本发明专利技术公开了一种带法兰的SIC方浆构成的工艺密封系统，属于光伏设备制造技术领域，包括加热炉体，所述加热炉体内部设置有工艺管，工艺管内设置有沿工艺管中轴线方向移动的SIC方浆，SIC方浆的一侧设置有晶舟，在晶舟上放置有晶片，所述工艺管的开口处设置有密封炉门，所述密封炉门与工艺管之间设置有密封件，所述SIC方浆与密封炉门之间活络连接，所述SIC方浆上设置有法兰，所述SIC方浆通过法兰连接有压紧法兰和密封法兰，密封法兰与法兰之间设置有O型圈，所述密封炉门与SIC方浆的连接处设置有连接件，连接件与密封法兰之间设置有波纹管。由此，能够实现一次安装和调整即可方便保证密封功能，使用中保证了稳定的密封性。使用中保证了稳定的密封性。使用中保证了稳定的密封性。
【技术实现步骤摘要】
一种带法兰的SIC方浆构成的工艺密封系统
[0001]本专利技术涉及一种工艺密封系统，特别是涉及一种带法兰的SIC方浆构成的工艺密封系统，属于半光伏设备制造
技术介绍
[0002]光伏领域低压、真空卧式设备中，如低压硼扩散设备和LPCVD设备，在工艺中使用SIC方浆形式的悬臂浆(SIC方浆成对使用)，一对方浆上带炉门，方浆与炉门有密封结构，方浆右端用于托举晶舟和晶片进(出)入工艺腔室，用方浆上炉门与工艺室炉门法兰进行对接、压紧、密封，方浆带炉门与工艺室形成密封，工艺室抽真空或充工艺气体形成负压和工艺需求工况，满足晶舟和晶片进行必要的工艺过程条件。
[0003]传统的方浆与炉门的密封形式是在方浆的方形截面外扩，利用方形外扩表面的周边(四边)与对应方形形状的方形密封结构将方形密封圈(需特制方形密封圈，四角带圆弧)压紧在方浆方形外扩表面的周边(四边和圆弧)上，进行密封，密封结构复杂、方浆四边方形外扩表面与密封圈很难同时压紧(四个外扩表面和圆弧，相当于4个缝隙和4圆弧角的同时密封)，使密封度不佳且密封结构复杂、安装过程复杂，大多情况是不能一次安装成功，需要多次调整方形密封结构的压紧，才可以实现密封效果，还很容易在真空工艺过程中，密封性能有变化、不稳定，真空度变差，需要经常调整方形密封圈和方形密封结构的多边压紧，来保证密封满足工艺要求。
技术实现思路
[0004]本专利技术要解决的技术问题是提供一种带法兰的SIC方浆构成的工艺密封系统，该工艺密封系统能够实现一次安装和调整即可方便保证密封功能，使用中保证了稳定的密封性，改变了传统SIC方浆密封度不稳定和密封结构安装不方便的状况，极大的提高了真空工艺中的工作稳定性和安装简单、可靠的特点，极大的提高了真空密封安装工作效率，彻底解决了SIC方浆通过圆法兰密封面通过波纹管组件与炉门间构成的密封难题。
[0005]为解决上述问题，提供以下技术方案：
[0006]设计一种带法兰的SIC方浆构成的工艺密封系统，包括加热炉体，所述加热炉体内部设置有工艺管，工艺管内设置有沿工艺管中轴线方向移动的SIC方浆，SIC方浆的一侧设置有晶舟，在晶舟上放置有晶片，所述工艺管的开口处设置有密封炉门，所述密封炉门与工艺管之间设置有密封件，所述SIC方浆与密封炉门之间活络连接，所述SIC方浆上设置有法兰，所述SIC方浆通过法兰连接有压紧法兰和密封法兰，密封法兰与法兰之间设置有O型圈，所述密封炉门与SIC方浆的连接处设置有连接件，连接件与密封法兰之间设置有波纹管。
[0007]上述技术方案通过在SIC方浆上设置法兰，密封结构和密封方式做了创造性的优化设计，使用法兰一侧平面进行密封，将传统方浆的方形截面外表面的周边(四边)进行密封的结构，改变成利用法兰一个侧面进行单平面密封，将复杂的SIC方浆方形截面的四周表面的缝隙和圆弧角同时密封转变为一个法兰的单侧面的简单平面密封，再与普通的O型圈
相配合即可完成密封工作，极大的提高了真空工艺中的工作稳定性和安装简单、可靠的特点，在密封件的作用下，实现了密封炉门与工艺管之间的密封。
[0008]进一步的，所述法兰和压紧法兰的相抵侧设置有保护垫，保护垫用于避免法兰和压紧法兰直接接触在挤压的过程中出现损伤。
[0009]上述技术方案通过将保护垫设置在压紧法兰上，当压紧法兰与密封法兰通过螺栓进行连接时，避免法兰和压紧法兰直接接触，以及在紧固的过程中可以有效的避免法兰和压紧法兰之间出现损伤的现象。
[0010]进一步的，所述加热炉体的一侧设置有机架，所述机架上沿工艺管中轴线方向设置由导轨，所述机架通过导轨滑动连接有支撑弯板，支撑弯板的底部设置有夹持件，夹持件用于对SIC方浆、进行夹紧固定，所述支撑弯板的顶部设置有挑杆滑动座，挑杆滑动座滑动连接有挑杆，且挑杆的端部与密封炉门相活动连接，所述挑杆上安装有调节螺母，调节螺母与挑杆滑动座之间设置有挑杆弹簧。
[0011]上述技术方案通过推动支撑弯板在夹持件的带动下使SIC方浆带动密封炉门和晶舟开始移动，工作人员对晶舟上的晶圆进行取放，在挑杆弹簧的配合下的弹性作用能够完成密封炉门与工艺管密封工序的同时也能够降低在密封的过程中密封炉门与工艺管因碰撞出现损伤的现象。
[0012]进一步的，所述密封件包括设置于密封炉门靠近工艺管一侧的水冷炉门法兰，水冷炉门法兰与密封炉门的相抵侧设置有炉门密封圈，所述工艺管的端口处设置有端口法兰，端口法兰与水冷炉门法兰之间设置有端口法兰密封圈，所述工艺管的外周面设置有端口后水冷法兰，端口后水冷法兰与水冷炉门法兰之间通过螺栓相连接。
[0013]上述技术方案通过采用水冷炉门法兰和端口后水冷法兰能够在晶圆加热工序过程中保持对密封炉门和工艺管之间的连接处进行降温冷却，便于工序的正常进行，通过设置端口法兰密封圈和炉门密封圈能够有效的保证密封效果。
[0014]进一步的，所述连接件包括连接环，所述密封炉门与SIC方浆的连接处呈筒状结构，所述连接环设置于筒状结构的端口处，筒状结构的外周面设置有密封压紧螺母，连接环和密封压紧螺母之间设置有密封圈和密封压环，通过转动密封压紧螺母使密封压环对密封圈进行挤压完成密封炉门与SIC方浆的连接处呈筒状结构的端口处与连接环之间的密封。
[0015]上述技术方案通过连接环和密封压紧螺母，便于工作人员对波纹管进行安装，在密封圈和密封压环的配合下能够有效的提升波纹管与密封炉门连接处的密封效果。
[0016]进一步的，所述密封压紧螺母与密封法兰之间设置有弹性件。
[0017]上述技术方案通过设置弹性件，能够对密封炉门底部进行挤压，从而能够保证密封炉门对工艺管施加力的均匀性，保证密封效果。
[0018]进一步的，所述SIC方浆上安装有多层隔热屏。
[0019]上述技术方案通过设置有多层隔热屏能够用于阻挡工艺管工作区的热量不直接辐射到密封炉门上，有利于密封炉门的低温度和保护炉门密封圈的作用，形成了一套完整的简单、实用、有效的工艺密封系统。
[0020]进一步的，所述工艺管远离其开口的端部设置有抽真空管，工艺管的底部设置有进气管，抽真空管和进气管的端部均延伸出加热炉体并设置有阀门。
[0021]上述技术方案通过设置抽真空管、进气管以及阀门，便于工作人员根据需要改变
工艺管内部的环境，提升对晶圆加工工艺的效果。
[0022]与现有技术相比，本专利技术的有益效果在于：
[0023]通过在SIC方浆上设置法兰，密封结构和密封方式做了创造性的优化设计，使用法兰一侧平面进行密封，将传统方浆的方形截面外表面的周边(四边)进行密封的结构，改变成利用法兰一个侧面进行单平面密封，将复杂的SIC方浆方形截面的四周表面的缝隙和圆弧角同时密封转变为一个法兰的单侧面的简单平面密封，再与普通的O型圈相配合即可完成密封工作，极大的提高了真空工艺中的工作稳定性和安装简单、可靠的特点，在密封件的作用下，实现了密封炉门与工艺管之间的密封。
附图说明
[0024]附图用来提供对本本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种带法兰的SIC方浆构成的工艺密封系统，包括加热炉体(1)，所述加热炉体(1)内部设置有工艺管(2)，工艺管(2)内设置有沿工艺管(2)中轴线方向移动的SIC方浆(4)，SIC方浆(4)的一侧设置有晶舟，在晶舟上放置有晶片，所述工艺管(2)的开口处设置有密封炉门(5)，其特征在于，所述密封炉门(5)与工艺管(2)之间设置有密封件，所述SIC方浆(4)与密封炉门(5)之间活络连接，所述SIC方浆(4)上设置有法兰(6)，所述SIC方浆(4)通过法兰(6)连接有压紧法兰(7)和密封法兰(8)，密封法兰(8)与法兰(6)之间设置有O型圈(9)，所述密封炉门(5)与SIC方浆(4)的连接处设置有连接件，连接件与密封法兰(8)之间设置有波纹管(3)。2.根据权利要求1所述的一种带法兰的SIC方浆构成的工艺密封系统，其特征在于，所述法兰(6)和压紧法兰(7)的相抵侧设置有保护垫，保护垫用于避免法兰(6)和压紧法兰(7)直接接触在挤压的过程中出现损伤。3.根据权利要求1所述的一种带法兰的SIC方浆构成的工艺密封系统，其特征在于，所述加热炉体(1)的一侧设置有机架(10)，所述机架(10)上沿工艺管(2)中轴线方向设置由导轨(11)，所述机架(10)通过导轨(11)滑动连接有支撑弯板(12)，支撑弯板(12)的底部设置有夹持件(13)，夹持件(13)用于对SIC方浆(4)、进行夹紧固定，所述支撑弯板(12)的顶部设置有挑杆滑动座(14)，挑杆滑动座(14)滑动连接有挑杆(15)，且挑杆(15)的端部与密封炉门(5)相活动连接，所述挑杆(15)上安装有调节螺母(16)，调节螺母(16)与挑杆滑动座(14)之间设置有挑杆弹簧(17)。4.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：张海林，刘国霞，
申请(专利权)人：赛瑞达智能电子装备无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：
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