一种矩阵式轮廓测量方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及精密测量领域，具体提供一种矩阵式轮廓测量方法及装置，包括高刚度台面、集成数据处理器、多个干涉测头以及数据分析处理系统，所述多个干涉测头形成矩阵式排布，在使用时，利用标准平面或标准球面对所述矩阵式轮廓测量装置进行标定，以获取初始位置读数，将所述矩阵式轮廓测量装置放置在被检表面，所述干涉测头基于被检表面的轮廓产生伸缩运动，产生条纹移动示数；利用多个所述干涉测头的条纹移动示数计算得到所述被检表面的轮廓形貌数据，可以通过一次测量实现大量点阵测量，对于小型元件可以一次完成全孔径测量，对于大型元件可以通过少量测量次数拼接测量完成，能够大大提高复杂形貌元件的测量速度。大提高复杂形貌元件的测量速度。大提高复杂形貌元件的测量速度。

【技术实现步骤摘要】
一种矩阵式轮廓测量方法及装置


[0001]本专利技术涉及精密测量
，特别涉及一种矩阵式轮廓测量方法及装置。

技术介绍

[0002]非球面、自由曲面等复杂曲面制造过程中的主要测量技术手段包括研磨、粗抛光阶段的接触式轮廓测量，精密抛光阶段的补偿干涉测量等。一般来说，在研磨粗抛阶段，优于需要反复迭代收敛，往往要求较快的测量速度和相对较高的效率，但是现有的测量方法包括三座标测量机、摆臂轮廓仪等逐点扫描测量技术耗时较长，往往不能满足于大批量快速生产需求。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本专利技术实施例中提供一种矩阵式轮廓测量方法及装置。
[0004]第一方面，本专利技术实施例中提供一种矩阵式轮廓测量装置，包括高刚度台面、集成数据处理器、多个干涉测头以及数据分析处理系统，所述多个干涉测头形成矩阵式排布，其中，所述高刚度台面，用于安装所述集成数据处理器和所述干涉测头；所述集成数据处理器，用于通过光纤引入干涉用光，接收、解析和计数基于所述干涉用光产生的干涉条纹；所述干涉测头，包括标准平面镜、接触式测头、以及与所述接触式测头固本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种矩阵式轮廓测量装置，其特征在于，包括高刚度台面、集成数据处理器、多个干涉测头以及数据分析处理系统，所述多个干涉测头形成矩阵式排布，其中，所述高刚度台面，用于安装所述集成数据处理器和所述干涉测头；所述集成数据处理器，用于通过光纤引入干涉用光，接收、解析和计数基于所述干涉用光产生的干涉条纹；所述干涉测头，包括标准平面镜、接触式测头、以及与所述接触式测头固定连接的角锥棱镜，通过所述标准平面镜的下表面反射光和所述接触式测头上端的角锥棱镜的角锥反射光干涉形成干涉条纹，所述接触式测头在接触被检表面后产生上下伸缩运动，形成条纹移动示数；所述数据分析处理系统，用于所述多个干涉测头的条纹移动示数进行分析计算得到所述被检表面的轮廓形貌数据。2.根据权利要求1所述的矩阵式轮廓测量装置，其特征在于，所述接触式测头包括测杆、设置在所述测杆顶端的红宝石测头。3.根据权利要求1或2所述的矩阵式轮廓测量装置，其特征在于，所述高刚度台面上沿竖直方向设有多个安装所述干涉测头的定位孔，所述测杆容纳在所述定位孔内，所述测杆上设有弹簧组件，在所述弹簧组件的弹力作用下所...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾雪锋，罗霄，张学军，薛栋林，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：