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本发明提供提高相对于成膜室的基板的输送精度的动作设定装置、动作设定方法及电子器件的制造方法。动作设定装置设定具有支承基板的机械手并向成膜室输送基板的机器人的动作，其中，具备：夹具，其代替所述基板支承于所述机械手，搭载有测量部件；控制部件，其...
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