一种制备绒面ZnO透明导电镀膜玻璃的方法技术

一种制备绒面ＺｎＯ透明导电镀膜玻璃的方法属于玻璃加工和硅薄膜太阳能光伏电池领域。绒面ＺｎＯ透明导电玻璃是实现光伏建筑一体化的关键材料，是提高硅薄膜太阳能光伏电池转换率的重要前提。本发明专利技术在绒面玻璃基片上制备ＺｎＯ透明导电镀膜，形成和绒面玻璃相同绒面结构的ＺｎＯ透明导电膜。该方法为：１）用压延法生产的绒面玻璃作为玻璃基片；２）然后在玻璃的绒面表面用磁控溅射镀ＳｉＯ↓［２］隔离过渡层，再在ＳｉＯ↓［２］隔离过渡层上溅射沉积ＺｎＯ薄膜；３）形成的ＺｎＯ透明导电绒面膜的结构与绒面玻璃基片的一致；制备的绒面ＺｎＯ透明导电玻璃的绒度在１０－４０％之间，可见光总透射率≥８２％，方块电阻在８－２０Ω／□之间。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术具体涉及一种用绒面玻璃基片制备绒面ZnO透明导电镀膜玻璃的方法，即用磁控溅射方法在玻璃绒面上沉积ZnO膜，得到和玻璃绒面结构相一致的绒面ZnO透明导电玻璃，属于玻璃加工、薄膜太阳能光伏电池和光伏建筑一体化领域。
技术介绍
透明导电镀膜玻璃通常用在薄膜太阳能电池、液晶显示器、等离子显示的前电极中，其中绒面结构的玻璃基氧化物透明导电膜能够对入射到其表面的可见光反射、折射和散射，将光线分散到各个角度，从而增加光在薄膜太阳电池吸收层的光程，增加薄膜对光的吸收量。因此，绒面结构的玻璃基氧化物透明导电膜是提高硅薄膜太阳能光伏电池转换率的重要前提，也是实现光伏建筑一体化的关键材料。目前已经有产业化生产的掺氟二氧化锡(FTO)绒面透明导电玻璃。但是，FTO薄膜有毒、价格昂贵、成本高，产业化生产过程中形成的废气会造成大气污染；特别是在沉积硅薄膜时，Sr^+容易被氢等离子体还原，降低硅薄膜太阳能光伏电池的性能，限制了它在硅薄膜太阳电池中的使用。ZnO透明导电薄膜价格便宜、原材料丰富、具有氧化物透明导电膜的特点和用途，特别是在氢等离子体环境中具有良好的稳定性，是掺氟二氧化锡绒面透明导电玻璃的替本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制备绒面ＺｎＯ透明导电镀膜玻璃的方法，其特征在于该制备方法为：　１）采用压延法生产的绒面玻璃作为基片，清洗玻璃表面；　２）将清净处理过的绒面玻璃基片直接送入溅射镀膜设备中，溅射室的背底真空小于２．５×１０↑［－３］Ｐａ；在玻 璃的绒面上直接用磁控溅射沉积厚度为４００ｎｍ～１０００ｎｍ的ＺｎＯ薄膜；形成和玻璃绒面结构相一致的绒面ＺｎＯ透明导电玻璃。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵青南，董玉红，卢秀强，
申请(专利权)人：江苏秀强玻璃工艺股份有限公司，
类型：发明
国别省市：32[]