【技术实现步骤摘要】
高光谱成像装置及法布里
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珀罗谐振腔、控制方法
[0001]本专利技术属于电路设计
，尤其涉及一种高光谱成像装置及法布里
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珀罗谐振腔、控制方法。
技术介绍
[0002]在成像光谱仪中，分光元件主要是对光谱波段进行分割，在不同的探测器上分割后的光谱波段就能够分别成像。棱镜和光栅等色散元件是传统成像光谱仪的分光元件，然而这种成像光谱仪不仅结构复杂，而且体积、重量也很大。随着探测器扫描性能发展到焦平面阵列扫描，高光谱成像已成为如今的主流成像系统，这就要求有更高的光谱分辨率，所以必须选择新的分光元件。
[0003]为了满足更高光谱分辨率要求，可调谐滤光片应运而生。随着F
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P(法布里
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珀罗)可调谐滤波器的设计制备技术的迅速发展，其在红外光谱仪及红外超光谱成像探测方面的应用得到了越来越多的重视。目前F
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P可调谐滤波器正是一种电光可调谐滤波器的典型应用技术手段，用来解决更高的光谱分辨率技术问题。
[0004]现有的F
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种法布里
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珀罗谐振腔，包括相对设置的衬底和基片、设于所述衬底和/或基片上的压电陶瓷、与所述压电陶瓷连接的电压驱动电路、以及与所述电压驱动电路连接的控制模块；其特征在于，所述谐振腔还包括：待测电容和电容检测模块；所述待测电容的电极设于所述衬底和/或基片上，待测电容的数量与压电陶瓷的数量相同且一一对应；所述电容检测模块包括激励信号产生模块、信号接收模块以及傅里叶变换模块；所述激励信号产生模块的输入端与所述控制模块连接，所述激励信号产生模块的输出端与所述待测电容的第一电极连接；所述信号接收模块的输入端与所述待测电容的第二电极连接，所述信号接收模块的输出端通过所述傅里叶变换模块与所述控制模块连接；所述激励信号产生模块，用于产生激励信号；所述信号接收模块，用于对接收到的信号进行处理；所述傅里叶变换模块，用于将所述信号接收模块处理后的信号转换成频域信号；所述控制模块，用于根据所述频域信号计算待测电容的容值，根据所述容值计算衬底与基片之间的间隙，根据所述间隙控制电压驱动电路输出的驱动电压，实现间隙误差的补偿。2.根据权利要求1所述的法布里
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珀罗谐振腔，其特征在于：所述激励信号产生模块包括依次连接的DDS控制单元、第一D/A转换单元以及阻抗匹配单元；所述DDS控制单元，用于在所述控制模块的控制下产生正弦信号的相位表；所述第一D/A转换单元，用于根据所述相位表生成正弦信号；所述阻抗匹配单元，用于对所述正弦信号进行阻抗匹配，并将阻抗匹配后的正弦信号输入给所述待测电容；所述信号接收模块包括依次连接的跨导放大单元、滤波单元以及第一A/D转换单元。3.根据权利要求2所述的法布里
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珀罗谐振腔，其特征在于：所述跨导放大单元以型号为OPA2810的双通道电压反馈型运算放大器为核心。4.根据权利要求1所述的法布里
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