水膜喷淋装置及刻蚀设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及光伏发电技术领域，具体公开了水膜喷淋装置及刻蚀设备，水膜喷淋装置包括供水总成和喷淋总成，供水总成包括支座、水箱和计量泵，支座与刻蚀设备的机体固定连接，水箱与支座固定连接，计量泵与支座固定连接，计量泵设置有进水口和出水口，进水口与水箱的内部连通，喷淋总成包括安装板，安装板与刻蚀设备的机体固定连接，安装板的底部设置有喷淋槽，硅片设置在喷淋槽内，硅片和安装板形成有喷淋间隙，安装板还设置有喷淋孔，喷淋孔与喷淋间隙连通，出水口能够与喷淋孔连通。通过调节计量泵的参数实现精准控制出水量，在喷淋之后无需设置额外的水膜刮水装置，降低设备成本以及生产成本。以及生产成本。以及生产成本。

【技术实现步骤摘要】
水膜喷淋装置及刻蚀设备


[0001]本技术涉及光伏发电
，尤其涉及一种水膜喷淋装置及刻蚀设备。

技术介绍

[0002]光伏发电行业往往通过刻蚀设备对硅片加工，为了防止在加工过程中硅片无需加工的位置发生过刻，需要在硅片上形成一层水膜。现有技术的方案是通过气动阀和手动隔膜阀控制出水量的大小，但此种方案需要人为调节阀门控制出水量，且人为调节阀门开度的调节误差较大，导致最终在硅片上形成的水膜很难满足刻蚀需求。为解决这个问题，现有技术中提供了多种水膜刮水装置，通过该装置刮去硅片上多余的水，使之满足刻蚀需求。毫无疑问，额外增加的水膜刮水装置增加了设备的整体成本，且应用该装置后，形成水膜的过程中消耗的水量要高于正常工艺需求的水量，导致生产成本增加。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种水膜喷淋装置及刻蚀设备，以解决现有的方案在形成水膜时需要额外设置刮水装置导致的成本增加的问题。
[0004]本技术提供一种水膜喷淋装置，用于刻蚀设备，刻蚀设备用于刻蚀硅片，水膜喷淋装置包括供水总成和喷淋总成，供水总成包括支座、水箱和计量泵，支座与刻蚀设备的机体固定连接，水箱与支座固定连接，计量泵与支座固定连接，计量泵设置有进水口和出水口，进水口与水箱的内部连通，喷淋总成包括安装板，安装板与刻蚀设备的机体固定连接，安装板的底部设置有喷淋槽，硅片设置在喷淋槽内，硅片和安装板形成有喷淋间隙，安装板还设置有喷淋孔，喷淋孔与喷淋间隙连通，出水口能够与喷淋孔连通。
[0005]作为水膜喷淋装置的优选技术方案，供水总成还包括供水筒，供水筒开口的一端与水箱的内部连通，供水筒的侧壁上固定设置有供水接头，供水接头的一端与供水筒的内部连通，供水接头的另一端与进水口连通。
[0006]作为水膜喷淋装置的优选技术方案，供水接头的数量包括四个，计量泵的数量包括四个，四个供水接头与四个计量泵一一连通。
[0007]作为水膜喷淋装置的优选技术方案，水箱的底部固定连接有进排水接头，进排水接头被配置为向水箱内部供水或排出水箱内部的水。
[0008]作为水膜喷淋装置的优选技术方案，水箱的侧壁上固定设置有两个连通接头，两个连通接头均与水箱的内部连通，两个连通接头沿竖直方向设置，两个连通接头分别与连通管连接。
[0009]作为水膜喷淋装置的优选技术方案，水箱的侧壁固定连接有溢流接头，溢流接头与水箱的内部连通，溢流接头设置在远离进排水接头的一端。
[0010]作为水膜喷淋装置的优选技术方案，水箱的顶部设置有平衡孔。
[0011]作为水膜喷淋装置的优选技术方案，计量泵和安装板之间还设置有阀门和水管，阀门与安装板固定连接，阀门的进口与出水口通过水管连通，阀门的出口与喷淋孔连通。
[0012]作为水膜喷淋装置的优选技术方案，水管上还设置有单向阀，单向阀的入口朝向水管中水的流动方向。
[0013]本技术提供一种刻蚀设备，包括机体和上述任一方案的的水膜喷淋装置，水膜喷淋装置与机体固定连接。
[0014]本技术的有益效果为：
[0015]本技术提供一种水膜喷淋装置，用于刻蚀设备，刻蚀设备用于刻蚀硅片，水膜喷淋装置包括供水总成和喷淋总成，供水总成包括支座、水箱和计量泵，支座与刻蚀设备的机体固定连接，水箱与支座固定连接，计量泵与支座固定连接，计量泵设置有进水口和出水口，进水口与水箱的内部连通，喷淋总成包括安装板，安装板与刻蚀设备的机体固定连接，安装板的底部设置有喷淋槽，硅片设置在喷淋槽内，硅片和安装板形成有喷淋间隙，安装板还设置有喷淋孔，喷淋孔与喷淋间隙连通，出水口能够与喷淋孔连通。通过调节计量泵的参数实现精准控制出水量，在喷淋之后无需设置额外的水膜刮水装置，降低设备成本以及生产成本。
附图说明
[0016]图1为本技术实施例中供水总成的结构示意图；
[0017]图2为图1中A部分的局部放大图；
[0018]图3为本技术实施例中供水总成的俯视图；
[0019]图4为本技术实施例中供水总成的正视图；
[0020]图5为本技术实施例中供水总成的左视图；
[0021]图6为本技术实施例中喷淋总成的结构示意图；
[0022]图7为本技术实施例中喷淋总成的俯视图；
[0023]图8为图7中B
‑
B向的剖视图。
[0024]图中：
[0025]1、支座；11、第一护板；12、第二护板；13、支架；14、安装座；15、安装块；16、排水孔；
[0026]21、水箱；211、平衡孔；22、供水筒；221、供水接头；23、进排水接头；24、溢流接头；25、连通接头；
[0027]3、计量泵；31、进水口；32、出水口；
[0028]41、连接板；42、安装板；421、喷淋间隙；422、喷淋孔；43、直接接头；44、阀门；
[0029]5、硅片。
具体实施方式
[0030]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0031]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定
的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置，而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0032]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以视具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0033]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0034]光伏发电行业往往通过刻蚀设备对硅片加工，为了防止在加工过程本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.水膜喷淋装置，用于刻蚀设备，所述刻蚀设备用于刻蚀硅片(5)，其特征在于，包括供水总成和喷淋总成，所述供水总成包括：支座(1)，所述支座(1)与所述刻蚀设备的机体固定连接；水箱(21)，所述水箱(21)与所述支座(1)固定连接；计量泵(3)，所述计量泵(3)与所述支座(1)固定连接，所述计量泵(3)设置有进水口(31)和出水口(32)，所述进水口(31)与所述水箱(21)的内部连通；所述喷淋总成包括：安装板(42)，所述安装板(42)与所述刻蚀设备的机体固定连接，所述安装板(42)的底部设置有喷淋槽，所述硅片(5)设置在所述喷淋槽内，所述硅片(5)和所述安装板(42)形成有喷淋间隙(421)，所述安装板(42)还设置有喷淋孔(422)，所述喷淋孔(422)与所述喷淋间隙(421)连通，所述出水口(32)能够与所述喷淋孔(422)连通。2.根据权利要求1所述的水膜喷淋装置，其特征在于，所述供水总成还包括供水筒(22)，所述供水筒(22)开口的一端与所述水箱(21)的内部连通，所述供水筒(22)的侧壁上固定设置有供水接头(221)，所述供水接头(221)的一端与所述供水筒(22)的内部连通，所述供水接头(221)的另一端与所述进水口(31)连通。3.根据权利要求2所述的水膜喷淋装置，其特征在于，所述供水接头(221)的数量包括四个，所述计量泵(3)的数量包括四个，四个所述供水接头(221)与四个所述计量泵(3)一一连通。4.根据权利要求1所述的水膜...

【专利技术属性】
技术研发人员：王涛，蒋新，刘苏凯，沈红旗，施利君，
申请(专利权)人：苏州晶洲装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：