本申请提供了碳化硅晶圆清洗装置，涉及晶圆清洗，包括晶圆收纳托，晶圆收纳托的内底壁固定连接有托举组件，晶圆收纳托的一侧放置有承载台，通过设置的吸盘组件与托举组件，实现了顶杆向下移动，使托举组件上的晶圆与气动吸盘接触时，使连接横板因一端受力使另一端向上抬升，而两侧的锥形夹持板会因加强杆的固定，使摆动力臂的移动使悬浮臂同样向外延伸，当扩张的锥形夹持板接触到晶圆时通过内侧的放置槽将晶圆搭接在其放置槽的表面避免了需要气动吸盘依次从晶圆收纳托上吸取的问题；不仅保证晶圆固定的同时，防止吸盘吸取时出现位置偏差，导致晶圆角度偏移的情况，且减少气动吸盘与托盘之间的距离，提高吸取与运输效率。提高吸取与运输效率。提高吸取与运输效率。
【技术实现步骤摘要】
碳化硅晶圆清洗装置
[0001]本专利技术涉及晶圆清洗领域，具体而言，涉及碳化硅晶圆清洗装置。
技术介绍
[0002]在半导体制造过程中，将一个晶圆加工制成布满集成电路器件的晶圆涉及多达几百步制程。在这些制程中涉及到的主流工艺包括光刻工艺，干法刻蚀工艺，物理气相沉积工艺，化学气相沉积工艺等在通过对晶圆进行清洗时，通常只能采用手动移动或清洗晶圆的方式。
[0003]碳化硅晶圆一般都有晶格畸变，使用前需要用KOH热溶液进行清洗，使得晶格畸变得到缓解或部分修复。传统的方法都是通过人工执行，例如用镊子夹住碳化硅晶圆在KOH热溶液中进行清洗和归放，费时费力，还容易造成碱液遗撒，溅伤皮肤。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供碳化硅晶圆清洗装置，通过设置吸盘组件、托举组件与机械传动臂解决了传统的方法都是通过人工执行，例如用镊子夹住碳化硅晶圆在KOH热溶液中进行清洗和归放，费时费力，还容易造成碱液遗撒，溅伤皮肤的问题。
[0005]为了实现上述专利技术目的，本专利技术提供了以下技术方案：
[0006]碳化硅晶圆清洗装置，以解决上述问题。
[0007]本申请具体是这样的：
[0008]包括晶圆收纳托，所述晶圆收纳托的内底壁固定连接有托举组件，所述晶圆收纳托的一侧放置有承载台，所述承载台上表面的一侧固定安装有溶液热浴釜，所述溶液热浴釜上表面的中部固定安装有晶圆冲洗皿，所述承载台远离晶圆冲洗皿上表面的一侧固定安装有机械传动臂，所述机械传动臂的一端固定安装有吸盘组件，所述吸盘组件均放置在晶圆冲洗皿的上方与晶圆收纳托的上方，所述吸盘组件的上表面中部固定安装有传动组件，所述晶圆收纳托通过放置架组成，所述放置架的内侧壁固定安装有阶梯板。
[0009]作为本申请优选的技术方案，所述阶梯板的数量为若干个，并以纵向阵列的形式均匀分布，若干个所述阶梯板与托举组件相适配，所述传动组件包括固定安装在机械传动臂前端的安装架，所述安装架的内顶壁贯穿连接有气缸，所述气缸的一端固有顶杆，所述顶杆的一端固定安装有浮动接头。
[0010]作为本申请优选的技术方案，所述气缸靠近顶杆的一侧贯穿连接有支撑板，所述顶杆贯穿连接在浮动接头的一端贯穿连接有直线轴承，所述直线轴承与气缸均通过支撑板固定安装在安装架的内侧壁上，所述顶杆贯穿直线轴承与浮动接头的一端固定安装在吸盘组件的上表面。
[0011]作为本申请优选的技术方案，所述吸盘组件包括固定安装在顶杆一端的活动块，所述活动块与气缸相适配，所述活动块的两侧均固定安装有承载侧臂，所述承载侧臂的一侧表面边缘处通过转轴活动连接有悬浮臂，所述悬浮臂的一侧表面底部通过转轴活动连接
有摆动力臂。
[0012]作为本申请优选的技术方案，所述承载侧臂、悬浮臂与摆动力臂之间通过转轴相互联动，所述摆动力臂一侧表面活动卡接有加强杆，所述摆动力臂通过加强杆的外弧面活动连接有锥形夹持板，所述锥形夹持板的内侧壁底部开设有放置槽，所述放置槽的一侧表面设有弧形部。
[0013]作为本申请优选的技术方案，两个所述加强杆的两端均固定安装有吸盘架，所述吸盘架由横杆与纵杆组成，所述加强杆固定在吸盘架横杆与纵杆之间的夹角处，所述吸盘架两侧的横杆处下表面均固定安装有多个气动吸盘，所述锥形夹持板倾斜贯穿至吸盘架的表面，并与气动吸盘相适配。
[0014]作为本申请优选的技术方案，所述托举组件包括固定安装在晶圆收纳托上表面两侧的凹形架，两个所述凹形架的内侧壁顶部通过转轴活动连接横板，所述连接横板的一侧表面通过转轴活动卡接有固定销，所述连接横板的另一侧表面通过转轴活动连接有托举杆，所述托举杆的上表面固定安装有托盘。
[0015]作为本申请优选的技术方案，所述托盘与阶梯板上的晶圆相适配，所述固定销的上表面中部固定安装有伸缩杆，所述伸缩杆的顶端贯穿连接有纵向轴承套，所述纵向轴承套的外弧面通过螺栓固定安装有L形连接板，所述L形连接板的一侧表面通过螺栓固定安装在晶圆收纳托的一侧表面上，所述伸缩杆的顶端与吸盘架上的横杆相适配。
[0016]作为本申请优选的技术方案，所述气动吸盘与托盘之间相活动适配，所述吸盘组件通过机械传动臂旋转带动，并与溶液热浴釜与晶圆收纳托相适配。
[0017]一种碳化硅晶圆清洗装置的方法，包括以下步骤；
[0018]将通过机械传动臂带动吸盘组件移动至晶圆收纳托的上方，并向下移动当气动吸盘接触到晶圆时内部的锥形夹持板搭接在晶圆的两侧，当气动吸盘吸紧后两侧的锥形夹持板进行夹紧固定，保证晶圆固定的同时，防止吸盘吸取时出现位置偏差，导致晶圆角度偏移的情况。
[0019]将晶圆收纳托内的晶圆通过托举组件内的托盘抬升，并通过吸盘组件内的吸盘架与伸缩杆之间的配合，进一步缩短晶圆与气动吸盘之前的行距，提高吸取与运输效率。
[0020]将通过机械传动臂带动吸取后的吸盘组件移动至晶圆冲洗皿的上方，并通过溶液热浴釜进行清洗，实现机械清洗避免了通过人工执行造成碱液遗撒，溅伤皮肤的问题，提高清洗效率。
[0021]与现有技术相比，本专利技术的有益效果：
[0022]在本申请的方案中：
[0023]1.通过设置的吸盘组件与托举组件，实现了顶杆向下移动，使托举组件上的晶圆与气动吸盘接触时，吸盘架一侧的横杆会挤压组件内的伸缩杆，使连接横板因一端受力使另一端向上抬升，并带动另一端的托举杆向上移动使托盘将底端的放置在阶梯板上的晶圆抬升至顶端，而两侧的锥形夹持板会因加强杆的固定，使摆动力臂的移动使悬浮臂同样向外延伸，当扩张的锥形夹持板接触到晶圆时通过内侧的放置槽将晶圆搭接在其放置槽的表面解决了现有技术中需要气动吸盘依次从晶圆收纳托上吸取的问题；不仅保证晶圆固定的同时，防止吸盘吸取时出现位置偏差，导致晶圆角度偏移的情况，且减少气动吸盘与托盘之间的距离，提高吸取与运输效率。
[0024]2.通过设置的传动组件、机械传动臂与晶圆冲洗皿等装置，实现了传动组件内部的气缸启动，并带动顶杆向下移动，通过浮动接头与直线轴承的连接，使顶杆固定延伸至吸盘组件内的活动块上，并且通过机械传动臂的运输至晶圆冲洗皿的上方解决了现有技术中通过人工拿取镊子夹住碳化硅晶圆在KOH热溶液中进行清洗和归放的问题进一步提高自动化程度，降低人工参与，保证人员安全。
附图说明
[0025]图1为本申请提供的碳化硅晶圆清洗装置的平面结构示意图；
[0026]图2为本申请提供的碳化硅晶圆清洗装置的结构示意图；
[0027]图3为本申请提供的碳化硅晶圆清洗装置的传动组件与吸盘组件局部结构示意图；
[0028]图4为本申请提供的碳化硅晶圆清洗装置的晶圆收纳托结构示意图；
[0029]图5为本申请提供的碳化硅晶圆清洗装置的吸盘组件内部结构示意图；
[0030]图6为本申请提供的碳化硅晶圆清洗装置的托举组件结构示意图；
[0031]图7为本申请提供的碳化硅晶圆清洗装置的托举组件拆解结构示意图；
[0032]图8为本申请提供的碳化硅晶圆清洗本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.碳化硅晶圆清洗装置，其特征在于，包括晶圆收纳托(1)，所述晶圆收纳托(1)的内底壁固定连接有托举组件(2)，所述晶圆收纳托(1)的一侧放置有承载台(3)，所述承载台(3)上表面的一侧固定安装有溶液热浴釜(4)，所述溶液热浴釜(4)上表面的中部固定安装有晶圆冲洗皿(5)，所述承载台(3)远离晶圆冲洗皿(5)上表面的一侧固定安装有机械传动臂(6)，所述机械传动臂(6)的一端固定安装有吸盘组件(7)，所述吸盘组件(7)均放置在晶圆冲洗皿(5)的上方与晶圆收纳托(1)的上方，所述吸盘组件(7)的上表面中部固定安装有传动组件(8)，所述晶圆收纳托(1)通过放置架(9)组成。2.根据权利要求1所述的碳化硅晶圆清洗装置，其特征在于，所述传动组件(8)包括固定安装在机械传动臂(6)前端的安装架(801)，所述安装架(801)的内顶壁贯穿连接有气缸(802)，所述气缸(802)的一端固定有顶杆(803)，所述顶杆(803)的一端固定安装有浮动接头(804)。3.根据权利要求2所述的碳化硅晶圆清洗装置，其特征在于，所述气缸(802)靠近顶杆(803)的一侧贯穿连接有支撑板，所述顶杆(803)贯穿连接在浮动接头(804)的一端贯穿连接有直线轴承(805)，所述直线轴承(805)与气缸(802)均通过支撑板固定安装在安装架(801)的内侧壁上，所述顶杆(803)贯穿直线轴承(805)与浮动接头(804)的一端固定安装在吸盘组件(7)的上表面。4.根据权利要求1所述的碳化硅晶圆清洗装置，其特征在于，所述吸盘组件(7)包括固定安装在顶杆(803)一端的活动块(701)，所述活动块(701)与气缸(802)相适配，所述活动块(701)的两侧均固定安装有承载侧臂(702)，所述承载侧臂(702)的一侧表面边缘处通过转轴活动连接有悬浮臂(703)，所述悬浮臂(703)的一侧表面底部通过转轴活动连接有摆动力臂(704)。5.根据权利要求4所述的碳化硅晶圆清洗装置，其特征在于，所述承载侧臂(702)、悬...
【专利技术属性】
技术研发人员：闫方亮，于渤，杨丽霞，
申请(专利权)人：北京聚睿众邦科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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