一种带法兰的SIC方浆构成的工艺密封系统技术方案

本发明专利技术公开了一种带法兰的SIC方浆构成的工艺密封系统，属于光伏设备制造技术领域，包括加热炉体，所述加热炉体内部设置有工艺管，工艺管内设置有沿工艺管中轴线方向移动的SIC方浆，SIC方浆的一侧设置有晶舟，在晶舟上放置有晶片，所述工艺管的开口处设置有密封炉门，所述密封炉门与工艺管之间设置有密封件，所述SIC方浆与密封炉门之间活络连接，所述SIC方浆上设置有法兰，所述SIC方浆通过法兰连接有压紧法兰和密封法兰，密封法兰与法兰之间设置有O型圈，所述密封炉门与SIC方浆的连接处设置有连接件，连接件与密封法兰之间设置有波纹管。由此，能够实现一次安装和调整即可方便保证密封功能，使用中保证了稳定的密封性。使用中保证了稳定的密封性。使用中保证了稳定的密封性。

【技术实现步骤摘要】
一种带法兰的SIC方浆构成的工艺密封系统


[0001]本专利技术涉及一种工艺密封系统，特别是涉及一种带法兰的SIC方浆构成的工艺密封系统，属于半光伏设备制造


技术介绍

[0002]光伏领域低压、真空卧式设备中，如低压硼扩散设备和LPCVD设备，在工艺中使用SIC方浆形式的悬臂浆(SIC方浆成对使用)，一对方浆上带炉门，方浆与炉门有密封结构，方浆右端用于托举晶舟和晶片进(出)入工艺腔室，用方浆上炉门与工艺室炉门法兰进行对接、压紧、密封，方浆带炉门与工艺室形成密封，工艺室抽真空或充工艺气体形成负压和工艺需求工况，满足晶舟和晶片进行必要的工艺过程条件。
[0003]传统的方浆与炉门的密封形式是在方浆的方形截面外扩，利用方形外扩表面的周边(四边)与对应方形形状的方形密封结构将方形密封圈(需特制方形密封圈，四角带圆弧)压紧在方浆方形外扩表面的周边(四边和圆弧)上，进行密封，密封结构复杂、方浆四边方形外扩表面与密封圈很难同时压紧(四个外扩表面和圆弧，相当于4个缝隙和4圆弧角的同时密封)，使密封度不佳且密封结构复杂、安装过程复杂，大多情况是本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带法兰的SIC方浆构成的工艺密封系统，包括加热炉体(1)，所述加热炉体(1)内部设置有工艺管(2)，工艺管(2)内设置有沿工艺管(2)中轴线方向移动的SIC方浆(4)，SIC方浆(4)的一侧设置有晶舟，在晶舟上放置有晶片，所述工艺管(2)的开口处设置有密封炉门(5)，其特征在于，所述密封炉门(5)与工艺管(2)之间设置有密封件，所述SIC方浆(4)与密封炉门(5)之间活络连接，所述SIC方浆(4)上设置有法兰(6)，所述SIC方浆(4)通过法兰(6)连接有压紧法兰(7)和密封法兰(8)，密封法兰(8)与法兰(6)之间设置有O型圈(9)，所述密封炉门(5)与SIC方浆(4)的连接处设置有连接件，连接件与密封法兰(8)之间设置有波纹管(3)。2.根据权利要求1所述的一种带法兰的SIC方浆构成的工艺密封系统，其特征在于，所述法兰(6)和压紧法兰(7)的相抵侧设置有保护垫，保护垫用于避免法兰(6)和压紧法兰(7)直接接触在挤压的过程中出现损伤。3.根据权利要求1所述的一种带法兰的SIC方浆构成的工艺密封系统，其特征在于，所述加热炉体(1)的一侧设置有机架(10)，所述机架(10)上沿工艺管(2)中轴线方向设置由导轨(11)，所述机架(10)通过导轨(11)滑动连接有支撑弯板(12)，支撑弯板(12)的底部设置有夹持件(13)，夹持件(13)用于对SIC方浆(4)、进行夹紧固定，所述支撑弯板(12)的顶部设置有挑杆滑动座(14)，挑杆滑动座(14)滑动连接有挑杆(15)，且挑杆(15)的端部与密封炉门(5)相活动连接，所述挑杆(15)上安装有调节螺母(16)，调节螺母(16)与挑杆滑动座(14)之间设置有挑杆弹簧(17)。4.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张海林，刘国霞，
申请(专利权)人：赛瑞达智能电子装备无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：