用于柔性玻璃基板的清洗装置及清洗方法制造方法及图纸

本申请实施例公开了一种用于柔性玻璃基板的清洗装置及清洗方法，用于柔性玻璃基板切割的清洗装置包括清洗池、清洗输送带、移载托架和气浮板；所述清洗池用于盛装清洗液，所述清洗池内安装有超声波发生装置；所述清洗输送带用于吸附柔性玻璃基板在所述清洗池内进行清洗；所述移载托架用于辅助所述柔性玻璃基板在所述清洗输送带以及与所述清洗池相邻的输送单元之间进行传送；所述气浮板用于辅助所述柔性玻璃基板在所述移载托架以及与所述清洗池相邻的输送单元之间进行传送。因此，本申请实施例的用于柔性玻璃基板的清洗装置及清洗方法，能够适用于柔性玻璃基板在清洗工艺中的传送和清洗，避免发生变形、褶皱、位置偏移等问题。题。题。

【技术实现步骤摘要】
用于柔性玻璃基板的清洗装置及清洗方法


[0001]本申请涉及玻璃基板加工
，尤其涉及一种用于柔性玻璃基板的清洗装置及清洗方法。

技术介绍

[0002]随着显示技术的不断发展，柔性显示以其质量轻、可轻薄化、耐用和可收卷等优点，成为最具发展潜力的下一代显示技术，开发出具有优异的综合性能的柔性玻璃基板成为实现柔性显示的关键环节。
[0003]柔性玻璃基板的生产方式多是采用溢流下拉的直接热成型工艺进行生产。相较于厚度约为300μm
‑
1500μm的传统玻璃基板，柔性玻璃基板通常厚度小于0.1mm，具有可弯曲性，可像纸一样卷曲。因此，柔性玻璃基板在生产出来后可通过收卷的方式进行储存。
[0004]由于柔性玻璃基板特有的超薄、超轻和柔性可形变的特性，使其在清洗工艺的传送过程中，无法通过自身的强度来支撑形成固定的形状，极易发生会变形、褶皱、位置偏移等问题。
[0005]综上所述，怎样将柔性玻璃基板顺利地传送到清洗工艺中进行清洗加工的问题亟待解决。

技术实现思路

[0006]为了解决
技术介绍
中提到的至少一个问题，本申请实施例提供一种用于柔性玻璃基板的清洗装置及清洗方法，能够适用于柔性玻璃基板在清洗工艺中的传送和清洗，避免发生变形、褶皱、位置偏移等问题。
[0007]为了实现上述目的，第一方面，本申请实施例提供一种用于柔性玻璃基板的清洗装置，包括清洗池、清洗输送带、移载托架和气浮板；所述清洗池用于盛装清洗液，所述清洗池内安装有超声波发生装置；所述清洗输送带用于吸附柔性玻璃基板在所述清洗池内进行清洗；所述清洗输送带包括多条相对间隔设置且相互平行的子清洗输送带，各所述子清洗输送带均跨越设置在所述清洗池相对的侧壁之间，且各所述子清洗输送带的两端均位于所述清洗池外；各所述子清洗输送带上均开设有多个真空吸附孔，各所述真空吸附孔均连通有抽真空管路，所述抽真空管路连接至抽真空设备；所述移载托架用于辅助所述柔性玻璃基板在所述清洗输送带以及与所述清洗池相邻的输送单元之间进行传送；所述移载托架设置有两组，两组所述移载托架对称设置于所述清洗液输送带的两端；各组所述移载托架均包括多个子移载托架，所述子移载托架和所述子清洗输送带交错布置；所述子移载托架包括升降组件、移载平台和移载输送带，所述升降组件与所述移载平台固定连接，且所述升降组件用于驱动所述移载平台沿所述清洗池的深度方向上下移动，所述移载输送带安装于所述移载平台上；所述气浮板用于辅助所述柔性玻璃基板在所述移载托架以及与所述清洗池相邻
的输送单元之间进行传送；所述气浮板设置有两个，各所述移载托架远离所述清洗池的一侧均设置有一所述气浮板；所述气浮板相邻所述移载托架设置，或所述气浮板相邻与所述清洗池相邻的处理单元设置；所述气浮板包括板体、喷嘴和供气装置，所述板体用于补充所述移载输送带以及与所述清洗池相邻的输送单元之间的至少部分间隙；所述板体上设置有多个所述喷嘴，所述供气装置的排气端连通至各所述喷嘴，各所述喷嘴的排气端用于向传送中的所述柔性玻璃基板喷气。
[0008]在一种可以实现的实施方式中，所述清洗池的侧壁上设置有开口；所述子清洗输送带包括位于上方的上输送段和位于下方的下输送段，所述上输送段穿过所述开口，所述下输送段绕经所述清洗池的下方；所述清洗池内的液面高于与所述上输送段的输送表面。
[0009]在一种可以实现的实施方式中，还包括液面保持装置，所述液面保持装置安装于所述清洗池的内侧壁上；所述液面保持装置包括液切刀部，所述液切刀部朝靠近所述开口内侧的所述子清洗输送带喷射清洗液，以形成沿所述子清洗输送带宽度方向延伸的清洗液帘，隔离密封所述开口处；和/或，所述液面保持装置包括气切刀部，所述气切刀部朝靠近所述开口内侧的所述子清洗输送带吹送空气，以形成沿所述子清洗输送带宽度方向延伸的隔离气帘，隔离密封所述开口处。
[0010]在一种可以实现的实施方式中，所述子清洗输送带宽度方向的两侧的边缘处设置挡板，所述挡板在所述子清洗输送带的环绕平面内延伸，且所述挡板与所述子清洗输送带密封接触。
[0011]在一种可以实现的实施方式中，与所述清洗池相邻的所述输送单元的高度，高于所述清洗输送带的高度，所述气浮板固定安装在靠近与所述清洗池相邻的所述输送单元的位置；沿所述清洗池的高度方向，所述气浮板的上表面的面积大于所述气浮板的下表面的面积。
[0012]在一种可以实现的实施方式中，沿所述移载输送带的宽度方向，所述气浮板上间隔设置有用于引导限位所述柔性玻璃基板的位置的导向轮。
[0013]在一种可以实现的实施方式中，与所述清洗池相邻的所述输送单元包括基板输送带，所述基板输送带用于传输所述柔性玻璃基板；所述子清洗输送带、所述移载输送带和所述基板输送带均包括柔性输送带。
[0014]在一种可以实现的实施方式中，还包括升降位置传感器、气浮位置传感器、移载位置传感器和控制器；所述升降位置传感器位于所述子移载托架的上方和/或下方，用于检测所述子移载托架的高度位置；所述气浮位置传感器位于所述气浮板的上下两侧或左右两侧，用于检测所述柔性玻璃基板在所述气浮板上的传送位置；所述移载位置传感器位于所述清洗输送带的两端的左右两侧，用于检测被所述柔性玻璃基板在所述清洗液输送带上的传送位置；所述控制器与所述升降位置传感器、所述气浮位置传感器、所述移载位置传感器均电性连接，且所述控制器与所述清洗输送带、所述移载输送带、所述升降组件以及与所述清洗池相邻的所述输送单元的动力件均电性连接。
[0015]第二方面，本申请实施例还提供一种用于柔性玻璃基板的清洗方法，应用于上述的用于柔性玻璃基板的清洗装置，所述用于柔性玻璃基板的清洗方法包括以下步骤：使位于所述清洗输送带的输入端的各所述移载输送带的输送表面，与上一级的所述输送单元的输送表面位于同一水平面内；上一级的所述输送单元上的所述柔性玻璃基板，传送至位于所述清洗输送带的输入端的各所述移载输送带上；其中，上一级的所述输送单元为相邻所述清洗输送带的输入端的所述输送单元，上一级的所述输送单元与位于所述清洗输送带的输入端的各所述移载输送带之间的所述喷嘴持续向所述柔性玻璃基板喷气；待整个所述柔性玻璃基板传送至位于所述清洗输送带的输入端的各所述移载输送带上，关闭位于所述清洗输送带的输入端的各所述移载输送带的运行；关闭所述清洗输送带的运行；使位于所述清洗输送带的输入端的各所述移载输送带的输送表面，与所述清洗输送带的输送表面位于同一水平面内；开启对位于所述清洗液输送带的输入端的、被所述柔性玻璃基板所覆盖的真空吸附孔的抽真空操作，使所述柔性玻璃基板吸附于所述清洗液输送带上；开启所述清洗液输送带的运行，使所述清洗液输送带吸附所述柔性玻璃基板进入所述清洗池内，对位于在所述清洗池内的所述柔性玻璃基板进行超声清洗；关闭位于所述清洗输送带的输出端的各所述移载输送带的运行，使位于所述清洗输送带的输出端的各所述移载输送带的输送表面，与所述清洗输送带的输送表面位于同一水平面内；所述清洗输送带输送已完成超声清洗的所述柔性玻璃基板至所述清洗输送带的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于柔性玻璃基板的清洗装置，其特征在于，包括清洗池、清洗输送带、移载托架和气浮板；所述清洗池用于盛装清洗液，所述清洗池内安装有超声波发生装置；所述清洗输送带用于吸附柔性玻璃基板在所述清洗池内进行清洗；所述清洗输送带包括多条相对间隔设置且相互平行的子清洗输送带，各所述子清洗输送带均跨越设置在所述清洗池相对的侧壁之间，且各所述子清洗输送带的两端均位于所述清洗池外；各所述子清洗输送带上均开设有多个真空吸附孔，各所述真空吸附孔均连通有抽真空管路，所述抽真空管路连接至抽真空设备；所述移载托架用于辅助所述柔性玻璃基板在所述清洗输送带以及与所述清洗池相邻的输送单元之间进行传送；所述移载托架设置有两组，两组所述移载托架对称设置于所述清洗液输送带的两端；各组所述移载托架均包括多个子移载托架，所述子移载托架和所述子清洗输送带交错布置；所述子移载托架包括升降组件、移载平台和移载输送带，所述升降组件与所述移载平台固定连接，且所述升降组件用于驱动所述移载平台沿所述清洗池的深度方向上下移动，所述移载输送带安装于所述移载平台上；所述气浮板用于辅助所述柔性玻璃基板在所述移载托架以及与所述清洗池相邻的输送单元之间进行传送；所述气浮板设置有两个，各所述移载托架远离所述清洗池的一侧均设置有一所述气浮板；所述气浮板相邻所述移载托架设置，或所述气浮板相邻与所述清洗池相邻的处理单元设置；所述气浮板包括板体、喷嘴和供气装置，所述板体用于补充所述移载输送带以及与所述清洗池相邻的输送单元之间的至少部分间隙；所述板体上设置有多个所述喷嘴，所述供气装置的排气端连通至各所述喷嘴，各所述喷嘴的排气端用于向传送中的所述柔性玻璃基板喷气。2.根据权利要求1所述的用于柔性玻璃基板的清洗装置，其特征在于，所述清洗池的侧壁上设置有开口；所述子清洗输送带包括位于上方的上输送段和位于下方的下输送段，所述上输送段穿过所述开口，所述下输送段绕经所述清洗池的下方；所述清洗池内的液面高于与所述上输送段的输送表面。3.根据权利要求2所述的用于柔性玻璃基板的清洗装置，其特征在于，还包括液面保持装置，所述液面保持装置安装于所述清洗池的内侧壁上；所述液面保持装置包括液切刀部，所述液切刀部朝靠近所述开口内侧的所述子清洗输送带喷射清洗液，以形成沿所述子清洗输送带宽度方向延伸的清洗液帘，隔离密封所述开口处；和/或，所述液面保持装置包括气切刀部，所述气切刀部朝靠近所述开口内侧的所述子清洗输送带吹送空气，以形成沿所述子清洗输送带宽度方向延伸的隔离气帘，隔离密封所述开口处。4.根据权利要求3所述的用于柔性玻璃基板的清洗装置，其特征在于，所述子清洗输送带宽度方向的两侧的边缘处设置挡板，所述挡板在所述子清洗输送带的环绕平面内延伸，且所述挡板与所述子清洗输送带密封接触。5.根据权利要求1
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3任一项所述的用于柔性玻璃基板的清洗装置，其特征在于，与所述清洗池相邻的所述输送单元的高度，高于所述清洗输送带的高度，所述气浮板固定安装在靠近与所述清洗池相邻的所述输送单元的位置；
沿所述清洗池的高度方向，所述气浮板的上表面的面积大于所述气浮板的下表面的面积。6.根据权利要求5所述的用于柔性玻璃基板的清洗装置，其特征在于，沿所述移载输送带的宽度方向，所述气浮板上间隔设置有用于引导限位所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李赫然，李青，张增良，王玉乾，任晟冲，
申请(专利权)人：石家庄旭新光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：