一种硅光子光谱检测芯片及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种硅光子光谱检测芯片及其制备方法，采用可调的硅光滤波器作为光谱芯片的滤波单元，利用硅光滤波器的响应可调特点，通过外部的控制信号，基于单个滤波器，可对待测光进行多次调制，因此能够获得一组调制后的光响应，待测光谱信息编码到芯片上集成的光电探测器的输出中，结合算法完成对待测光谱的重构。重构。重构。

【技术实现步骤摘要】
一种硅光子光谱检测芯片及其制备方法


[0001]本专利技术涉及光谱检测
，尤其涉及一种硅光子光谱检测芯片及其制备方法。

技术介绍

[0002]光谱仪能够直接反映物质的光谱信息，得到目标的存在状况与物质成分，是材料表征、物质分析等领域最重要的测试仪器之一，广泛应用于生命健康、食品安全、环境检测、农业生产、以及化工过程监控等各个领域，随着5G技术的广泛应用，物联网技术对各类信息的感知、检测提出了更高的要求，具体到光谱分析应用，物联网时代需要更加紧凑的、低成本、低功耗的光谱检测设备。
[0003]现有的光谱检测设备有以下问题：1)需要精密移动的分光部件，导致光谱检测设备造价昂贵，对测试环境要求高；2)高精度的光学元件维护成本高昂；3)收其分光原理影响，高精度的光谱检测设备往往体积庞大，不具有便携性。
[0004]光谱检测芯片主要是在芯片上制作大量光响应不同的滤波单元，待测光经过这些滤波单元阵列，得到一组不同的输出光响应，再经过光电探测器转换为电信号，结合算法进行光谱重构，这种方案需要在芯片上制作大量的、具有不同光响应的滤波单元，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅光子光谱检测芯片，包括：SOI衬底，光学输入接口，滤波器以及光电探测器，其特征在于：待测光通过所述光学输入接口耦合进入芯片，传输至所述滤波器，所述滤波器在外部信号控制下，对待测光经行若干次不同的调制，并通过所述光电探测器转换为电信号输出；基于若干次调制后输出的电信号，结合算法处理完成重构后能够得到原始光谱信息。2.根据权利要求1所述的一种硅光子光谱检测芯片，其特征在于：所述硅光滤波器为波导型响应可调硅光滤波器，由马赫曾德干涉仪、微环谐振腔、热光调节电极组成。3.根据权利要求2所述的一种硅光子光谱检测芯片，其特征在于：两个微环谐振器相互耦合，并分别与马赫曾德干涉仪的一干涉臂相耦合，外部控制信号通过热光调节电...

【专利技术属性】
技术研发人员：张赞，
申请(专利权)人：苏州微光电子融合技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：