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本实用新型提供了一种用于多种碳基材料的制造装置，主要包括真空反应炉、回旋共振机构和微波发生器。利用回旋共振机构及微波发生器的共同作用，有效提高了含有碳成份的反应气体的离化率，实现了提高沉积效率，从而快速制造碳基材料的目的。造碳基材料的目的。...
该专利属于香港生产力促进局所有，仅供学习研究参考，未经过香港生产力促进局授权不得商用。

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