本公开提供了一种光罩识别装置及光罩颗粒检测设备，光罩识别装置，包括：光源，用于提供识别光罩所需的光线；承载台，用于承托待识别的光罩；身份读取传感器，用于读取待识别的光罩上的身份信息，所述身份读取传感器和光源分别位于所述承载台的两侧；移动机构，用于带动设于其上的身份读取传感器移动。本公开的光罩识别装置能够识别不同型号和厂家的光罩。罩识别装置能够识别不同型号和厂家的光罩。罩识别装置能够识别不同型号和厂家的光罩。
【技术实现步骤摘要】
光罩识别装置及光罩颗粒检测设备
[0001]本公开涉及半导体生产设备领域，尤其涉及一种光罩识别装置及光罩颗粒检测设备。
技术介绍
[0002]半导体制备过程中，需要对晶圆进行曝光。曝光过程中，如果光罩上有颗粒物，会影响成像质量，在晶圆的表面形成斑点。为此，需要对光罩进行测试，以检测光罩上是否有颗粒。在检测光罩之前，需要先对光罩进行识别。识别光罩时，采用身份识别传感器对光罩上的识别码进行读取。不同厂家的光罩上的识别码设置位置不同，导致光罩颗粒检测设备只能识别同一厂家的光罩，影响用户对光罩的选择。
技术实现思路
[0003]本公开提供了一种光罩识别装置及光罩颗粒检测设备，以至少解决现有技术中存在的以上技术问题。
[0004]根据本公开的第一方面，提供了一种光罩识别装置，包括：
[0005]光源，用于提供识别光罩所需的光线；
[0006]承载台，用于承托待识别的光罩；
[0007]身份读取传感器，用于读取待识别的光罩上的身份信息，所述身份读取传感器和光源分别位于所述承载台的两侧；
[0008]移动机构，用于带动设于其上的身份读取传感器移动。
[0009]在一可实施方式中，所述移动机构包括：
[0010]第一线性移动部，所述身份读取传感器设于所述第一线性移动部上，所述第一线性移动部用于带动所述身份读取传感器沿平行于所述承载台的第一方向往复移动。
[0011]在一可实施方式中，所述第一线性移动部包括：
[0012]滑座，所述身份读取传感器设于所述滑座上；
[0013]丝杆传动机构，所述滑座设于所述丝杆传动机构上，所述丝杆传动机构用于驱动所述滑座沿第一方向移动。
[0014]在一可实施方式中，所述移动机构还包括限位开关，所述限位开关设于所述第一线性移动部上，所述限位开关用于限制所述身份读取传感器在所述第一方向上移动的两个端点。
[0015]在一可实施方式中，所述移动机构还包括报警传感器，所述报警传感器设于所述第一线性移动部上，所述报警传感器用于检测到所述身份读取传感器时发出报警信号。
[0016]在一可实施方式中，所述移动机构还包括旋转部，所述第一线性移动部设于所述旋转部上，所述旋转部用于带动所述第一线性移动部转动，以使所述第一线性移动部由带动所述身份读取传感器沿第一方向移动转动至带动所述身份读取传感器沿第二方向移动，所述第二方向平行于所述承载台，且垂直于所述第一方向。
[0017]在一可实施方式中，所述旋转部包括：
[0018]旋转座，所述第一线性移动部设于所述旋转座上；
[0019]旋转电机，与所述旋转座传动连接，用于带动所述旋转座转动。
[0020]在一可实施方式中，所述移动机构还包括第二线性移动部，所述第一线性移动部设于所述第二线性移动部上，所述第二线性移动部用于带动所述第一线性移动部在平行于所述承载台的第二方向上往复移动，所述第二方向垂直于所述第一方向。
[0021]根据本公开的第二方面，提供了一种光罩颗粒检测设备，包括机台，还包括本公开所述的光罩识别装置，所述光罩识别装置设于所述机台上。
[0022]在一可实施方式中，光罩颗粒检测设备还包括传送机构，所述传送机构用于将待检测光罩移动至所述承载台上。
[0023]本公开的光罩识别装置中，光源能够提供识别光罩所需的光线；承载台用于承托待识别的光罩；身份读取传感器能够在移动机构的带动下移动，从而可以读取设于待识别的光罩上不同位置的身份信息，所述身份读取传感器和光源分别位于所述承载台的两侧，在提供所需光线的同时，不会影响移动机构的移动。
[0024]应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本公开的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本公开的范围。本公开的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。
附图说明
[0025]通过参考附图阅读下文的详细描述，本公开示例性实施方式的上述以及其他目的、特征和优点将变得易于理解。在附图中，以示例性而非限制性的方式示出了本公开的若干实施方式，其中：
[0026]在附图中，相同或对应的标号表示相同或对应的部分。
[0027]图1示出了本公开实施例的光罩识别装置的结构示意图一；
[0028]图2示出了本公开实施例的光罩识别装置中的移动机构的结构示意图一；
[0029]图3示出了本公开实施例的光罩识别装置中的移动机构的结构示意图二；
[0030]图4示出了本公开实施例的光罩识别装置中的移动机构的结构示意图三。
[0031]图中标号说明：1
‑
光源；2
‑
承载台；3
‑
身份读取传感器；4
‑
移动机构；41
‑
第一线性移动部；411
‑
滑座；412
‑
丝杆传动机构；413
‑
支撑座；42
‑
旋转部；421
‑
旋转座；422
‑
旋转电机；43
‑
第二线性移动部；5
‑
限位开关；6
‑
报警传感器；7
‑
底座。
具体实施方式
[0032]为使本公开的目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本公开实施例中的附图，对本公开实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本公开一部分实施例，而非全部实施例。基于本公开中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。
[0033]参见图1，本公开实施例提供了一种光罩识别装置，该光罩识别装置包括光源1、承载台2、身份读取传感器3和移动机构4，光源1用于提供识别光罩所需的光线；承载台2用于承托待识别的光罩；身份读取传感器3用于读取待识别的光罩上的身份信息，身份读取传感器3和光源1分别位于承载台2的两侧；移动机构4用于带动设于其上的身份读取传感器3移
动，以使身份读取传感器3能够读取光罩不同位置的身份信息。
[0034]本公开的光罩识别装置中，光源1能够提供识别光罩所需的光线；承载台2用于承托待识别的光罩；身份读取传感器3能够在移动机构4的带动下移动，从而可以读取设于待识别的光罩上不同位置的身份识别码所包含的身份信息，身份读取传感器3和光源1分别位于承载台2的两侧，在提供所需光线的同时，不会影响移动机构4的移动。
[0035]参见图1和图2，在一可实施方式中，移动机构4包括第一线性移动部41，身份读取传感器3设于第一线性移动部41上，第一线性移动部41用于带动身份读取传感器3沿平行于承载台2的第一方向往复移动。本公开实施例中，身份读取传感器3在第一线性移动部41的带动下在第一方向上往复移动，可以读取设于承载台2上的光罩的一侧的身份识别码，身份识别码可以是设置在光罩一侧的上部、中部或下部等任意位置，通过身份读取传感器3沿本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光罩识别装置，其特征在于，包括：光源(1)，用于提供识别光罩所需的光线；承载台(2)，用于承托待识别的光罩；身份读取传感器(3)，用于读取待识别的光罩上的身份信息，所述身份读取传感器(3)和光源(1)分别位于所述承载台(2)的两侧；移动机构(4)，用于带动设于其上的身份读取传感器(3)移动。2.根据权利要求1所述的光罩识别装置，其特征在于，所述移动机构(4)包括：第一线性移动部(41)，所述身份读取传感器(3)设于所述第一线性移动部(41)上，所述第一线性移动部(41)用于带动所述身份读取传感器(3)沿平行于所述承载台(2)的第一方向往复移动。3.根据权利要求2所述的光罩识别装置，其特征在于，所述第一线性移动部(41)包括：滑座(411)，所述身份读取传感器(3)设于所述滑座(411)上；丝杆传动机构(412)，所述滑座(411)设于所述丝杆传动机构(412)上，所述丝杆传动机构(412)用于驱动所述滑座(411)沿第一方向移动。4.根据权利要求2所述的光罩识别装置，其特征在于，所述移动机构(4)还包括限位开关(5)，所述限位开关(5)设于所述第一线性移动部(41)上，所述限位开关(5)用于限制所述身份读取传感器(3)在所述第一方向上移动的两个端点。5.根据权利要求2所述的光罩识别装置，其特征在于，所述移动机构(4)还包括报警传感器(6)，所述报警传感器(6)设于所述第一线性移动部(41)上，所述报警传感器(6)用于检...
【专利技术属性】
技术研发人员：李云天，
申请(专利权)人：杭州富芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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