流量传感器模块及流量计制造技术

本实用新型专利技术涉及一种流量传感器模块及流量计，流量传感器模块包括主体、传感器单元及检测电极，检测电极包括具有第一焊盘及第二焊盘，检测电极上形成有间隙结构，以使第一焊盘与第二焊盘之间不导通。在使用过程中，杂质将同时在检测电极及传感器单元的感测区域上累积。而随着杂质在检测电极上累积，间隙结构将发生变化，从而导致检测电极的电阻或电容等电性参数发生变化。因此，通过对第一焊盘与第二焊盘之间的电性参数进行检测，便可得到杂质在检测电极及传感器单元的感应区域的累积程度，从而当杂质在传感器单元的感测区域累积的程度影响测量精度时，能够及时提示对传感器单元进行清洁或更换，以保持较高测量精度。以保持较高测量精度。以保持较高测量精度。

【技术实现步骤摘要】
流量传感器模块及流量计


[0001]本技术涉及流量检测
，特别涉及一种流量传感器模块及流量计。

技术介绍

[0002]流量计能够用于气体或液体的流量检测，已被广泛应用于各领域，例如，环境监测、医疗卫生、安全防护等。
[0003]但是，随着使用时间的增加，流体中夹杂的灰尘等杂质容易在流量计的传感器单元的感测区域表面累积，从而导致传感器单元的敏感度降低。若无法对传感器单元进行及时的清洁或更换，便会导致流量计的测量精度降低。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对上述问题，提供一种方便维护，以保持较高测量精度的流量传感器模块及流量计。
[0005]一种流量传感器模块，其特征在于，包括：
[0006]主体，所述主体内形成有供流体通过的流体流道；
[0007]传感器单元，设置于所述主体内，所述传感器单元的感测区域至少部分暴露于所述流体流道或构成所述流体流道的内壁的一部分；及
[0008]检测电极，设置于所述主体内，所述检测电极暴露于所述流体流道内并位于所述传感器单元的上游侧和/或下游侧；
[0009]其中，所述检测电极具有第一焊盘及第二焊盘，所述检测电极上形成有间隙结构，以使所述第一焊盘与所述第二焊盘之间不导通。
[0010]在其中一个实施例中，所述传感器单元包括加热单元、位于所述加热单元的上游侧的第一温度感应单元及位于所述加热单元的下游侧的第二温度感应单元。
[0011]在其中一个实施例中，所述主体内形成有与所述流体流道连通的检测槽，所述检测电极位于所述检测槽内。
[0012]在其中一个实施例中，所述检测槽具有安装区域及集尘区域，所述安装区域位于所述检测槽靠近所述传感器单元的一侧，所述集尘区域位于所述检测槽远离所述传感器单元的一侧，所述检测电极分布于所述安装区域。
[0013]在其中一个实施例中，所述间隙结构包括多个相互平行并沿预设方向延伸的狭缝。
[0014]在其中一个实施例中，所述检测电极包括第一电极结构及第二电极结构，所述第一焊盘及所述第二焊盘分别设置于所述第一电极结构及所述第二电极结构上，所述间隙结构包括形成于所述第一电极结构与所述第二电极结构之间的多个相互平行并沿预设方向延伸的狭缝。
[0015]在其中一个实施例中，所述主体内形成有与所述流体流道连通的集尘槽，所述集尘槽位于所述检测电极的上游侧。
[0016]在其中一个实施例中，所述集尘槽的底部设置有吸附电极，所述吸附电极能够通电产生静电。
[0017]在其中一个实施例中，所述主体上设置有第一通道及第二通道，所述第一通道及所述第二通道分别与所述流体流道的两端连通，并垂直于所述流体流道，所述集尘槽位于所述第一通道和/或所述第二通道与所述流体流道的连接处。
[0018]在其中一个实施例中，所述主体内形成有与所述流体流道相邻的空腔，所述传感器单元设于所述流体流道与所述空腔之间。
[0019]一种流量计，包括如上述优选实施例中任一项所述的流量传感器模块及封装结构，所述封装结构用于封装所述流量传感器模块。
[0020]上述流量传感器模块及流量计，在对流体进行流体特性检测时，流体沿流体流道流动，并由传感器单元进行检测。在使用过程中，杂质将同时在检测电极及传感器单元的感测区域上累积。而随着杂质在检测电极上累积，检测电极的间隙结构将发生变化，从而导致检测电极的电阻或电容等电性参数发生变化。因此，通过对第一焊盘与第二焊盘之间的电性参数进行检测，便可得到杂质在检测电极上的累积程度，从而得到杂质在传感器单元的感测区域上的累积程度，从而当杂质在传感器单元的感测区域累积的程度影响测量精度时，能够及时提示对传感器单元进行清洁或更换，以保持较高测量精度。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为本技术第一个实施例中流量传感器模块的结构示意图；
[0023]图2为图1所示流量传感器模块中检测电极的结构示意图；
[0024]图3为本技术第二个实施例中流量传感器模块的结构示意图；
[0025]图4为本技术第三个实施例中流量传感器模块的结构示意图；
[0026]图5为本技术第四个实施例中流量传感器模块的结构示意图。
具体实施方式
[0027]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0028]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术
的限制。
[0029]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0030]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0031]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0032]需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种流量传感器模块，其特征在于，包括：主体，所述主体内形成有供流体通过的流体流道；传感器单元，设置于所述主体内，所述传感器单元的感测区域至少部分暴露于所述流体流道或构成所述流体流道的内壁的一部分；及检测电极，设置于所述主体内，所述检测电极暴露于所述流体流道内并位于所述传感器单元的上游侧和/或下游侧；其中，所述检测电极具有第一焊盘及第二焊盘，所述检测电极上形成有间隙结构，以使所述第一焊盘与所述第二焊盘之间不导通。2.根据权利要求1所述的流量传感器模块，其特征在于，所述传感器单元包括加热单元、位于所述加热单元的上游侧的第一温度感应单元及位于所述加热单元的下游侧的第二温度感应单元。3.根据权利要求1所述的流量传感器模块，其特征在于，所述主体内形成有与所述流体流道连通的检测槽，所述检测电极位于所述检测槽内。4.根据权利要求3所述的流量传感器模块，其特征在于，所述检测槽具有安装区域及集尘区域，所述安装区域位于所述检测槽靠近所述传感器单元的一侧，所述集尘区域位于所述检测槽远离所述传感器单元的一侧，所述检测电极分布于所述安装区域。5.根据权利要求1所述的流量传感器模块，其特征在于，所述检测电极包括第一电极结构及第二电极结构，所述第一焊盘及所述第二焊盘分别设置于所述第一电极结构及所述第二电极结构上，所述间隙结构包括形成于所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：安兴，罗英哲，颜培力，李嗣晗，王安康，
申请(专利权)人：上海矽睿科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：