探针台相机标记物识别方法及装置制造方法及图纸

本申请公开了一种探针台相机标记物识别方法、装置、探针台、电子设备及存储介质，属于标记物识别技术领域，其中，探针台相机标记物识别方法包括：获取相机标记物的标记物二值图；从标记物二值图中获取符合条件的直线；对直线进行预处理得到目标直线；对目标直线两两求交点；将交点的平均位置作为相机标记物中心位置。该方法通过将相机标记物二值图中的目标直线两两求交点能够初步筛选出可能存在相机标记物的位置，再通过计算交点的平均位置能够进一步提高相机标记物识别的准确性。进一步提高相机标记物识别的准确性。进一步提高相机标记物识别的准确性。

【技术实现步骤摘要】
探针台相机标记物识别方法及装置


[0001]本申请属于标记物识别
，具体涉及一种探针台相机标记物识别方法、装置、探针台、电子设备及存储介质。

技术介绍

[0002]探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。测试过程通过探针卡作为测试接口，主要对晶圆上的裸芯进行扎针测试，通过连接测试机和芯片，进行信号传输以对芯片参数进行测试。由于晶圆上的晶粒非常小，通常是微米级别，这对探针台的定位精度要求非常高，影响探针台定位精度的因素有很多，例如机械精度、图像像素精度等。为了确保探针台系统定位准确，我们通常需要对视觉系统进行标定，其涉及到像素标定和相机标定。通过像素标定能确定图像坐标和物理坐标的转换比例，通过图像中像素坐标按照比例转换成物理坐标，确定图像中目标的物理位置，确保视觉系统和机械系统之间的定位精度。通过相机标定能确定多个相机之间的位置关系，确保视觉系统之间的定位精度，如其中一个相机拍摄晶圆表面，另一个相机拍摄探针，晶圆表面的视觉系统和探针的视觉系统分别是两个独立的视觉系统，而探针需要扎入到晶圆进行测试，通过相机标定，能建立联本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针台相机标记物识别方法，其特征在于，包括：获取相机标记物的标记物二值图；从所述标记物二值图中获取符合条件的直线；对所述直线进行预处理得到目标直线；对所述目标直线两两求交点；将所述交点的平均位置作为相机标记物中心位置。2.根据权利要求1所述的一种探针台相机标记物识别方法，其特征在于，对所述直线进行预处理得到目标直线包括：获取共线的所述直线作为共线直线；将所述共线直线合并为所述目标直线。3.根据权利要求2所述的一种探针台相机标记物识别方法，其特征在于，从所述标记物二值图中获取符合条件的直线包括：对所述标记物二值图进行边缘检测得到标记物边缘检测图；通过直线检测算法获取所述标记物边缘检测图中的所述直线；所述直线由两个矢量表示为(α，θ)；其中，α为所述直线到预设点的距离，θ为所述直线与预设直线之间的旋转角度。4.根据权利要求3所述的一种探针台相机标记物识别方法，其特征在于，获取共线的所述直线包括：对所述直线的θ值两两求角度绝对差值；对所述直线的α值两两求距离绝对差值；将所述角度绝对差值小于预设角度差值且所述距离绝对差值小于预设距离差值的直线作为所述共线直线。5.根据权利要求3所述的一种探针台相机标记物识别方法，其特征在于，获取共线的所述直线包括：对所述直线的θ值两两求角度绝对差值；将所述角度绝对差值小于预设角度差值的直线归入第一直线组；对所述第一直线组中的所述直线的α值两两求距离绝对差值；将所述距离绝对差值小于预设距离差值的直线作为所述共线直线。6.根据权利要求3
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5中任一项所述的一种探针台相机标记物识别方法，其特征在于，所述预设点为所述标记物边缘检测图左上角点，所述预设直线为水平线。7.根据权利要求3
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5中任一项所述的一种探针台相机标记物识别方法，其特征在于，将所述共线直线合并为所述目标直线包括：将所述共线直线α值的平均值作为所述目标直线的α值；将所述共线直线θ值的平均值作为所述目标直线的θ...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡超鹏，陈思乡，杨奉利，梁思文，戴啟辉，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：