一种低角度效应荧光带通滤光片组合结构制造技术

本实用新型专利技术公开一种低角度效应荧光带通滤光片组合结构，其包括一激发滤光片与一发射滤光片，激发滤光片与发射滤光片的结构均包括：设置于最底层的玻璃基底、复数层高折射率镀膜层与复数层低折射率镀膜层，其中，每一层高折射率镀膜层与每一层低折射率镀膜层按照交替堆叠的方式依次设置于玻璃基底上，且任一低折射率镀膜层不贴敷于玻璃基底；其中，通过对激发滤光片中的复数层高折射率镀膜层与复数层低折射率镀膜层的薄膜物理厚度和发射滤光片中的复数层高折射率镀膜层与复数层低折射率镀膜层的薄膜物理厚度的设置，可以降低滤光片光谱对角度的敏感性，能够更好地应用于低角度效应荧光染料检测。角度效应荧光染料检测。角度效应荧光染料检测。

【技术实现步骤摘要】
一种低角度效应荧光带通滤光片组合结构


[0001]本技术涉及滤光片结构设计的
，具体而言，涉及一种低角度效应荧光带通滤光片组合结构。

技术介绍

[0002]荧光检测用的滤光片主要包括激发滤光片和发射滤光片，通常是带宽不等的各种窄带/带通滤光片。传统滤光片的设计通常采用F
‑
P法布里
‑
珀罗结构，通过两种不同折射率材料按照一定规律交替蒸镀到玻璃表面，从而获得所需的滤光片光谱曲线。在设计滤光片的时候需要充分考虑激发光和发射光之间的串扰问题，以免影响检测结果的准确性。
[0003]然而现有的滤光片在实际光路中，由于入射光往往不是平行光，而是具有一定角度变化范围的入射光锥，滤光片在非正入射(即入射光线与入射平面法线之间的夹角不为零度)时具有“蓝移”的角度效应，因此需要设计一种荧光带通滤光片组合结构，以充分考虑上述因素，在膜系结构上做出相应调整，从而尽可能地降低角度效应对滤光片光谱性能的影响。

技术实现思路

[0004]为了解决上述问题，本技术提供一种低角度效应荧光带通滤光片组合结构，通过不同的激发滤光片膜系结构和发射滤光片膜系结构的设置，使其能够在较宽的入射角度变化范围(0
‑
14
°
)实现滤光片中心波长偏移量小于0.7％，从而降低滤光片光谱对角度的敏感性，符合光路需求，能够更好地应用于低角度效应荧光染料检测。
[0005]为达到上述目的，本技术提供了一种低角度效应荧光带通滤光片组合结构，其包括一激发滤光片与一发射滤光片，所述激发滤光片与所述发射滤光片的结构均包括：
[0006]一玻璃基底，设置于最底层；以及
[0007]复数层高折射率镀膜层与复数层低折射率镀膜层，其中，每一层高折射率镀膜层与每一层低折射率镀膜层按照交替堆叠的方式依次设置于所述玻璃基底上，且任一低折射率镀膜层不贴敷于所述玻璃基底；
[0008]其中，所述激发滤光片中的复数层高折射率镀膜层与复数层低折射率镀膜层的薄膜物理厚度按照从所述玻璃基底到最外层依次为：H、L、2H、L、H、1.1140L、H、L、6H、L、H、1.0185L、H、L、6H、L、H、1.1126L、H、L、H、L、2H、L、H、L、H、1.0578L、H、L、6H、L、H、1.0622L、H、L、H、L、2H、L、H、L、H、1.1247L、H、L、6H、L、H、0.9834L、H、L、H、L、2H、L、H、L、H、1.2124L、H、L、6H、L、H、0.9082L、H、L、6H、L、H、1.2711L、H、L、2H、L、1.1645H与1.3433L；其中，H为第一单位高折射率镀膜层厚度，具体为53.39nm，L为第一单位低折射率镀膜层厚度，具体为79.46nm，H与L前面的数字分别为第一单位高折射率镀膜层厚度与第一单位低折射率镀膜层厚度的倍数；
[0009]其中，所述发射滤光片中的复数层高折射率镀膜层与复数层低折射率镀膜层的薄膜物理厚度按照从所述玻璃基底到最外层依次为：T、S、2T、S、T、0.9043S、T、S、2T、S、T、0.8516S、T、S、6T、S、T、0.9045S、T、S、6T、S、T、1.0812S、T、S、T、S、2T、S、T、S、T、1.0094S、T、S、
8T、S、T、1.0704S、T、S、T、S、2T、S、T、S、T、1.0457S、T、S、8T、S、T、1.0176S、T、S、T、S、2T、S、T、S、T、1.0551S、T、S、8T、S、T、0.9313S、T、S、6T、S、T、0.9135S、T、S、4T、S、T、0.7471S、T、S、2T、S、0.7151T、0.6623S；其中，T为第二单位高折射率镀膜层厚度，具体为59.7nm，S为第二单位低折射率镀膜层厚度，具体为88.14nm，T与S前面的数字分别为第二单位高折射率镀膜层厚度与第二单位低折射率镀膜层厚度的倍数。
[0010]在本技术一实施例中，其中，每一层高折射率镀膜层与每一层低折射率镀膜层的设置是通过真空蒸发高折射率材料与低折射率材料实现的。
[0011]在本技术一实施例中，其中，所述高折射率材料为五氧化二钽，所述低折射率材料为二氧化硅。
[0012]在本技术一实施例中，其中，所述玻璃基底为k9光学玻璃基底。
[0013]在本技术一实施例中，其中，所述激发滤光片的中心波长为470nm，光谱带宽为30nm。
[0014]在本技术一实施例中，其中，所述发射滤光片的中心波长为525nm，光谱带宽为30nm。
[0015]本技术提供的低角度效应荧光带通滤光片组合结构，与现有技术相比，其膜系结构通过测量得到的光谱曲线平滑，具有高通量；且对入射光角度变化不敏感，中心波长偏移量小，通带宽度变化不大，能够满足低角度效应的需要，如应用于低角度效应荧光染料检测。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本技术一实施例的滤光片结构示意图；
[0018]图2A为本技术一实施例的激发滤光片仿真曲线示意图；
[0019]图2B为本技术一实施例的激发滤光片镀膜光谱测试曲线示意图；
[0020]图3A为本技术一实施例的发射滤光片仿真曲线示意图；
[0021]图3B为本技术一实施例的发射滤光片镀膜光谱测试曲线示意图。
[0022]附图标记说明：Sub
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玻璃基底；101
‑
高折射率镀膜层；102
‑
低折射率镀膜层。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]图1为本技术一实施例的滤光片结构示意图，如图1所示，本实施例提供一种低角度效应荧光带通滤光片组合结构，其包括一激发滤光片与一发射滤光片，所述激发滤光片与所述发射滤光片的结构均包括：
[0025]一玻璃基底Sub，设置于最底层；
[0026]复数层高折射率镀膜层101与复数层低折射率镀膜层102，其中，每一层高折射率镀膜层101与每一层低折射率镀膜层102按照交替堆叠的方式依次设置于玻璃基底Sub上，且任一低折射率镀膜层102不贴敷于玻璃基底Sub；
[0027]如图1所示，本实施例的低角度效应荧光带通滤光片是在法布里
‑
珀罗F本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种低角度效应荧光带通滤光片组合结构，其特征在于，包括一激发滤光片与一发射滤光片，所述激发滤光片与所述发射滤光片的结构均包括：一玻璃基底，设置于最底层；以及复数层高折射率镀膜层与复数层低折射率镀膜层，其中，每一层高折射率镀膜层与每一层低折射率镀膜层按照交替堆叠的方式依次设置于所述玻璃基底上，且任一低折射率镀膜层不贴敷于所述玻璃基底；其中，所述激发滤光片中的复数层高折射率镀膜层与复数层低折射率镀膜层的薄膜物理厚度按照从所述玻璃基底到最外层依次为：H、L、2H、L、H、1.1140L、H、L、6H、L、H、1.0185L、H、L、6H、L、H、1.1126L、H、L、H、L、2H、L、H、L、H、1.0578L、H、L、6H、L、H、1.0622L、H、L、H、L、2H、L、H、L、H、1.1247L、H、L、6H、L、H、0.9834L、H、L、H、L、2H、L、H、L、H、1.2124L、H、L、6H、L、H、0.9082L、H、L、6H、L、H、1.2711L、H、L、2H、L、1.1645H与1.3433L；其中，H为第一单位高折射率镀膜层厚度，具体为53.39nm，L为第一单位低折射率镀膜层厚度，具体为79.46nm，H与L前面的数字分别为第一单位高折射率镀膜层厚度与第一单位低折射率镀膜层厚度的倍数；其中，所述发射滤光片中的复数层高折射率镀膜层与复数层低折射率镀膜层的薄膜物理厚度按照从所述玻璃基底到最外层依次为：T、S、2T、S、T、0.9043S、T、S、2T、S、T、0.8516S、T、S、6T、...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟嘉译，
申请(专利权)人：北京京仪博电光学技术有限责任公司，
类型：新型
国别省市：