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本发明属于资源回收利用技术领域，具体公开了靶材的回收再利用方法。包括：对溅射后的靶材进行蚀刻曲线分析；根据蚀刻曲线，确定靶材的待回收区域；根据成品靶材的尺寸需求，线切割靶材的待回收区域，得到靶材块；将靶材块的溅射沟道加工平整，得到成品靶材。...
该专利属于先导薄膜材料（广东）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料（广东）有限公司授权不得商用。

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