激光扫描定位装置制造方法及图纸

技术编号:37903005 阅读:12 留言:0更新日期:2023-06-18 12:10
本实用新型专利技术涉及定位装置技术领域,具体公开了激光扫描定位装置,该激光扫描定位装置包括反射镜、驱动器和角度传感器,反射镜用于将激光光束反射至空中;驱动器被配置为驱动反射镜绕驱动器的转轴转动;角度传感器被配置为测量反射镜的实时角度;驱动器、反射镜和角度传感器形成简支梁结构。该装置将驱动器、反射镜和角度传感器同轴线设置且形成简支梁结构,进而,驱动器驱动反射镜转动时,提高了反射镜的负载刚性,减轻了反射镜偏离驱动器转轴的晃动,进而降低了反射镜位置测量误差,提升了装置的测量精度。置的测量精度。置的测量精度。

【技术实现步骤摘要】
激光扫描定位装置


[0001]本技术涉及定位装置
,尤其涉及激光扫描定位装置。

技术介绍

[0002]激光激光定位或扫描装置具有定位速度快(几百微妙至几个毫秒),定位精度高(一般要求几个微弧度)的特点,常用于眼底扫描OCT设备,激光熔融增材制造设备,高密度互连印制电路板互连微孔加工等。为了达到快速和精确的激光激光定位扫描要求,根据旋转运动牛顿第二定律,一般要求驱动驱动器扭矩大,即具有高的扭矩常数,同时驱动器转子及其驱动负载(如反射镜)具有较低的转动惯量;不仅如此,驱动器转子负载及其支撑系统应具有较高的刚度或较高的系统固有频率。
[0003]为了达到高扭矩,驱动器转子一般由永磁体材料如钕铁硼材料加工;为了实现较低的转动惯量和高的系统固有频率,激光反射镜材料一般由硅/铍/碳化硅等加工而成(如美国专利US10761293B2)。
[0004]随着激光扫描加工速度和精度要求的提高,如激光熔融增材制造对产率要求和加工精度要求的提高,以及激光加工微孔直径大小的逐步降低,系统对激光扫描定位装置提出了更高的要求。
[0005]传统激光激光扫描定位装置参考美国专利US2005/0111122A1。一般由以下部分组成:驱动器定子、驱动器转轴、转子支撑轴承、布置于驱动器转轴一端的反射镜和布置于驱动器转轴另一端的位置传感器。
[0006]由于反射镜与驱动器的转轴形成了悬臂梁结构,所以在驱动器带动反射镜转动过程中,反射镜容易出现偏离驱动器转轴的晃动,进而影响测量的精度。

技术实现思路

[0007]本技术的目的在于:提供激光扫描定位装置,以解决相关技术中由于反射镜与驱动器的转轴形成了悬臂梁结构,所以在驱动器带动反射镜转动过程中,反射镜容易出现偏离驱动器转轴的晃动,进而影响测量的精度的问题。
[0008]本技术提供激光扫描定位装置,该激光扫描定位装置包括:
[0009]反射镜,用于将激光光束反射至空中;
[0010]驱动器,被配置为驱动所述反射镜绕所述驱动器的转轴转动;
[0011]角度传感器,被配置为测量所述反射镜的实时角度;
[0012]所述驱动器、所述反射镜和所述角度传感器同轴线设置且形成简支梁结构。
[0013]作为激光扫描定位装置的优选技术方案,所述反射镜的一端与所述驱动器的转轴固接,所述反射镜的另一端与所述角度传感器的测量轴固接。
[0014]作为激光扫描定位装置的优选技术方案,所述激光扫描定位装置还包括固定件,所述固定件的一端过盈套设于所述驱动器的转轴,所述固定件的另一端与所述反射镜的一端胶接。
[0015]作为激光扫描定位装置的优选技术方案,所述测量轴的端部凹设有凹槽,所述反射镜的另一端插设于所述凹槽且与所述测量轴卡接。
[0016]作为激光扫描定位装置的优选技术方案,所述角度传感器还包括壳体和设置于所述壳体内部的光源、挡板、转动板和光线接收器,所述光源将发出的光线指向所述光线接收器,所述挡板设置在所述光线接收器和所述光源之间,所述挡板设置有多个进光孔,所述测量轴驱动所述转动板在所述挡板上转动且依次扫过多个所述进光孔。
[0017]作为激光扫描定位装置的优选技术方案,所述驱动器为振镜电机。
[0018]作为激光扫描定位装置的优选技术方案,所述驱动器设置有两个,两个所述驱动器的转轴的一端分别与所述反射镜的两端固接,两个所述驱动器中的一个的转轴的另一端与所述角度传感器的测量轴固接。
[0019]作为激光扫描定位装置的优选技术方案,所述驱动器设置有两个,两个所述驱动器的转轴的一端分别与所述反射镜的两端固接;
[0020]所述角度传感器设置有两个,两个所述角度传感器的测量轴分别与两个所述驱动器的转轴的另一端固接。
[0021]作为激光扫描定位装置的优选技术方案,绕所述反射镜的转动方向,两个所述角度传感器的所述测量轴呈预设夹角a。
[0022]作为激光扫描定位装置的优选技术方案,所述预设夹角a的值为90
°

[0023]本技术的有益效果为:
[0024]本技术提供激光扫描定位装置,该激光扫描定位装置包括反射镜、驱动器和角度传感器,反射镜用于将激光光束反射至空中;驱动器被配置为驱动反射镜绕驱动器的转轴转动;角度传感器被配置为测量反射镜的实时角度;驱动器、反射镜和角度传感器同轴线设置且形成简支梁结构。该装置将驱动器、反射镜和角度传感器形成简支梁结构,进而,驱动器驱动反射镜转动时,提高了反射镜的负载刚性,减轻了反射镜偏离驱动器转轴的晃动,进而降低了反射镜位置测量误差,提升了装置的测量精度。
附图说明
[0025]图1为本技术实施例一中激光扫描定位装置的结构示意图;
[0026]图2为本技术实施例一中激光扫描定位装置的剖视图;
[0027]图3为本技术实施例一中角度传感器的爆炸视图;
[0028]图4为本技术实施例二中激光扫描定位装置的结构示意图;
[0029]图5为本技术实施例三中激光扫描定位装置的结构示意图;
[0030]图6为本技术实施例三中第一角度传感器和第二角度传感器的测量轴呈预设夹角a的示意图。
[0031]图中:
[0032]1、反射镜;
[0033]2、驱动器;
[0034]3、角度传感器;31、测量轴;311、凹槽;32、支架;33、光源;34、挡板;341、进光孔;35、转动板;36、光线接收器;
[0035]4、固定件。
具体实施方式
[0036]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0037]在本技术的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中,术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置,而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0038]在本技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.激光扫描定位装置,其特征在于,包括:反射镜(1),用于将激光光束反射至空中;驱动器(2),被配置为驱动所述反射镜(1)绕所述驱动器(2)的转轴转动;角度传感器(3),被配置为测量所述反射镜(1)的实时角度;所述驱动器(2)、所述反射镜(1)和所述角度传感器(3)同轴线设置且形成简支梁结构。2.根据权利要求1所述的激光扫描定位装置,其特征在于,所述反射镜(1)的一端与所述驱动器(2)的转轴固接,所述反射镜(1)的另一端与所述角度传感器(3)的测量轴(31)固接。3.根据权利要求2所述的激光扫描定位装置,其特征在于,所述激光扫描定位装置还包括固定件(4),所述固定件(4)的一端过盈套设于所述驱动器(2)的转轴,所述固定件(4)的另一端与所述反射镜(1)的一端胶接。4.根据权利要求2所述的激光扫描定位装置,其特征在于,所述测量轴(31)的端部凹设有凹槽(311),所述反射镜(1)的另一端插设于所述凹槽(311)且与所述测量轴(31)卡接。5.根据权利要求2所述的激光扫描定位装置,其特征在于,所述角度传感器(3)还包括壳体和设置于所述壳体内部的光源(33)、挡板(34)、转动板(35)和光线接收器(36),所述光源(33)将发出的光线指向所述光线接收器(3...

【专利技术属性】
技术研发人员:何煦曹军平李欣
申请(专利权)人:苏州旭欣智能科技有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1