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本申请公开一种用于碳化硅外延设备的磁性开关的检测电路。该检测电路，包括：第一磁性开关传感器、第二磁性开关传感器、第一光耦，第一与非门及第二光耦，所述第一磁性开关传感器电性连接至第一光耦的第二接脚，所述第一光耦的第一接脚电性连接至第一供电端，...
该专利属于芯三代半导体科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芯三代半导体科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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