【技术实现步骤摘要】
一种用于MPCVD生长装置中风冷系统的高频降噪器
[0001]本申请属于MPCVD生长
,尤其涉及一种用于MPCVD生长装置中风冷系统的高频降噪器。
技术介绍
[0002]微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)是制备高品质金刚石的首选方法,这是因为与产生等离子体的其他方法相比,微波激发的等离子体具有无电极物质污染、可控性好和等离子体密度高等一系列优点。
[0003]在制备高品质金刚石的过程中会产生热量,一般需要配备风冷设备共同使用,以确保制备金刚石所需要的温度能够保持最佳温度,避免因为温度过高产生金刚石质量下降的情况,传统的风冷设备在使用中都会出现震动,产生较大的噪音,不仅不利于风冷设备的稳定性,而且工作人员长时间处于高噪音的工作环境中,会对工作人员的身心造成危害,而且还会降低工作人员的工作效率。
[0004]为此,我们提出来一种用于MPCVD生长装置中风冷系统的高频降噪器解决上述问题。
技术实现思路
[0005]本申请的目的是为了解决现有技术中,风冷设备在使用过程中会出现震动,产生较大的噪 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于MPCVD生长装置中风冷系统的高频降噪器,包括静音箱(1),其特征在于:所述静音箱(1)的内部分别固定连通有进风管(5)和出风管(2),所述静音箱(1)的内壁滑动连接有散热板(10),所述静音箱(1)的上表面固定连接有密封板(3),所述密封板(3)的底面固定连接有固定架(17),所述固定架(17)的内壁固定连接有若干个相同的吸音板(20),所述静音箱(1)的内底壁固定连接有缓震板(13),所述缓震板(13)的上表面固定连接有限位块(12),所述限位块(12)的内壁固定连接有安装架(15),所述安装架(15)的外表面固定两组连接块(14),每组所述连接块(14)相互远离的一侧面均与静音箱(1)的内壁固定连接,所述安装架(15)的内部设置有风冷设备(22),所述安装架(15)的内壁固定连接有两个消音网(11)。2.根据权利要求1所述的一种用于MPCVD生长装置中风冷系统的高频降噪器,其特征在于:所述静音箱(1)的底面固定连接有两组支撑柱(9),每组所述支撑柱(9)的底端均固定连接有两个触地板(6)。3.根据权利要求1所述的一种用于MPCVD生长装置中风冷系统的高频降噪器,其特征在于:所述进风管(5)和出风管(2)的外表面均固定连接有缓震环(4),两个...
【专利技术属性】
技术研发人员:余国旭,薄一恒,徐如颜,
申请(专利权)人:浙江桦茂科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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