显微镜物镜制造技术

本发明专利技术提供显微镜物镜，其以适当的倍率实现高的数值孔径和长的工作距离。显微镜物镜(1)包含：正的第一透镜组(G1)，其包含凹面朝向物体侧的多个弯月透镜；第二透镜组(G2)，其在最靠物体侧包含由正透镜和负透镜构成的第一接合透镜；第三透镜组(G3)，其由正的单透镜构成；第四透镜组(G4)，其包含凹面朝向物体侧的第一接合弯月透镜；第五透镜组(G5)，其包含由正透镜和负透镜构成的凹面朝向像侧的第二接合弯月透镜；以及第六透镜组(G6)，其包含由正透镜和负透镜构成的凹面朝向物体侧的第三接合弯月透镜，满足以下的条件式0<|f/f5|<0.15...(1)其中，f是显微镜物镜(1)的焦距，f5是第五透镜组(G5)的焦距。是第五透镜组(G5)的焦距。是第五透镜组(G5)的焦距。

【技术实现步骤摘要】
显微镜物镜


[0001]本说明书的公开涉及显微镜物镜。

技术介绍

[0002]对于在晶片的检查等工业用途中使用的物镜，为了实现高分辨率而要求高数值孔径(以下记为NA)。另外，为了实现高的生产率，要求宽的视野，并且为了在避免被检测物与物镜的碰撞风险的同时提高输送速度，还要求长的工作距离(以下记为WD)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本专利第3093835号公报

技术实现思路

[0006]专利技术所要解决的课题
[0007]例如，在专利文献1中公开了20倍、NA0.7的物镜，但该物镜的WD短至1mm，不充分。
[0008]鉴于以上的实际情况，本专利技术的一个方面的目的在于，提供一种以适当的倍率实现高的数值孔径和长的工作距离的物镜。
[0009]用于解决课题的手段
[0010]本专利技术的一个方式的显微镜物镜包含从物体侧起依次配置的如下透镜组：第一透镜组，其包含凹面朝向所述物体侧的多个弯月透镜，具有正屈光力；第二透镜组，其在最靠所述物体侧包含第一接合透镜，所述第一接合透镜由正透镜和负透镜构成；第三透镜组，其由正的单透镜构成；第四透镜组，其包含凹面朝向所述物体侧的第一接合弯月透镜；第五透镜组，其由凹面朝向像侧的第二接合弯月透镜构成，所述第二接合弯月透镜由正透镜和负透镜构成；以及第六透镜组，其包含凹面朝向所述物体侧的第三接合弯月透镜，所述第三接合弯月透镜由正透镜和负透镜构成。所述显微镜物镜满足以下的条件式。r/>[0011]0<|f/f5|<0.15...(1)
[0012]其中，f是所述显微镜物镜的焦距。f5是所述第五透镜组的焦距。
[0013]专利技术效果
[0014]根据上述方式，能够提供以适当的倍率实现高的数值孔径和长的工作距离的物镜。
附图说明
[0015]图1是本专利技术的实施例1的显微镜物镜1的剖视图。
[0016]图2是成像透镜10的剖视图。
[0017]图3是由显微镜物镜1和成像透镜10构成的光学系统的像差图。
[0018]图4是本专利技术的实施例2的显微镜物镜2的剖视图。
[0019]图5是由显微镜物镜2和成像透镜10构成的光学系统的像差图。
[0020]图6是本专利技术的实施例3的显微镜物镜3的剖视图。
[0021]图7是由显微镜物镜3和成像透镜10构成的光学系统的像差图。
[0022]标号说明
[0023]1、2、3显微镜物镜
[0024]10成像透镜
[0025]G1第一透镜组
[0026]G2第二透镜组
[0027]G3第三透镜组
[0028]G4第四透镜组
[0029]G5第五透镜组
[0030]G6第六透镜组
[0031]L1～L11、TL1～TL4透镜
[0032]CL1～CL4、CTL1、CTL2接合透镜
具体实施方式
[0033]对本申请的一个实施方式的显微镜物镜进行说明。本实施方式的显微镜物镜(以下简称为显微镜物镜)是与成像透镜组合使用的无限远校正型的显微镜物镜。
[0034]显微镜物镜包含从物体侧起依次配置的第一透镜组到第六透镜组。第一透镜组包含具有正屈光力且凹面朝向物体侧的多个弯月透镜。第二透镜组在最靠物体侧包含由正透镜和负透镜构成的接合透镜(以下记作第一接合透镜)。第三透镜组由正的单透镜构成。第四透镜组包含凹面朝向物体侧的整体具有弯月形状的接合弯月透镜(以下记作第一接合弯月透镜)。第五透镜组由凹面朝向像侧的整体具有弯月形状的接合弯月透镜(以下记作第二接合弯月透镜)构成。第六透镜组包含凹面朝向物体侧的整体具有弯月形状的接合弯月透镜(以下，记为第三接合弯月透镜)。另外，第二接合弯月透镜和第三接合弯月透镜分别由正透镜和负透镜构成。
[0035]来自物点的光作为发散光入射到第一透镜组至第三透镜组，第三透镜组将发散光变换为收敛光而使其入射到第四透镜组。第四透镜组至第六透镜组将来自第三透镜组的收敛光转换为平行光。通过第一透镜组至第三透镜组将来自物点的发散光暂时变换为收敛光后使其入射到第四透镜组，能够使第四透镜组以后的边缘光线高度比第一透镜组内部的边缘光线高度低。由此，能够利用构成高斯组的第五透镜组和第六透镜组有效地校正佩兹伐和，其结果，能够在宽的视野范围内良好地校正像面弯曲。
[0036]并且，通过在光线高度最高的第三透镜组的周边区域(第二透镜组、第四透镜组)配置接合透镜(第一接合透镜、第一接合弯月透镜)，能够校正色差。特别是，通过将这些接合透镜构成为由低色散的正透镜和高色散的负透镜构成的消色差透镜，能够实现良好的色差。
[0037]另外，显微镜物镜构成为满足以下的条件式(1)。
[0038]0<|f/f5|<0.15...(1)
[0039]其中，f是显微镜物镜的焦距。f5是第五透镜组的焦距。
[0040]条件式(1)规定了第五透镜组的光焦度，是主要用于良好地校正彗差的条件式。若
|f/f5|超过上限值(0.15)，则相对于焦距而言，第五透镜组的光焦度变得过大。其结果，产生大的彗差，彗差的对称性恶化。
[0041]根据如以上那样构成的显微镜物镜，能够以适当的倍率实现高的数值孔径和长的工作距离。
[0042]另外，物镜也可以构成为，代替条件式(1)而满足下述的条件式(1
‑
1)。
[0043]‑
0.15<f/f5<0...(1
‑
1)
[0044]条件式(1
‑
1)进一步规定了条件式(1)中的第五透镜组的光焦度，是用于也一并良好地校正在成像透镜10中产生的微弱的彗差的条件式。
[0045]以下，对显微镜物镜的优选结构进行说明。
[0046]优选第一透镜组由凹面朝向物体侧的第一弯月透镜和凹面朝向物体侧的第二弯月透镜构成。通过仅由凹面朝向物体侧的2枚弯月透镜构成第一透镜组，能够减少球面像差的产生，并且使光线逐渐收敛。
[0047]第二透镜组优选由第一接合透镜构成。通过仅由第一接合透镜构成第二透镜组，能够校正由第一透镜组产生的色差，并且使光线逐渐收敛。
[0048]优选第四透镜组由第一接合弯月透镜构成。通过仅由第一接合弯月透镜构成第四透镜组，能够减少色差并且减少高阶的球面像差的产生。
[0049]第六透镜组优选由第三接合弯月透镜构成。通过仅由第三接合弯月透镜构成第六透镜组，能够有效地校正佩兹伐和，并且良好地校正倍率色差。
[0050]另外，显微镜物镜优选满足以下的条件式(2)至条件式(4)中的至少1个。
[0051]0.5<f/f1<1.0...(2)
[0052]3.4<n1+n2<4.0.本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显微镜物镜，其特征在于，包含从物体侧起依次配置的如下透镜组：第一透镜组，其包含凹面朝向所述物体侧的多个弯月透镜，具有正屈光力；第二透镜组，其在最靠所述物体侧包含第一接合透镜，所述第一接合透镜由正透镜和负透镜构成；第三透镜组，其由正的单透镜构成；第四透镜组，其包含凹面朝向所述物体侧的第一接合弯月透镜；第五透镜组，其由凹面朝向像侧的第二接合弯月透镜构成，所述第二接合弯月透镜由正透镜和负透镜构成；以及第六透镜组，其包含凹面朝向所述物体侧的第三接合弯月透镜，所述第三接合弯月透镜由正透镜和负透镜构成，所述显微镜物镜满足以下的条件式0<|f/f5|<0.15...(1)其中，f是所述显微镜物镜的焦距，f5是所述第五透镜组的焦距。2.根据权利要求1所述的显微镜物镜，其特征在于，所述第六透镜组由所述第三接合弯月透镜构成。3.根据权利要求1或2所述的显微镜物镜，其特征在于，所述第一透镜组由凹面朝向所述物体侧的第一弯月透镜和凹面朝向所述物体侧的第二弯月透镜构成。4.根据权利要求1或2所述的显微镜物镜，其特征在于，所述第二透镜组由所述第一接合透镜构成。5.根据权利要求3所述的显微镜物镜，其特征在于，所述第二透镜组由所述第一接合透镜构成。6.根据权利要求1或2所述的显微镜物镜，其特征在于，所述第四透镜组由所述第一接合弯月透镜构成。7.根据权利要求5所述的显微镜物镜，其特征在于，所述第四透镜组由所述第一接合弯月透镜构成。8.根据权利要求1或2所述的显微镜物镜，其特征在于，所述显微镜物镜满足以下的条件式0.5<f/f1<1.0...(2)其中，f1是所述第一透镜组的焦距。9.根据权利要求7所述的显微镜物镜，其特征在于，所述显微镜物镜满足以下的条件式0.5<f/f1<1.0...(2)其中，f1是所述第一透镜组的焦距。10.根据权利要求1或2所述的显微镜物镜，其特征在于，所述显微镜物镜满足以下的条件式3.4<n1+n2<4.0...(3)其中，n1是所述第一透镜组所包含的所述多个弯月透镜中的最...

【专利技术属性】
技术研发人员：山之内一彦，
申请(专利权)人：仪景通株式会社，
类型：发明
国别省市：