本发明专利技术属于切削刀具涂层技术领域,本发明专利技术提供了一种高寿命纳米涂层PCB铣刀及其制备方法。该制备方法包括以下步骤:S1、采用阳极层气体离子源技术对PCB铣刀进行清洗处理;S2、对清洗处理后的PCB铣刀表面进行溅射活化;S3、对溅射活化后的PCB铣刀表面进行金属层沉积;S4、采用高脉冲磁控溅射技术在金属层沉积后的PCB铣刀表面形成硬质涂层;S5、将步骤S3~S4重复0~5次即得高寿命纳米涂层PCB铣刀。本发明专利技术所制备的高寿命纳米涂层PCB铣刀,涂层与PCB铣刀的结合力强,且涂层的韧性好,可以抵抗长期切削过程对PCB铣刀的损伤,保证涂层的完好性,提高了PCB铣刀的切削寿命。PCB铣刀的切削寿命。PCB铣刀的切削寿命。
【技术实现步骤摘要】
一种高寿命纳米涂层PCB铣刀及其制备方法
[0001]本专利技术涉及切削刀具涂层
,尤其涉及一种高寿命纳米涂层PCB铣刀及其制备方法。
技术介绍
[0002]铣刀是用于铣削加工的、具有一个或多个刀齿的旋转刀具。工作时各刀齿依次间歇地切去工件的余量。铣刀主要用于台阶、沟槽、成形表面和切断工件等加工过程。PCB铣刀常用于铣削单面、双面或多层等印刷电路板材质,在高速切削这些基板过程中,对铣刀产生极大的损耗,通过表面镀膜处理,可以提高刀具的使用寿命及铣削精度。
[0003]目前,常见的刀具涂层包括陶瓷涂层和金刚石涂层。陶瓷涂层通常采用物理气相沉积技术在刀具表面制备TiN、TiAlN、CrAlN、TiAlSiN等,但该技术产生的等离子体能量高,还存在少数大颗粒的物质,使得涂层质量差,且易出现伤韧等情况;而磁控溅射技术原子存在着离化率低,涂层结合力差等技术问题。金刚石涂层通常采用化学气相沉积法进行制备,但该方法需要在高温下进行,并且还存在着成本高、成品率低、工艺稳定性差等技术问题。
[0004]因此,如何提供一种韧性好、强度高、结合力高的强化涂层成为了本领域技术人员亟需解决的问题。
技术实现思路
[0005]有鉴于此,本专利技术提供了一种高寿命纳米涂层PCB铣刀及其制备方法。本专利技术通过高脉冲磁过滤沉积技术在PCB铣刀表面制备结合力高且韧性好的耐切削涂层,从而提高PCB铣刀的切削寿命。有效解决了现有技术所制备的刀具涂层质量较差的技术问题。
[0006]为了达到上述目的,本专利技术采用如下技术方案:
[0007]本专利技术提供了一种高寿命纳米涂层PCB铣刀的制备方法,包括以下步骤:
[0008]S1、采用阳极层气体离子源技术对PCB铣刀进行清洗处理;
[0009]S2、对清洗处理后的PCB铣刀表面进行溅射活化;
[0010]S3、对溅射活化后的PCB铣刀表面进行金属层沉积;
[0011]S4、采用高脉冲磁控溅射技术在金属层沉积后的PCB铣刀表面形成硬质涂层;
[0012]S5、将步骤S3~S4重复0~5次即得高寿命纳米涂层PCB铣刀。
[0013]进一步的,所述阳极层气体离子源技术的电压为20~200V,氩气流量为50~120sccm,氢气流量为5~20sccm,功率为1~3kW,时间为5~20min。
[0014]进一步的,所述溅射活化的金属为Ti、Cr或Ni,电压为400~800V,占空比为3~10%,弧流为60~120A,时间为10~60s。
[0015]进一步的,所述金属层沉积的金属为Ti、Cr或Ni,电压为50~200V,占空比为40~60%,弧流为60~120A,沉积厚度为20~100nm。
[0016]进一步的,所述高脉冲磁控溅射技术所用的靶材为TiAl复合靶,其中Ti与Al的原子比为1:1。
[0017]进一步的,所述高脉冲磁控溅射技术的功率为1~15kW,氮气流量为10~80sccm,氩气流量20~120sccm,频率为10~500Hz,脉冲偏压为1~15kV,沉积厚度为0.1~5μm。
[0018]本专利技术还提供了上述制备方法所制备得到的高寿命纳米涂层PCB铣刀。
[0019]经由上述的技术方案可知,与现有技术相比,本专利技术的有益效果如下:
[0020]本专利技术所制备的高寿命纳米涂层PCB铣刀,涂层与PCB铣刀的结合力强,且涂层的韧性好,可以抵抗长期切削过程对PCB铣刀的损伤,保证涂层的完好性,提高了PCB铣刀的切削寿命。
附图说明
[0021]图1为实施例1所制备的高寿命纳米涂层PCB铣刀的涂层截面图;
[0022]图2为实施例1~3所制备的高寿命纳米涂层PCB铣刀和对比例1~2所制备的纳米涂层PCB铣刀的涂层硬度图;
[0023]图3为实施例1~3所制备的高寿命纳米涂层PCB铣刀和对比例1~2所制备的纳米涂层PCB铣刀的涂层结合力图。
具体实施方式
[0024]本专利技术提供了一种高寿命纳米涂层PCB铣刀的制备方法,包括以下步骤:
[0025]S1、采用阳极层气体离子源技术对PCB铣刀进行清洗处理;
[0026]S2、对清洗处理后的PCB铣刀表面进行溅射活化;
[0027]S3、对溅射活化后的PCB铣刀表面进行金属层沉积;
[0028]S4、采用高脉冲磁控溅射技术在金属层沉积后的PCB铣刀表面形成硬质涂层;
[0029]S5、将步骤S3~S4重复0~5次即得高寿命纳米涂层PCB铣刀。
[0030]在本专利技术中,采用阳极层气体离子源技术对PCB铣刀进行清洗处理,可以将铣刀表面的油污杂质清洗干净,并将PCB铣刀的表面氧化层还原。
[0031]在本专利技术中,所述阳极层气体离子源技术的电压为20~200V,优选为40~180V,进一步优选为60~120V;氩气流量为50~120sccm,优选为60~110sccm,进一步优选为80~100sccm;氢气流量为5~20sccm,优选为8~16sccm,进一步优选为10~14sccm;功率为1~3kW,优选为1.2~2.8kW,进一步优选为1.5~2.5kW;时间为5~20min,优选为8~18min,进一步优选为10~15min。
[0032]在本专利技术中,采用磁过滤沉积技术在PCB刀具表面进行溅射活化,可提高涂层与PCB刀具基体的结合力。
[0033]在本专利技术中,所述溅射活化的金属为Ti、Cr或Ni,优选为Ti或Cr,进一步优选为Ti;电压为400~800V,优选为450~700V,进一步优选为500~600V;占空比为3~10%,优选为4~8%,进一步优选为5~6%;弧流为60~120A,优选为80~110A,进一步优选为90~100A;时间为10~60s,优选为20~50s,进一步优选为30~40s。
[0034]在本专利技术中,所述金属层沉积的金属为Ti、Cr或Ni,优选为Ti或Cr,进一步优选为Ti;电压为50~200V,优选为80~160V,进一步优选为100~130V;占空比为40~60%,优选为45~55%,进一步优选为50%;弧流为60~120A,优选为80~110A,进一步优选为90~100A;沉积厚度为20~100nm,优选为40~80nm,进一步优选为50~60nm。
[0035]在本专利技术中,所述高脉冲磁控溅射技术所用的靶材为TiAl复合靶,其中Ti与Al的原子比为1:1。
[0036]在本专利技术中,所述高脉冲磁控溅射技术的功率为1~15kW,优选为3~12kW,进一步优选为5~10kW;氮气流量为10~80sccm,优选为20~60sccm,进一步优选为30~40sccm;氩气流量为20~120sccm,优选为40~100sccm,进一步优选为60~80sccm;频率为10~500Hz,优选为50~400Hz,进一步优选为200~300Hz;脉冲偏压为1~15kV,优选为3~12kV,进一步优选为5~10kV;沉积厚本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高寿命纳米涂层PCB铣刀的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、采用阳极层气体离子源技术对PCB铣刀进行清洗处理;S2、对清洗处理后的PCB铣刀表面进行溅射活化;S3、对溅射活化后的PCB铣刀表面进行金属层沉积;S4、采用高脉冲磁控溅射技术在金属层沉积后的PCB铣刀表面形成硬质涂层;S5、将步骤S3~S4重复0~5次即得高寿命纳米涂层PCB铣刀。2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述阳极层气体离子源技术的电压为20~200V,氩气流量为50~120sccm,氢气流量为5~20sccm,功率为1~3kW,时间为5~20min。3.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,所述溅射活化的金属为Ti、Cr或Ni,电压为400~800V,占空比为3~1...
【专利技术属性】
技术研发人员:罗军,程文雅,陈小曼,
申请(专利权)人:珠海凯赛奥表面技术有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。