【技术实现步骤摘要】
光罩识别装置及光罩颗粒检测设备
[0001]本公开涉及半导体生产设备领域，尤其涉及一种光罩识别装置及光罩颗粒检测设备。
技术介绍
[0002]半导体制备过程中，需要对晶圆进行曝光。曝光过程中，如果光罩上有颗粒物，会影响成像质量，在晶圆的表面形成斑点。为此，需要对光罩进行测试，以检测光罩上是否有颗粒。在检测光罩之前，需要先对光罩进行识别。识别光罩时，采用身份识别传感器对光罩上的识别码进行读取。不同厂家的光罩上的识别码设置位置不同，导致光罩颗粒检测设备只能识别同一厂家的光罩，影响用户对光罩的选择。
技术实现思路
[0003]本公开提供了一种光罩识别装置及光罩颗粒检测设备，以至少解决现有技术中存在的以上技术问题。
[0004]根据本公开的第一方面，提供了一种光罩识别装置，包括：
[0005]光源，用于提供识别光罩所需的光线；
[0006]承载台，用于承托待识别的光罩；
[0007]身份读取传感器，用于读取待识别的光罩上的身份信息，所述身份读取传感器和光源分别位于所述承载台的两侧；>[0008]移动机本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光罩识别装置，其特征在于，包括：光源(1)，用于提供识别光罩所需的光线；承载台(2)，用于承托待识别的光罩；身份读取传感器(3)，用于读取待识别的光罩上的身份信息，所述身份读取传感器(3)和光源(1)分别位于所述承载台(2)的两侧；移动机构(4)，用于带动设于其上的身份读取传感器(3)移动。2.根据权利要求1所述的光罩识别装置，其特征在于，所述移动机构(4)包括：第一线性移动部(41)，所述身份读取传感器(3)设于所述第一线性移动部(41)上，所述第一线性移动部(41)用于带动所述身份读取传感器(3)沿平行于所述承载台(2)的第一方向往复移动。3.根据权利要求2所述的光罩识别装置，其特征在于，所述第一线性移动部(41)包括：滑座(411)，所述身份读取传感器(3)设于所述滑座(411)上；丝杆传动机构(412)，所述滑座(411)设于所述丝杆传动机构(412)上，所述丝杆传动机构(412)用于驱动所述滑座(411)沿第一方向移动。4.根据权利要求2所述的光罩识别装置，其特征在于，所述移动机构(4)还包括限位开关(5)，所述限位开关(5)设于所述第一线性移动部(41)上，所述限位开关(5)用于限制所述身份读取传感器(3)在所述第一方向上移动的两个端点。5.根据权利要求2所述的光罩识别装置，其特征在于，所述移动机构(4)还包括报警传感器(6)，所述报警传感器(6)设于所述第一线性移动部(41)上，所述报警传感器(6)用于检...
【专利技术属性】
技术研发人员：李云天，
申请(专利权)人：杭州富芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。