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本发明涉及精密测量领域，具体提供一种矩阵式轮廓测量方法及装置，包括高刚度台面、集成数据处理器、多个干涉测头以及数据分析处理系统，所述多个干涉测头形成矩阵式排布，在使用时，利用标准平面或标准球面对所述矩阵式轮廓测量装置进行标定，以获取初始位置...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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