一种用于碳化硅外延设备的磁性开关的检测电路制造技术

本申请公开一种用于碳化硅外延设备的磁性开关的检测电路。该检测电路，包括：第一磁性开关传感器、第二磁性开关传感器、第一光耦，第一与非门及第二光耦，所述第一磁性开关传感器电性连接至第一光耦的第二接脚，所述第一光耦的第一接脚电性连接至第一供电端，所述第二磁性开关传感器电性连接至第一光耦的第三接脚，所述第一光耦的第四接脚电性连接至第一供电端，所述第一光耦的第五接脚电性接地、所述第六接脚及第七接脚电性连接所述第一与非门、第八接脚电性连接至第三供电端，所述第一与非门的输出端电性连接所述第二光耦，所述第二光耦输出检测信号，并传输至PLC模块。该电路能保证信号传输的稳定性和可靠性。信号传输的稳定性和可靠性。信号传输的稳定性和可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于碳化硅外延设备的磁性开关的检测电路


[0001]本申请涉及检测
，具体地涉及一种用于碳化硅外延设备的磁性开关的检测电路。

技术介绍

[0002]碳化硅外延CVD设备的反应腔上通常配置有不同用途的气缸来控制腔体的动作，每个气缸皆配置有两个磁性开关传感器，该传感器电性连接检测模块(如PLC模块)，该检测模块用来判断气缸的动作是否执行到位。在实践中通常将检测气缸当前状态相同信号的磁性开关通过线缆串联起来以将多个磁性开关的信号合成一个信号，然后将该合成信号送到PLC模块进行处理，PLC模块反馈的信号来判断气缸的动作是否到位。以4个磁性开关的拓扑为例、如图1所示，该拓扑下因磁性开关(D1
‑
D4/也称传感器)运行时管压降最大为4V左右，4个信号(对应)串联后管压降最大为16V，这样将有可能超过PLC模块的要求的最低高电平信号(12V)，图中SW1
‑
SW4为开关电路。在运行时存在由磁性开关的管压降导致传输到PLC模块上的信号电压大大降低，使得该信号容易收到外部干扰，造成设备误报警。另外，在进行磁性开关用线本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于碳化硅外延设备的磁性开关的检测电路，其特征在于，包括：第一磁性开关传感器、第二磁性开关传感器、第一光耦，第一与非门及第二光耦，所述第一磁性开关传感器电性连接至第一光耦的第二接脚，所述第一光耦的第一接脚电性连接至第一供电端，所述第二磁性开关传感器电性连接至第一光耦的第三接脚，所述第一光耦的第四接脚电性连接至第一供电端，所述第一光耦的第五接脚电性接地，第六接脚及第七接脚电性连接所述第一与非门、第八接脚电性连接至第三供电端，所述第一与非门的输出端电性连接所述第二光耦，所述第二光耦输出检测信号，并传输至PLC模块。2.如权利要求1所述的用于碳化硅外延设备的磁性开关的检测电路，其特征在于，所述第一磁性开关传感器电性连接第九电容C9的一端及第一电阻R1的一端及第三电阻R1的一端，第九电容C9的另一端连接第一电阻R1的另一端并电性连接至第二供电端，第三电阻R1的另一端电性连接至所述第一光耦的所述第二接脚。3.如权利要求2所述的用于碳化硅外延设备的磁性开关的检测电路，其特征在于，所述第一光耦U2的第一接脚电性连接第一稳压二极管的第一端，所述第一稳压二极管ZD1的第二端电性连接至所述第一供电端。4.如权利要求3所述的用于碳化硅外延设备的磁性开关的检测电路，其特征在于，所述第一稳压二极管的压降为5.1V稳压二极管。5.如权利要求1所述的用于碳化硅外延设备的磁性开关的检测电路，其特征在于，所述第二磁性开关传感器电性连接第十电容C10的一端及第八电阻R8的一端及第六电阻R6的一端，所述第十电容C10的另一端电连接第八电阻R8的另一端并电性连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘中良，向阳，张勇，
申请(专利权)人：芯三代半导体科技苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：