一种悬臂件制造技术

本发明专利技术涉及机械技术领域，公开了一种悬臂件，其包括悬臂件本体、硅过渡层、碳化硅缓冲层和类金刚石膜；所述硅过渡层设于所述悬臂件本体和所述碳化硅缓冲层之间，所述碳化硅缓冲层设于所述硅过渡层和所述类金刚石膜之间，这样，类金刚石膜的内应力通过硅过渡层和碳化硅缓冲层得到释放，从而增强了类金刚石膜与悬臂件本体之间的结合力以及各个层之间的结合力，确保了类金刚石膜能够可靠连接在悬臂件上。确保了类金刚石膜能够可靠连接在悬臂件上。确保了类金刚石膜能够可靠连接在悬臂件上。

【技术实现步骤摘要】
一种悬臂件


[0001]本专利技术涉及机械
，特别是涉及一种悬臂件。

技术介绍

[0002]目前，类金刚石膜是一类主要由金刚石结构的sp3杂化碳原子和石墨结构的sp2杂化碳原子相互混杂构成的亚稳态非晶材料。由于具有与金刚石膜相类似的性能类金刚石薄膜具有很多接近金刚石膜的优异性能，如硬度高、摩擦系数低、电阻率高、热导率高以及化学稳定性好、耐高温、耐腐蚀。除此之外，类金刚石膜与金刚石薄膜相比沉积温度低、沉积面积大、膜也光滑平整，在许多领域得到广泛青睐，尤其是机械电子、医学等领域。
[0003]对于悬臂件(磁头等滑块半导体的载体)来说，在悬臂件上镀设类金刚石膜可以起到保护作用，但是，由于类金刚石膜与基底间结合强度低，因此导致类金刚石膜过早失效，这严重地制约了类金刚石膜优越性能的发挥及其应用，从而影响悬臂件的性能。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例的目的是提供一种悬臂件，其能够确保类金刚石膜可靠连接在悬臂件上。
[0005]为了解决上述技术问题，本专利技术实施例提供一种悬臂件，包括悬臂件本体、硅过渡层、碳本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种悬臂件，其特征在于，包括悬臂件本体、硅过渡层、碳化硅缓冲层和类金刚石膜；所述硅过渡层设于所述悬臂件本体和所述碳化硅缓冲层之间，所述碳化硅缓冲层设于所述硅过渡层和所述类金刚石膜之间。2.如权利要求1所述的悬臂件，其特征在于，所述硅过渡层的厚度为80～100nm。3.如权利要求1所述的悬臂件，其特征在于，所述碳化硅缓冲层的厚度为50～60nm。4.如权利要求1所述的悬臂件，其特征在于，所述类金刚石膜的厚度为80～280nm。5.如权利要求1
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4任一项所述的悬臂件，其特征在于，所述类金刚石膜的厚度大于所述硅过渡层的厚度。6.如权利要求1
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4任一项所述的悬臂件，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：李万品，
申请(专利权)人：东莞新科技术研究开发有限公司，
类型：发明
国别省市：