一种用于识别薄膜材料的检测装置、系统及方法制造方法及图纸

本申请涉及材料检测技术领域，特别涉及一种用于识别薄膜材料的检测装置、系统及方法。该检测装置包括热释电传感器和光源，其中，热释电传感器包括第一电极层、第二电极层、设于第一电极层和第二电极层之间的热释电材料层，第一电极层或第二电极层的背离热释电材料层的表面用于铺设待测薄膜；光源设于薄膜背离热释电材料层的一侧；薄膜将光源的光能转化为热能，并将热能传递至热释电材料层，以使热释电传感器输出检测数据，从而识别薄膜的材料。本申请中的检测装置结构简单，制作成本较低，适于大范围的推广应用。于大范围的推广应用。于大范围的推广应用。

【技术实现步骤摘要】
一种用于识别薄膜材料的检测装置、系统及方法


[0001]本申请涉及材料检测
，特别涉及一种用于识别薄膜材料的检测装置、系统及方法。

技术介绍

[0002]X射线衍射技术(X
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ray diffraction，XRD)是通过对物质进行X射线衍射，分析其衍射图谱，获得物质的成分以检测物质的材料的方法。应用XRD技术检测物质需要依赖于X射线衍射仪，X射线衍射仪价格较高导致XRD检测物质方法的应用范围受到限制。

技术实现思路

[0003]本申请公开了一种用于识别薄膜材料的检测装置、系统及方法，以解决现有XRD技术检测物质依赖于X射线衍射仪导致应用范围受限的问题。
[0004]为达到上述目的，本申请提供以下技术方案：
[0005]第一方面，用于识别薄膜材料的检测装置，该检测装置包括：
[0006]热释电传感器，热释电传感器包括第一电极层、第二电极层、设于第一电极层和第二电极层之间的热释电材料层，第一电极层或第二电极层的背离热释电材料层的表面用于铺设待测薄膜；
[0007]光源，光源设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于识别薄膜材料的检测装置，其特征在于，包括：热释电传感器，所述热释电传感器包括第一电极层、第二电极层、设于所述第一电极层和所述第二电极层之间的热释电材料层，所述第一电极层或所述第二电极层的背离所述热释电材料层的表面用于铺设待测薄膜；光源，所述光源设于所述薄膜背离所述热释电材料层的一侧；其中，所述薄膜将所述光源的光能转化为热能，并将热能传递至所述热释电材料层，以使所述热释电传感器输出检测数据，从而识别所述薄膜的材料。2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述第一电极层和所述第二电极层中的至少一个为不透明电极层，所述薄膜铺设在所述不透明电极层的表面。3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述光源的光波波长为200nm～800nm。4.根据权利要求1
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3任一项所述的检测装置，其特征在于，所述热释电材料层的厚度为0.2mm～0.8mm。5.根据权利要求1
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4任一项所述的检测装置，其特征在于，所述热释电材料层包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨亚，尹胜杰，
申请(专利权)人：北京纳米能源与系统研究所，
类型：发明
国别省市：