一种窄过渡带高反短波通滤光镜片制造技术

本实用新型专利技术提供了一种窄过渡带高反短波通滤光镜片。本实用新型专利技术的窄过渡带高反短波通滤光镜片包括基底和依次层叠设置在基底上的多层二氧化钛膜层，在相邻的两层二氧化钛膜层之间层叠设置有二氧化硅膜层，二氧化钛膜层的层数设置为16

【技术实现步骤摘要】
一种窄过渡带高反短波通滤光镜片


[0001]本技术涉及光学薄膜设计
，尤其是涉及一种窄过渡带高反短波通滤光镜片。

技术介绍

[0002]根据工作波段的不同，通常将反射长波区、透射短波区的滤光镜片称为短波通滤光镜片。目前，国内市场常见的短波通滤光片中心波长范围为450
‑
850nm，可选择波段范围一般为300
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1200nm；国外市场常见的短波通滤光片中心波长范围为450
‑
1000nm，可选择波段范围可达330
‑
2000nm。由于镀膜工艺复杂和需求差异的限制，市场上的短波通滤光片普遍存在过渡带较宽(20
‑
40nm)的问题，往往不能满足实际生产的需求。
[0003]过渡带的宽度直接关系到镜片分光能力的强弱，过渡带越窄，分光效率越高，越能更好地实现相近波长光的分束。因此，降低短波通滤光片的过渡带宽度是目前短波通滤光片的难点之一。目前，在窄过渡带短波通滤光镜片的设计中，多数采用两种及以上膜料，且大部分至少为五十层膜层的设计。然而，镀膜材料种类越多、膜层越厚，镀膜所用的时间越长，所消耗的经济成本越高，价格越昂贵。因此，研制窄过渡带的短波通滤光镜片十分必要。
[0004]鉴于此，特提出本技术。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种窄过渡带高反短波通滤光镜片，使用最少的膜层数以及吸收与应力较小的膜料匹配的膜结构，实现了长波高反、短波高透的高效分光功能
[0006]本技术提供一种窄过渡带高反短波通滤光镜片，包括基底和依次层叠设置在基底上的多层二氧化钛膜层，在相邻的两层二氧化钛膜层之间层叠设置有二氧化硅膜层，二氧化钛膜层的层数设置为16
‑
18层。
[0007]进一步地，基底为石英基底，石英基底的厚度为8
‑
12mm。
[0008]进一步地，二氧化钛膜层的光学厚度为0.4
‑
2.7nm。
[0009]进一步地，二氧化硅膜层的光学厚度为0.6
‑
1.4nm。
[0010]进一步地，该窄过渡带高反短波通滤光镜片的厚度为2650
‑
2750nm。
[0011]进一步地，该窄过渡带高反短波通滤光镜片的过渡带宽度≤10nm。
[0012]进一步地，该窄过渡带高反短波通滤光镜片在575nm以下波段的透射率为80％以上。
[0013]进一步地，该窄过渡带高反短波通滤光镜片在585
‑
700nm波段的反射率为95％以上。
[0014]进一步地，二氧化钛膜层的层数设置为17层，各层二氧化钛膜层的光学厚度依次为：1.2
‑
1.3nm，2.6
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2.7nm，1.1
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1.2nm，0.4
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0.5nm，1.2
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1.3nm，1.2
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1.3nm，1.1
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1.2nm，1.0
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1.1nm，0.4
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0.5nm，0.9
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1.0nm，1.1
‑
1.2nm，1.1
‑
1.2nm，1.1
‑
1.2nm，1.0
‑
1.1nm，0.4
‑
0.5nm，1.0
‑
1.1nm和1.2
‑
1.3nm。
[0015]进一步地，二氧化硅膜层的层数设置为16层，各层二氧化硅膜层的光学厚度依次为：1.1
‑
1.2nm，1.1
‑
1.2nm，0.6
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0.7nm，0.9
‑
1.0nm，1.2
‑
1.3nm，1.2
‑
1.3nm，1.2
‑
1.3nm，0.8
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0.9nm，0.6
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0.7nm，1.1
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1.2nm，1.2
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1.3nm，1.3
‑
1.4nm，1.2
‑
1.3nm，0.6
‑
0.7nm，0.8
‑
0.9nm和1.2
‑
1.3nm。
[0016]本技术针对现有短波通滤光镜片存在的过渡带较宽等问题，提出一种窄过渡带高反短波通滤光镜片，通过使用最少的膜层数以及吸收与应力较小的膜料匹配的膜结构，实现相近波长光的高效分离，减少了杂散光的干扰；此外，通过进行滤光镜片窄过渡带膜系设计、优化，既能减少镀膜材料的浪费，又能提升镜片的稳定性，延长了镜片的使用寿命，实现了长波高反、短波高透的高效分光功能。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为一实施方式的窄过渡带高反短波通滤光镜片的结构示意图；
[0019]图2为一实施方式的窄过渡带高反短波通滤光镜片的设计光谱曲线图。
[0020]附图标记说明：
[0021]1：基底；2：二氧化钛膜层；3：二氧化硅膜层。
具体实施方式
[0022]应该指出，以下详细说明都是例示性的，旨在对本申请提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属
的普通技术人员通常理解的相同含义。
[0023]需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
[0024]下面将结合实施例对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]实施例1
[0026]本实施例的窄过渡带高反短波通滤光镜片的指标要求如下：滤光镜片在575nm以下(通带)波段透射，透射率80％以上；在585
‑
700nm(截止带)波段反射，反射率95％以上；过渡带为10nm；光源呈45
°
斜入射。运用膜系设计软件TFCalc进行膜系设计，确定基质和镀膜材料，根据上述指标要求设置目标值，反复优化膜层膜厚，实现窄过渡带的长波反射、短波透本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种窄过渡带高反短波通滤光镜片，其特征在于，包括基底和依次层叠设置在基底上的多层二氧化钛膜层，在相邻的两层二氧化钛膜层之间层叠设置有二氧化硅膜层，二氧化钛膜层的层数设置为16
‑
18层。2.根据权利要求1所述的窄过渡带高反短波通滤光镜片，其特征在于，基底为石英基底，石英基底的厚度为8
‑
12mm。3.根据权利要求1所述的窄过渡带高反短波通滤光镜片，其特征在于，二氧化钛膜层的光学厚度为0.4
‑
2.7nm。4.根据权利要求1所述的窄过渡带高反短波通滤光镜片，其特征在于，二氧化硅膜层的光学厚度为0.6
‑
1.4nm。5.根据权利要求1所述的窄过渡带高反短波通滤光镜片，其特征在于，该窄过渡带高反短波通滤光镜片的厚度为2650
‑
2750nm。6.根据权利要求1所述的窄过渡带高反短波通滤光镜片，其特征在于，该窄过渡带高反短波通滤光镜片的过渡带宽度≤10nm。7.根据权利要求1所述的窄过渡带高反短波通滤光镜片，其特征在于，该窄过渡带高反短波通滤光镜片在575nm以下波段的透射率为80％以上。8.根据权利要求1所述的窄过渡带高反短波通滤光镜片，其特征在于，该窄过渡带高反短波通滤光镜片在585
‑
700nm波段的反射率为95％以上。9.根据权利要求1所述的窄过渡带高反短波通滤光镜片，其特征在于，二氧化钛膜层的层数设置为17层，各层二氧化钛膜层的光学厚度依次为：1.2
‑
1.3nm，2.6
‑
2.7nm，1.1
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1.2nm，0.4
‑
0.5nm，1.2

【专利技术属性】
技术研发人员：马鸿飞，马利，李丽，范连斌，吴新健，许晓凯，孙丙哲，杨强，
申请(专利权)人：中核四零四有限公司，
类型：新型
国别省市：