【技术实现步骤摘要】
动作设定装置、动作设定方法及电子器件的制造方法
[0001]本专利技术涉及动作设定装置、动作设定方法及电子器件的制造方法，特别是涉及输送基板的机器人的动作设定技术。
技术介绍
[0002]在利用机器人输送基板的系统中，为了提高输送精度而进行示教作业。示教作业已知有基于作业者的目视确认的方法、使用传感器测量输送误差并对控制进行修正的方法。在专利文献1和专利文献2中公开了使用传感器的方法的例子。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特表2012－523682号公报
[0006]专利文献2：日本特开2007－142269号公报
技术实现思路
[0007]专利技术要解决的课题
[0008]在有机EL显示器等的制造中，使用掩模在基板上对蒸镀物质进行成膜。若相对于成膜室的基板的输送精度低，则会使成品率降低或成为发生错误的原因。例如，一般而言在成膜室内作为成膜的预处理而进行掩模与基板的对准。在对准中，进行基板与掩模的位置偏移的检测和基于检测结果...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种动作设定装置，设定具有支承基板的机械手并向成膜室输送基板的机器人的动作，其特征在于，所述动作设定装置具备：夹具，其代替所述基板支承于所述机械手，搭载有测量部件；控制部件，其对所述机器人进行控制，以使支承有所述夹具的所述机械手移动到相对于所述成膜室的测量位置；以及设定部件，其获取与所述成膜室相关的所述测量部件的测量结果，设定与所述基板输送时的所述机械手的移动相关的所述机器人的动作。2.根据权利要求1所述的动作设定装置，其特征在于，在所述成膜室设置有检测所述基板的位置的检测部件，所述控制部件对所述机器人进行控制，以使所述夹具位于所述检测部件的检测范围，所述设定部件获取与所述夹具相关的所述检测部件的检测结果，基于所述测量结果和所述检测结果来设定与所述机械手的移动相关的所述机器人的动作。3.根据权利要求2所述的动作设定装置，其特征在于，与所述成膜室相关的所述测量部件的测量在大气压下进行，所述检测部件对所述夹具的检测在与成膜时相同的减压下进行。4.根据权利要求1所述的动作设定装置，其特征在于，所述成膜室具备外壁部，所述外壁部具有所述机械手能够进入的开口部，所述控制部件对所述机器人进行控制，以使所述机械手移动到所述测量部件能够测量所述外壁部的位置来作为所述测量位置。5.根据权利要求4所述的动作设定装置，其特征在于，所述控制部件对所述机器人进行控制，以使所述机械手在沿着所述外壁部的位置连续地移动来作为所述测量位置。6...
【专利技术属性】
技术研发人员：川口岳，笹沼裕纪，寺泽大介，太田裕久，山本武，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，
类型：发明
国别省市：
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