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一种纳米薄膜温压复合传感器及其制备方法与应用技术
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文档序号:37992486
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本发明公开了一种纳米薄膜温压复合传感器及其制备方法与应用,涉及传感器技术领域;该复合传感器包括:引压嘴,引压嘴上设有引流通道和温敏元件安装槽口;引流通道用于传输被测量介质;引流通道连接芯体;芯体上设有压敏层,压敏层为NiCrS应变层;NiC...
该专利属于松诺盟科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过松诺盟科技有限公司授权不得商用。
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