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本发明公开了一种带法兰的SIC方浆构成的工艺密封系统,属于光伏设备制造技术领域,包括加热炉体,所述加热炉体内部设置有工艺管,工艺管内设置有沿工艺管中轴线方向移动的SIC方浆,SIC方浆的一侧设置有晶舟,在晶舟上放置有晶片,所述工艺管的开口处...该专利属于赛瑞达智能电子装备(无锡)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过赛瑞达智能电子装备(无锡)有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种带法兰的SIC方浆构成的工艺密封系统,属于光伏设备制造技术领域,包括加热炉体,所述加热炉体内部设置有工艺管,工艺管内设置有沿工艺管中轴线方向移动的SIC方浆,SIC方浆的一侧设置有晶舟,在晶舟上放置有晶片,所述工艺管的开口处...