靶材的回收再利用方法技术

本发明专利技术属于资源回收利用技术领域，具体公开了靶材的回收再利用方法。包括：对溅射后的靶材进行蚀刻曲线分析；根据蚀刻曲线，确定靶材的待回收区域；根据成品靶材的尺寸需求，线切割靶材的待回收区域，得到靶材块；将靶材块的溅射沟道加工平整，得到成品靶材。溅射后的靶材可直接加工成能再次利用的成品靶材，降低了靶材的生产制造成本。了靶材的生产制造成本。了靶材的生产制造成本。

【技术实现步骤摘要】
靶材的回收再利用方法


[0001]本专利技术属于资源回收利用
，具体涉及靶材的回收再利用方法。

技术介绍

[0002]靶坯和具有一定强度的背板结合制成靶材组件。背板可以为溅射靶材提供支撑作用，并具有传导的功效。通常将靶坯和背板进行焊接成型。
[0003]靶材在溅射使用后，靶材的表面受溅射机台磁场的影响，会在靶材的表面形成溅射沟道。由于磁场分布的特性，溅射沟道呈现环形的波浪起伏形状，当溅射沟道的最大深度超过限定值后，再继续使用则会击穿靶材，因此此时需停止该靶材的使用。目前，靶材的利用率较低，一般在30~50%，使用过后的溅射靶材中仍有较大部分材料未得到有效利用。
[0004]申请号为CN202210914816.X的专利文献公布了一种溅射靶材组件的回收再利用方法，采用物理分离法分离溅射靶材组件，得到背板和溅射靶材；再将溅射靶材进行碱液浸洗、酸液浸洗、水洗、干燥、熔炼、静置以及浇铸成形后得到金属铸锭。该回收方法工艺流程长，物料和能源耗费较大。
[0005]申请号为CN201811022654.9的专利文献公开了一种溅射本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材的回收再利用方法，其特征在于，包括：对溅射后的靶材进行蚀刻曲线分析；根据蚀刻曲线，确定靶材的待回收区域；根据成品靶材的尺寸需求，线切割靶材的待回收区域，得到靶材块；将靶材块的溅射沟道加工平整，得到成品靶材。2.如权利要求1所述的靶材的回收再利用方法，其特征在于，对溅射后的靶材进行切割，去除背板边缘无靶坯焊接的部分，显露焊接界线。3.如权利要求1所述的靶材的回收再利用方法，其特征在于，所述线切割的方式为中走丝线切割。4.如权利要求1
...

【专利技术属性】
技术研发人员：苏紫珊，蔡新志，童培云，朱刘，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：发明
国别省市：