硬盘驱动器零件的镀膜方法技术

本发明专利技术涉及信息记录硬盘驱动器技术领域，公开了一种硬盘驱动器零件的镀膜方法，通过在硬盘驱动器零件上形成含有Cr和Ti的金属混合层，再在形成金属混合层的硬盘驱动器零件上形成Ti层，然后在形成Ti层的硬盘驱动器零件上形成含有DLC和Ti的过渡层，最后在形成过渡层的硬盘驱动器零件上形成DLC层，从而能够加强硬度，以防止金属屑的掉落，提高硬盘驱动器零件的荷载性和抗腐蚀性能，从而延长其受用寿命。从而延长其受用寿命。从而延长其受用寿命。

【技术实现步骤摘要】
硬盘驱动器零件的镀膜方法


[0001]本专利技术涉及信息记录硬盘驱动器
，特别是涉及一种硬盘驱动器零件的镀膜方法。

技术介绍

[0002]目前，硬盘驱动器内部主要由磁头、悬臂件和音圈马达来组成，通过音圈马达的旋转来带动悬臂件，从而使磁头进行读写，因而其硬盘内部需要无尘的工作环境。如果有灰尘出现就会使得磁盘划伤，影响使用寿命。通常，会在其各部分零件制造时，硬盘的封装过程中采取措施杜绝灰尘的进入，然而，往往忽视的问题是，在封装好的硬盘工作时，其内部工作零件因磨损产生了金属残渣，特别是悬臂件在旋转时，由于长时间的工作产生磨损，掉落的金属残渣严重影响了硬盘的使用寿命，因此，在实际应用中，对硬盘驱动器零件的荷载性、抗腐蚀性能的要求很高。

技术实现思路

[0003]本专利技术实施例的目的是提供一种硬盘驱动器零件的镀膜方法，其能够提高硬盘驱动器零件的荷载性和抗腐蚀性能。
[0004]为了解决上述技术问题，本专利技术实施例提供一种硬盘驱动器零件的镀膜方法，包括：
[0005]在硬盘驱动器零件上形成含有Cr和Ti的金属混合层本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硬盘驱动器零件的镀膜方法，其特征在于，包括：在硬盘驱动器零件上形成含有Cr和Ti的金属混合层；在形成金属混合层的硬盘驱动器零件上形成Ti层；在形成Ti层的硬盘驱动器零件上形成含有DLC和Ti的过渡层；在形成过渡层的硬盘驱动器零件上形成DLC层。2.如权利要求1所述的硬盘驱动器零件的镀膜方法，其特征在于，在所述在硬盘驱动器零件上形成含有Cr和Ti的金属混合层之前，还包括：对所述硬盘驱动器零件进行超声波清洗；在完成超声波清洗后，用氮气吹干所述硬盘驱动器零件；将所述硬盘驱动器零件安装于真空室内的转架上；在真空环境下，开启位于真空室内的加热器进行加热，以将真空室内和硬盘驱动器零件加热到100～200摄氏度；对所述硬盘驱动器零件进行离子清洗。3.如权利要求2所述的硬盘驱动器零件的镀膜方法，其特征在于，所述对所述硬盘驱动器零件进行离子清洗，具体包括：向真空室中通入高纯氩气，使真空室压力达到并保持在0.05
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0.2Pa；开启离子束电源，其中，施加在离子束上的工作电压为1500
‑
1800V，工作电流为80
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100mA；对所述硬盘驱动器零件施加300～900V脉冲偏压，离子清洗工序的时间为10
‑
15min。4.如权利要求1
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3任一项所述的硬盘驱动器零件的镀膜方法，其特征在于，所述在硬盘驱动器零件上形成含有Cr和Ti的金属混合层，具体包括：保持真空度在0.05
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0.2Pa，以Cr靶和Ti靶为靶材，采用磁控溅射在硬盘驱动器零件上沉积含有Cr和Ti的金属混合层。5.如权利要求4所述的硬盘驱动器零件的镀膜方法，其特征在于，在所述保持真空度在0.05
‑
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【专利技术属性】
技术研发人员：宿志影，
申请(专利权)人：东莞新科技术研究开发有限公司，
类型：发明
国别省市：