显微物镜及自动光学检测设备制造技术

本发明专利技术提供一种显微物镜及自动光学检测设备，所述显微物镜包括沿光束入射方向依次排布的第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组，所述第一透镜组的焦距、所述第二透镜组的焦距和所述第三透镜组的焦距满足如下关系式：3<|f1/f2|<6；2<|f2/f3|<4；其中，f1表示第一透镜组的焦距，f2表示第二透镜组的焦距，f3表示第三透镜组的焦距，如此配置，显微物镜在满足系统总长和齐焦距离的约束条件下，仍具有较长的工作距，并可维持系统的工作距为20mm。并可维持系统的工作距为20mm。并可维持系统的工作距为20mm。

【技术实现步骤摘要】
显微物镜及自动光学检测设备


[0001]本专利技术涉及光学
，特别涉及一种显微物镜及自动光学检测设备。

技术介绍

[0002]晶圆加工需要自动光学检测(AOI)设备来定位缺陷，提高晶圆质量。与人工目检相比，AOI设备能够保证检测标准的一致性，并能对缺陷进行分类，它还可以帮助工程师提供跟踪和预防潜在问题的信息。通常情况下，自动光学检测通过显微物镜来实现晶圆的缺陷检测，但现有的显微物镜，在保证系统总长和齐焦距离时，无法维持较长的工作距。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种显微物镜及自动光学检测设备，以解决在保证系统总长和齐焦距离时无法维持较长的工作距的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本专利技术提供一种显微物镜，所述显微物镜包括沿光束入射方向依次排布的第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组，所述第一透镜组的焦距、所述第二透镜组的焦距和所述第三透镜组的焦距满足如下关系式：
[0005]3<|f1/f2|<6；
[0006]2<|f2/f3|&本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显微物镜，其特征在于，所述显微物镜包括沿光束入射方向依次排布的第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组，所述第一透镜组的焦距、所述第二透镜组的焦距和所述第三透镜组的焦距满足如下关系式：3<|f1/f2|<6；2<|f2/f3|<4；其中，f1表示第一透镜组的焦距，f2表示第二透镜组的焦距，f3表示第三透镜组的焦距。2.如权利要求1所述的显微物镜，其特征在于，所述第一透镜组包括沿所述光束入射方向依次排布的第一双胶合透镜和第二双胶合透镜，所述第一双胶合透镜由一个具有正光焦度的第一透镜和一个具有正光焦度的第二透镜胶合而成，所述第二双胶合透镜由一个具有正光焦度的第三透镜和一个具有负光焦度的第四透镜胶合而成。3.如权利要求2所述的显微物镜，其特征在于，所述第一透镜较所述第二透镜远离所述第二双胶合透镜，所述第一透镜为双凸正透镜或者平凸正透镜，所述第二透镜为弯月正透镜，且所述第二透镜的凹面与所述第一透镜的凸面胶合。4.如权利要求3所述的显微物镜，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：李润芝，于大维，蓝科，王婷婷，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：