下载一种带法兰的SIC方浆构成的工艺密封系统的技术资料

文档序号:37976083

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本发明公开了一种带法兰的SIC方浆构成的工艺密封系统,属于光伏设备制造技术领域,包括加热炉体,所述加热炉体内部设置有工艺管,工艺管内设置有沿工艺管中轴线方向移动的SIC方浆,SIC方浆的一侧设置有晶舟,在晶舟上放置有晶片,所述工艺管的开口处...
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