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本发明涉及机械技术领域，公开了一种悬臂件，其包括悬臂件本体、硅过渡层、碳化硅缓冲层和类金刚石膜；所述硅过渡层设于所述悬臂件本体和所述碳化硅缓冲层之间，所述碳化硅缓冲层设于所述硅过渡层和所述类金刚石膜之间，这样，类金刚石膜的内应力通过硅过渡层...
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