碳基材料制造装置制造方法及图纸

技术编号:37837101 阅读:43 留言:0更新日期:2023-06-11 13:29
本实用新型专利技术提供了一种用于多种碳基材料的制造装置,主要包括真空反应炉、回旋共振机构和微波发生器。利用回旋共振机构及微波发生器的共同作用,有效提高了含有碳成份的反应气体的离化率,实现了提高沉积效率,从而快速制造碳基材料的目的。造碳基材料的目的。造碳基材料的目的。

【技术实现步骤摘要】
碳基材料制造装置


[0001]本技术涉及能源材料
,特别涉及一种用于多种碳基材料的制造装置。

技术介绍

[0002]碳基纳米结构材料及涂层,包括钻石涂层、类钻石涂层、石墨烯涂层或人造钻石,由于其独特的物理化学性质,应用于多个领域,涵盖刀具、模具、半导体、光学器件以及首饰制造等。
[0003]目前,市场上对于碳基纳米结构材料及涂层的需求不断增长,传统制造方法难以满足市场需求。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种能够快速制造碳基材料的碳基材料制造装置。
[0005]为达到上述目的,本技术提供了一种碳基材料制造装置,其包括:
[0006]真空反应炉,其为中空结构,所述真空反应炉的侧壁的上部设有进气口,所述真空反应炉的底壁设有排气口;
[0007]回旋共振机构,其设置于所述真空反应炉内并位于所述真空反应炉的上部;
[0008]微波发生器,其通过微波导管与所述真空反应炉相连通。
[0009]如上所述的碳基材料制造装置,其中,所述排气口处连接有真空泵。/>[0010]如上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳基材料制造装置,其特征在于,所述碳基材料制造装置包括:真空反应炉,其为中空结构,所述真空反应炉的侧壁的上部设有进气口,所述真空反应炉的底壁设有排气口;回旋共振机构,其设置于所述真空反应炉内并位于所述真空反应炉的上部;和微波发生器,其通过微波导管与所述真空反应炉相连通。2.根据权利要求1所述的碳基材料制造装置,其特征在于,所述排气口处连接有真空...

【专利技术属性】
技术研发人员:冯国辉张智恒易敏龙潘志豪郭瑶刘佳淼
申请(专利权)人:香港生产力促进局
类型:新型
国别省市:

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