本实用新型专利技术公开一种适用于金属掩膜版的缓冲单元和加工装置，包括：机架；第一从动辊，设置于机架一端；第二从动辊，设置于机架另一端；驱动辊，滑动设置于机架上，且位于第一从动辊和第二从动辊之间；金属掩膜版依次绕过第一从动辊、驱动辊、第二从动辊设置；驱动电机，设置于机架一侧，连接于驱动辊上，用于驱动驱动辊于机架上升降，本实用新型专利技术通过可升降设置的驱动辊来存储、释放金属掩膜版，并保证金属掩膜版蚀刻时的张力稳定。膜版蚀刻时的张力稳定。膜版蚀刻时的张力稳定。
【技术实现步骤摘要】
一种适用于金属掩膜版的缓冲单元和加工装置
[0001]本技术涉及半导体加工
，具体涉及一种适用于金属掩膜版的缓冲单元和加工装置。
技术介绍
[0002]现有技术中，金属掩膜版在经过蚀刻机构进行蚀刻后，会通过一压辊机构进行输送，由于金属掩膜版的厚度较薄，经过蚀刻后变的异常脆弱，压辊会造成金属掩膜版的不可逆损伤，容易造成产品报废。
技术实现思路
[0003]为解决以上技术问题，本技术提供了一种适用于金属掩膜版的缓冲单元，取消了现有技术中的压辊机构，通过可升降设置的驱动辊来存储、释放金属掩膜版，并保证金属掩膜版蚀刻时的张力稳定，减小产品报废率。
[0004]本技术采用以下技术方案：
[0005]一种适用于金属掩膜版的缓冲单元，包括：机架；第一从动辊，设置于机架一端；第二从动辊，设置于机架另一端；驱动辊，滑动设置于机架上，且位于第一从动辊和第二从动辊之间；金属掩膜版依次绕过第一从动辊、驱动辊、第二从动辊设置；驱动电机，设置于机架一侧，连接于驱动辊上，用于驱动驱动辊于机架上升降。
[0006]作为优选，所述驱动辊上设有张力感应器。
[0007]作为优选，所述机架包括底板、前安装板和后安装板，所述前安装板和后安装板上均设有安装槽。
[0008]作为优选，所述驱动辊两端均设有第一滑块，所述机架表面设有第一导向块，所述驱动辊通过第一滑块滑动配合于第一导向块上。
[0009]作为优选，驱动电机包括丝杠，所述丝杠一端连接于第一滑块上。
[0010]作为优选，所述机架表面设有第二导向块，所述丝杠上设有与第二导向块配合的第二滑块。
[0011]一种适用于金属掩膜版的加工装置，包括：放卷单元、蚀刻单元和裁切单元，所述蚀刻单元和裁切单元之间设有缓冲单元。
[0012]作为优选，金属掩膜版从放卷单元卷出，依次绕过蚀刻单元、第一从动辊、驱动辊、第二从动辊至裁切单元。
[0013]与现有技术相比，本技术具有以下优点：本技术提供了一种适用于金属掩膜版的缓冲单元，取消了现有技术中的压辊机构，通过可升降设置的驱动辊来存储、释放金属掩膜版，并保证金属掩膜版蚀刻时的张力稳定，减小产品报废率。同时，本技术在驱动辊处设置了张力感应器，可实时监测驱动辊处的金属掩膜版的张力情况，防止驱动辊处的金属掩膜版出现张力异常的情况。
附图说明
[0014]图1为缓冲单元的结构示意图。
[0015]图2为图1的A部局部放大图。
[0016]图中，机架1、底板11、前安装板12、后安装板13、安装槽14、第一导向块15、第二导向块16、第一从动辊2、第二从动辊3、驱动辊4、第一滑块41、驱动电机5、丝杠51、第二滑块52、张力感应器6。
具体实施方式
[0017]为了便于理解本技术技术方案，以下结合附图与具体实施例进行详细说明。
[0018]实施例1
[0019]如图1
‑
2所示，一种适用于金属掩膜版的缓冲单元，包括：
[0020]机架1；
[0021]第一从动辊2，转动设置于机架1一端上侧；
[0022]第二从动辊3，转动设置于机架1另一端上侧；
[0023]驱动辊4，滑动设置于机架1上，且位于第一从动辊2和第二从动辊3之间；金属掩膜版依次绕过第一从动辊2、驱动辊4、第二从动辊3设置；
[0024]驱动电机5，设置于机架1一侧，连接于驱动辊4上，用于驱动驱动辊4于机架1上升降。
[0025]现有技术中，所述第一从动辊2的上方设有转动辊，第一从动辊2与转动辊配合形成压辊机构，通过所述压辊机构对经过蚀刻机构蚀刻后的金属掩膜版进行输送，由于金属掩膜版的厚度较薄，经过蚀刻后变的异常脆弱，压辊会造成金属掩膜版的不可逆损伤。故本实施例中，将第一从动辊2的上方的转动辊删除，在第一从动辊2与第二从动辊3之间设置可升降的驱动辊4，通过可升降设置的驱动辊4来存储、释放金属掩膜版。
[0026]具体的，当第二从动辊3后方的金属掩膜版进行加工时，该部分的金属掩膜版处于固定状态，第二从动辊3不会发生转动，驱动电机5驱动驱动辊4向下运动，将第一从动辊2前方的金属掩膜版进行运输储存，当第二从动辊3后方的金属掩膜版加工完毕后，驱动电机5驱动驱动辊4向上运动，驱动辊4处的金属掩膜版失去了限制，第二从动辊3后方驱动金属掩膜版向后运输，实现金属掩膜版的释放。
[0027]上述驱动辊4运动的距离有驱动辊4处的张力来确定，例如，可以设置一个阈值，在进行储存材料时，驱动辊4向下运动，直到驱动辊4处的张力等于该阈值就停止运动，保证金属掩膜版蚀刻时的张力稳定；在进行释放材料时，驱动辊4向上运动，金属掩膜版向后运输，至金属掩膜版绕于驱动辊4上且张力达到阈值后停止运动。
[0028]本实施例中，在驱动辊4的第一滑块41上设有张力感应器6，用于实时检测驱动辊4处的张力时。
[0029]所述机架1包括底板11、前安装板12和后安装板13，所述前安装板12和后安装板13上均设有安装槽14。第一从动辊2和第二从动辊3转动配合于前安装板12和后安装板13之间，驱动辊4的端部从安装槽14伸出。
[0030]所述驱动辊4两端均设有第一滑块41，所述机架1表面设有第一导向块15，所述驱动辊4通过第一滑块41滑动配合于第一导向块15上。
[0031]驱动电机5包括丝杠51，所述丝杠51一端连接于第一滑块41上，驱动电机5驱动丝杠51转动来控制第一滑块41于第一导向块15上滑动，来控制驱动辊4上下运动。
[0032]由于丝杠51长度较长，在转动时容易发生晃动，所述机架1表面设有第二导向块16，所述丝杠51上设有与第二导向块16配合的第二滑块52，驱动电机5驱动丝杠51转动来控制第二滑块52于第二导向块16上滑动，减少丝杠51的晃动，实现对丝杠51的保护。
[0033]一种适用于金属掩膜版的加工装置，包括：放卷单元、蚀刻单元和裁切单元，所述蚀刻单元和裁切单元之间设有缓冲单元，并且所述金属掩膜版从放卷单元卷出，依次绕过蚀刻单元、第一从动辊2、驱动辊4、第二从动辊3至裁切单元。
[0034]当裁切单元的金属掩膜版进行裁切加工时，该部分的金属掩膜版处于固定状态，第二从动辊3不会发生转动，驱动电机5驱动驱动辊4向下运动，将蚀刻单元的金属掩膜版进行运输储存，当裁切单元的金属掩膜版裁切完毕后，驱动电机5驱动驱动辊4向上运动，驱动辊4处的金属掩膜版失去了限制，裁切单元驱动金属掩膜版向后运输，实现金属掩膜版的释放。
[0035]以上仅是本技术的优选实施方式，本技术的保护范围以权利要求所限定的范围为准，本领域技术人员在不脱离本技术的精神和范围内做出的若干改进和润饰，也应视为本技术的保护范围。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种适用于金属掩膜版的缓冲单元，其特征在于，包括：机架(1)；第一从动辊(2)，设置于机架(1)一端；第二从动辊(3)，设置于机架(1)另一端；驱动辊(4)，滑动设置于机架(1)上，且位于第一从动辊(2)和第二从动辊(3)之间；金属掩膜版依次绕过第一从动辊(2)、驱动辊(4)、第二从动辊(3)设置；驱动电机(5)，设置于机架(1)一侧，连接于驱动辊(4)上，用于驱动驱动辊(4)于机架(1)上升降。2.根据权利要求1所述的一种适用于金属掩膜版的缓冲单元，其特征在于，所述驱动辊(4)上设有张力感应器(6)。3.根据权利要求1所述的一种适用于金属掩膜版的缓冲单元，其特征在于，所述机架(1)包括底板(11)、前安装板(12)和后安装板(13)，所述前安装板(12)和后安装板(13)上均设有安装槽(14)。4.根据权利要求1所述的一种适用于金属掩膜版的缓冲单元，其特征在于，所述驱动辊(4)两端均设有第一滑...
【专利技术属性】
技术研发人员：李坤鹏，杜勇，徐华伟，沈洵，
申请(专利权)人：浙江众凌科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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