本体上具有卧姿安装位和立姿安装位；所述卧姿安装位用于安装火山口，并使得火山口呈卧式姿态贴合并定位于所述夹具本体上，所述立姿安装位用于安装火山口，并使得火山口呈立式姿态定位于夹具本体上。2.如权利要求1所述的火山口清洁夹具，其特征在于，所述立姿安装位设置有多个，所述火山口安装于所述立姿安装位时，各所述立姿安装位对应的所述火山口的立式姿态的方位不同。3.如权利要求1所述的火山口清洁夹具，其特征在于，所述卧姿安装位包括开设于所述夹具本体上的卧姿安装槽，所述火山口安装于所述卧姿安装槽内时，所述卧姿安装槽与所述火山口的外轮廓适形配置。4.如权利要求1所述的火山口清洁夹具，其特征在于，所述立姿安装位包括开设于所述夹具本体上的立式插槽。5.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱鹏，周立超，曹乐，张建康，
申请(专利权)人：绍兴中芯集成电路制造股份有限公司，
类型：新型
国别省市：