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本发明公开了一种硅光子光谱检测芯片及其制备方法，采用可调的硅光滤波器作为光谱芯片的滤波单元，利用硅光滤波器的响应可调特点，通过外部的控制信号，基于单个滤波器，可对待测光进行多次调制，因此能够获得一组调制后的光响应，待测光谱信息编码到芯片上集...
该专利属于苏州微光电子融合技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州微光电子融合技术研究院有限公司授权不得商用。

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