一种纳米薄膜温压复合传感器及其制备方法与应用技术

本发明专利技术公开了一种纳米薄膜温压复合传感器及其制备方法与应用，涉及传感器技术领域；该复合传感器包括：引压嘴，引压嘴上设有引流通道和温敏元件安装槽口；引流通道用于传输被测量介质；引流通道连接芯体；芯体上设有压敏层，压敏层为NiCrS应变层；NiCrS应变层包括如下重量分数的元素：Ni 45%~55%、Cr 45%~55%和S 0.1%~3.5%；压敏层形成应变电阻；温敏层形成温敏电阻；温敏电阻和温敏元件均电连接有温度信号比较电路；温度信号比较电路电连接有信号调理电路。本发明专利技术通过设置两组独立的惠斯通电桥，从而提高了温压复合传感器的使用寿命，减少了故障率。少了故障率。少了故障率。

【技术实现步骤摘要】
一种纳米薄膜温压复合传感器及其制备方法与应用


[0001]本专利技术属于传感器
，具体是一种纳米薄膜温压复合传感器及其制备方法与应用。

技术介绍

[0002]钢基溅射薄膜压力传感器是压力传感器领域的先进技术，它同时具有精度高、稳定性好、工作温度范围宽、可以测量超大量程等优点，广泛应用于石化、工程机械、电力等多个领域。在介质压力的测试过程中，同时必须测量介质的温度；而相关技术中通过在压力传感器表面粘贴温度传感器来实现温度测量，而该方法在用于温度测量的过程中，准确性较差且设备故障率较高。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种纳米薄膜复合传感器，以解决上述
技术介绍
中提出的问题和缺陷的至少一个方面。
[0004]本专利技术第二方面还提供了上述纳米薄膜复合传感器的制备方法。
[0005]本专利技术第三方面还提供了上述纳米复合传感器的应用。
[0006]具体如下，本专利技术第一方面提供了一种纳米薄膜温压复合传感器，其包括：引压嘴，所述引压嘴上设有引流通道和温敏元件安装槽口；所述引流通道用于传输本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种纳米薄膜温压复合传感器，其特征在于，包括：引压嘴，所述引压嘴上设有引流通道和温敏元件安装槽口；所述引流通道用于传输被测量介质；所述引流通道连接芯体；所述温敏元件安装槽口用于安装温敏元件；所述芯体包括钢基，所述钢基上设有绝缘层；所述绝缘层表面部分区域设置有压敏层；所述绝缘层表面另一部分区域设置有温敏层；所述绝缘层表面另一部分区域设置有焊接层；所述绝缘层表面剩余部分区域设有保护层；所述压敏层为NiCrS应变层；所述NiCrS应变层包括如下重量分数的元素：Ni 45%~55%、Cr 45%~55%和S 0.1%~3.5%；所述压敏层形成应变电阻；所述温敏层形成温敏电阻；所述应变电阻形成两组惠斯通电桥；所述温敏层为金属纳米薄膜；所述温敏电阻和所述温敏元件均电连接有温度信号比较电路；所述温度信号比较电路电连接有信号调理电路。2.根据权利要求1所述的纳米薄膜温压复合传感器，其特征在于，所述金属纳米薄膜的厚度为100nm~500nm。...

【专利技术属性】
技术研发人员：范敏，雷卫武，徐承义，
申请(专利权)人：松诺盟科技有限公司，
类型：发明
国别省市：